一种芯片无损检测探针装置的制作方法

本技术涉及芯片无损检测，尤其涉及一种芯片无损检测探针装置。

背景技术：

1、无损探针电学测量平台最小测量范围缩至微米级，探针造成的薄膜伤痕直径最小在1微米以内，测量过程不影响超导量子比特相干性能，具备高稳定性和高运动精度的优势，“无损探针台对量子芯片的生产具有重要作用，它就像孙悟空的‘火眼金睛’一样，能快速、精准识别量子芯片上哪些量子比特是合格的，哪些是不合格的；

2、但现有探针对芯片进行检测时通过将检测结果以电信号传输到显示屏上，但现有检测探针不具有对待检测芯片标记的功能，需要后续加工设备逐个对照存图找寻不合格的量子比特，不便于识别，影响后续芯片加工效率，现有检测探针通常由机械手操控，控制精度高，且机械手成本高昂，间接提高芯片检测的成本；

3、为此，我们设计了一种芯片无损检测探针装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中探针对芯片进行检测时通过将检测结果以电信号传输到显示屏上，但现有检测探针不具有对待检测芯片标记的功能，需要后续加工设备逐个对照存图找寻不合格的量子比特，不便于识别，影响后续芯片加工效率，现有检测探针通常由机械手操控，控制精度高，且机械手成本高昂，间接提高芯片检测的成本，而提出的一种芯片无损检测探针装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种芯片无损检测探针装置，包括控制板、检测台和待检测芯片，所述检测台上开设有第一滑槽，所述第一滑槽内设有第一螺杆，所述检测台侧壁固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端与第一螺杆同轴固定连接，所述第一滑槽内移动有移动台，所述待检测芯片放置在移动台上，所述移动台两侧设有一对安装台，所述安装台上设有驱动机构，所述驱动机构上固定安装有检测探针，所述驱动机构包括用于带动检测探针移动的连接杆，所述检测探针上设有用于方便芯片识别不合格区域的标记机构。

4、优选地，所述驱动机构还包括：

5、第二螺杆和第二电机，所述安装台靠近移动台的一侧开设有第二滑槽，所述第二螺杆设置在第二滑槽内，所述第二电机固定安装在安装台侧壁上，所述第二电机的输出端与第二螺杆同轴固定连接；

6、移动滑块，所述移动滑块上开设有与第二螺杆相适配的螺纹孔，所述移动滑块在第二滑槽内移动，所述检测探针与连接杆靠近移动台的一端固定连接，所述检测探针位于待检测芯片上方。

7、优选地，所述标记机构包括：

8、储液箱和液泵，所述储液箱设置在安装台的顶部，所述液泵固定安装在连接杆上，所述液泵与连通管连通；

9、喷嘴，所述喷嘴固定安装在探针上，所述连通管一端与储液箱连通，且另一端与喷嘴相连通。

10、优选地，所述移动台上设有夹持机构，所述夹持机构包括一对夹持板件、第三螺杆和旋钮，所述移动台上开设有第三滑槽，所述第三螺杆设置在第三滑槽内，所述第三螺杆一端贯穿移动台，且另一端与第三滑槽内壁转动连接，所述第三螺杆贯穿移动台的一端与旋钮同轴固定连接。

11、优选地，所述控制板设置在检测台上，所述控制板分别与检测探针、液泵、第一电机和第二电机电路连接。

12、优选地，所述检测台底部设有多个用于支撑装置的支撑脚架。

13、本实用新型的有益效果为：

14、1、本实用新型通过第一电机驱动第一螺杆转动使得移动台带动待检测芯片在检测台上左右方向移动，通过第二电机驱动第二螺杆转动使得移动滑块带动连接杆和探针在检测台上进行前后方向移动，便于实现检测探针在待检测芯片表面自动识别待检测芯片表面量子比特是否合格。

15、2、本实用新型通过在检测探针上固定固定安装有喷嘴，当检测探针检测到待检测芯片上量子比特不合格时，通过控制板控制液泵工作将储液箱内标识液通过连通管输送到喷嘴处，将不合格的量子比特进行标记，便于加快待检测芯片的后期作业。

技术特征：

1.一种芯片无损检测探针装置，包括控制板、检测台(1)和待检测芯片(6)，其特征在于，所述检测台(1)上开设有第一滑槽(2)，所述第一滑槽(2)内设有第一螺杆(4)，所述检测台(1)侧壁固定安装有第一电机(3)，所述第一电机(3)的输出端与第一螺杆(4)同轴固定连接，所述第一滑槽(2)内移动有移动台(5)，所述待检测芯片(6)放置在移动台(5)上，所述移动台(5)两侧设有一对安装台(7)，所述安装台(7)上设有驱动机构，所述驱动机构上固定安装有检测探针(11)，所述驱动机构包括用于带动检测探针(11)移动的连接杆(10)，所述检测探针(11)上设有用于方便芯片识别不合格区域的标记机构。

2.根据权利要求1所述的一种芯片无损检测探针装置，其特征在于，所述驱动机构还包括：

3.根据权利要求2所述的一种芯片无损检测探针装置，其特征在于，所述标记机构包括：

4.根据权利要求1所述的一种芯片无损检测探针装置，其特征在于，所述移动台(5)上设有夹持机构，所述夹持机构包括一对夹持板件、第三螺杆和旋钮，所述移动台(5)上开设有第三滑槽，所述第三螺杆设置在第三滑槽内，所述第三螺杆一端贯穿移动台(5)，且另一端与第三滑槽内壁转动连接，所述第三螺杆贯穿移动台(5)的一端与旋钮同轴固定连接。

5.根据权利要求3所述的一种芯片无损检测探针装置，其特征在于，所述控制板设置在检测台(1)上，所述控制板分别与检测探针(11)、液泵(13)、第一电机(3)和第二电机(14)电路连接。

6.根据权利要求1所述的一种芯片无损检测探针装置，其特征在于，所述检测台(1)底部设有多个用于支撑装置的支撑脚架(17)。

技术总结
本技术公开了一种芯片无损检测探针装置，包括控制板、检测台和待检测芯片，所述检测台上开设有第一滑槽，所述第一滑槽内设有第一螺杆，所述检测台侧壁固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端与第一螺杆同轴固定连接，所述第一滑槽内移动有移动台，所述待检测芯片放置在移动台上，所述移动台两侧设有一对安装台，所述安装台上设有驱动机构，所述检测探针上设有用于方便芯片识别不合格区域的标记机构，本技术通过在检测探针上固定固定安装有喷嘴，当检测探针检测到待检测芯片上量子比特不合格时，通过控制板控制液泵工作将储液箱内标识液通过连通管输送到喷嘴处，将不合格的量子比特进行标记，便于加快芯片的后期作业。

技术研发人员：朱中亚,王迎枫,曹宝玉,刘华俊,纪磊,刘开连
受保护的技术使用者：安徽领坤生物科技有限公司
技术研发日：20230801
技术公布日：2024/2/25