一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台的制作方法

本技术涉及一种扫描电子显微镜，尤其涉及一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台。

背景技术：

1、扫描电子显微镜是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

2、现有技术cn206947293u中公开了一种用于扫描电子显微镜的预倾角样品座，利用基座及预倾角支撑柱等部件对待测样品截面进行调整，使得待测样品截面正对扫描电子显微镜电子束光源，能够对不规则样品截面进行检测，但由于不规则截面与样品所成角度不一致，而现有技术中仅支持一定角度的样品截面，无法满足全部的不规则样品截面检测。

3、因此，有必要对现有技术中的扫描电子显微镜样品座进行改进，以解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，旨在解决现有技术中无法针对各种角度的不规则界面进行检测的缺陷。

2、为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，包括：机体，固定设置在所述机体上的若干移动机构，以及设置在每个所述移动机构上方的转动机构；

3、所述机体上设置有若干气缸腔，所述移动机构位于所述气缸腔中；

4、每个所述转动机构包括：电机，与所述电机固定连接的转杆，以及与所述转杆转动连接的转盘；所述电机、所述转杆和所述转盘同轴设置，所述电机与所述移动机构固定连接，所述转杆水平设置，所述移动机构运动方向与所述转杆轴线方向一致，所述转盘与所述转杆之间设置有若干扣合结构；

5、所述转盘用于固定样品，相邻所述移动机构和所述转动机构以样品所处的且与所述转杆轴线垂直的竖直平面对称分布。

6、本实用新型一个较佳实施例中，每个所述移动机构包括：气缸，与所述气缸固定连接的支杆，以及与所述支杆另一端固定连接的底板；所述支杆带动所述底板水平运动，所述底板水平设置，所述底板设置在所述电机正下方且与所述电机固定连接，所述气缸与所述机体固定连接。

7、本实用新型一个较佳实施例中，相邻所述支杆运动方向相反，相邻所述转杆同向转动。

8、本实用新型一个较佳实施例中，所述底板沿垂直于所述支杆运动方向的长度尺寸大于所述气缸腔沿垂直于所述支杆运动方向的长度尺寸。

9、本实用新型一个较佳实施例中，每个所述底板底部设置有若干滑块，所述机体上表面设置有若干导轨，所述滑块与所述导轨对应设置，所述导轨延伸方向与所述转杆延伸方向一致，所述滑块与所述导轨滑动连接。

10、本实用新型一个较佳实施例中，若干所述导轨均匀分布在所述转杆所处竖直平面两侧，若干所述导轨位于所述气缸腔两侧。

11、本实用新型一个较佳实施例中，所述转盘上设置有若干夹持机构，所述夹持机构用于对样品的固定。

12、本实用新型一个较佳实施例中，若干所述扣合结构用于对所述转盘与所述转杆之间的固定，所述扣合结构沿所述转盘周向均匀分布。

13、本实用新型一个较佳实施例中，相邻所述移动机构之间设置有抬升腔，所述抬升腔中设置有抬升机构，所述抬升机构自上而下依次设置有抬升气缸，与所述抬升气缸固定连接的抬升杆，以及与所述抬升杆固定连接的支撑板；所述抬升气缸与所述机体固定连接，所述抬升杆带动所述支撑板竖直方向运动。

14、本实用新型一个较佳实施例中，所述支撑板上表面水平，所述支撑板运动范围至少包含所述机体上表面所在平面。

15、本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：

16、(1)本实用新型提供了一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，该载物台在转盘固定好样品后，利用电机对样品进行转动，使得样品横截面与电子束光源垂直，相比于现有技术中的扫描电子显微镜样品座，使得能够适配不同的样品截面，提高了载物台的适配性。

17、(2)本实用新型中，气缸、支杆与底板的设置让转动机构能够适配不同规格的样品，并对样品进行稳定的夹持，相比于现有技术，使得样品能够更加牢固的固定，提高了载物台对样品的夹持能力。

18、(3)本实用新型中，在相邻转盘之间设置有抬升机构，抬升机构能够保证样品截面与电子束光源垂直以及为样品的转动提供空间，相比于现有技术，具有保证样品角度以及避免样品在转动过程中触碰机体的能力，使得载物台提高准确性以及抗事故能力。

技术特征：

1.一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，包括：机体(100)，固定设置在所述机体(100)上的若干移动机构(200)，以及设置在每个所述移动机构(200)上方的转动机构(300)，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：每个所述移动机构(200)包括：气缸(210)，与所述气缸(210)固定连接的支杆(220)，以及与所述支杆(220)另一端固定连接的底板(230)；所述支杆(220)带动所述底板(230)水平运动，所述底板(230)水平设置，所述底板(230)设置在所述电机(310)正下方且与所述电机(310)固定连接，所述气缸(210)与所述机体(100)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：相邻所述支杆(220)运动方向相反，相邻所述转杆(320)同向转动。

4.根据权利要求2所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：所述底板(230)沿垂直于所述支杆(220)运动方向的长度尺寸大于所述气缸腔(110)沿垂直于所述支杆(220)运动方向的长度尺寸。

5.根据权利要求2所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：每个所述底板(230)底部设置有若干滑块，所述机体(100)上表面设置有若干导轨(240)，所述滑块与所述导轨(240)对应设置，所述导轨(240)延伸方向与所述转杆(320)延伸方向一致，所述滑块与所述导轨(240)滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：若干所述导轨(240)均匀分布在所述转杆(320)所处竖直平面两侧，若干所述导轨(240)位于所述气缸腔(110)两侧。

7.根据权利要求1所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：所述转盘(330)上设置有若干夹持机构，所述夹持机构用于对样品的固定。

8.根据权利要求1所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：若干所述扣合结构(340)用于对所述转盘(330)与所述转杆(320)之间的固定，所述扣合结构(340)沿所述转盘(330)周向均匀分布。

9.根据权利要求1所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：相邻所述移动机构(200)之间设置有抬升腔(120)，所述抬升腔(120)中设置有抬升机构(400)，所述抬升机构(400)自上而下依次设置有抬升气缸(410)，与所述抬升气缸(410)固定连接的抬升杆(420)，以及与所述抬升杆(420)固定连接的支撑板(430)；所述抬升气缸(410)与所述机体(100)固定连接，所述抬升杆(420)带动所述支撑板(430)竖直方向运动。

10.根据权利要求9所述的一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，其特征在于：所述支撑板(430)上表面水平，所述支撑板(430)运动范围至少包含所述机体(100)上表面所在平面。

技术总结
本技术公开了一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，在转盘固定好样品后，利用电机对样品进行转动，使得样品横截面与电子束光源垂直，使得能够适配不同的样品截面，提高了载物台的适配性。气缸、支杆与底板的设置让转动机构能够适配不同规格的样品，并对样品进行稳定的夹持，使得样品能够更加牢固的固定，提高了载物台对样品的夹持能力。在相邻转盘之间设置有抬升机构，抬升机构能够保证样品截面与电子束光源垂直以及为样品的转动提供空间，具有保证样品角度以及避免样品在转动过程中触碰机体的能力，使得载物台提高准确性以及抗事故能力。

技术研发人员：王瑞华,王均,庞帅
受保护的技术使用者：南京默思泰智能科技有限公司
技术研发日：20230728
技术公布日：2024/1/25