双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台的制作方法

本技术涉及检测夹具平台，具体为双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台。

背景技术：

1、半导体是指电阻率介于金属和绝缘体之间的既有负的电阻温度系数并有非线性电阻的物质，半导体加工的电阻率检测的作用主要是评估材料的导电性能，从而为生产过程提供指导。

2、目前，现有的半导体检测设备，在检测的过程中，采用四引线法，通过导线穿过与连接导体，由于材料的大小不同，电流经过时，使得引线晃动不断，影响测试的数值，降低检测效果；所以我们提出了双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台，以解决上述背景技术中提出的现有半导体检测设备，采用四引线法，通过导线穿过与连接导体，由于材料的大小不同，电流经过时，使得引线晃动不断，影响测试的数值的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台，包括电阻率检测仪，所述电阻率检测仪的上端设有绝缘板，所述绝缘板的上方设有操作检测平台，所述操作检测平台的上端与下端皆设有环向夹具，所述环向夹具设有两组，两组所述环向夹具相对设置。

3、通过清洗槽，可以预先将半导体材料放入内部，灌入合适的液体进行清洗操作，保持半导体材料的洁净性，便于后续进行电阻测试，在根据半导体材料形状不同，放置在操作检测平台上，利用环向夹具进行夹持定位，增加定位连接性，同步利用穿线套穿接引线，形成对引线的定位，避免过度晃动，通过第一调节转套与第二调节转套的调节，使得弯架进行角度位移，增加对半导体材料的适配夹持性能，根据引线的穿接调整，利用调节转板上限位孔进行二次限位，根据测试的需求使得调节转板微调，增加调节灵活性，降低防晃性，提升检测效果。

4、进一步地，操作检测平台的中心开设有中心孔，所述中心孔的两侧向外延伸设有导向槽，所述环向夹具的端部设有滑块，所述环向夹具由弯架、第一调节转套与第二调节转套组成，通过中心孔，便于进行中心位移调节，增加调节性能。

5、进一步地，弯架上设有调节转板，所述调节转板设有多组，多组所述调节转板沿所述弯架上线性排列，所述调节转板的下端设有旋转套，所述旋转套延伸到所述弯架上，所述调节转板的两端皆开设有限位孔，所述弯架设有两组，使得弯架进行角度位移，增加对半导体材料的适配夹持性能，根据引线的穿接调整，利用调节转板上限位孔进行二次限位，根据测试的需求使得调节转板微调，增加调节灵活性，降低防晃性，提升检测效果。

6、进一步地，第一调节转套与所述第二调节转套分别位于两组所述弯架的两端，所述第一调节转套与所述第二调节转套的顶部设有驱动器，所述环向夹具通过所述滑块沿所述导向槽滑动，所述滑块的中部穿接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端设有驱动器，通过第一调节转套与第二调节转套的调节，使得弯架进行角度位移，增加对半导体材料的适配夹持性能。

7、进一步地，绝缘板上设有穿线套，所述穿线套设有多组，多组所述穿线套均布在所述绝缘板上，所述穿线套的中间开设有穿孔，所述穿线套的顶部设有感应灯，所述感应灯的内部设有电磁感应模组，所述电磁感应模组与所述电阻率检测仪连通，同步利用穿线套穿接引线，形成对引线的定位，避免过度晃动。

8、进一步地，电阻率检测仪的中间开设有清洗槽，所述清洗槽的底部设有转盘，所述转盘的外端设有延伸架，所述延伸架设有多组，多组所述延伸架环绕所述转盘的外端设置，所述延伸架上开设有插接孔，沿所述清洗槽的外侧分布有连接孔，所述电阻率检测仪的前端设有操控面板，延伸架与插接孔，可以安装辅助结构定位半导体材料，利用水枪进行对准冲击，水压激荡使得转盘旋转，从而增加半导体材料清洗效率。

9、进一步地，操作检测平台的转角处设有伸缩推杆，所述伸缩推杆延伸到所述绝缘板上，所述伸缩推杆的上端设有伸缩气缸，根据升降高度的需求，利用伸缩推杆进行推送操作。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1、本实用新型通过清洗槽，可以预先将半导体材料放入内部，灌入合适的液体进行清洗操作，保持半导体材料的洁净性，便于后续进行电阻测试，在根据半导体材料形状不同，放置在操作检测平台上，利用环向夹具进行夹持定位，增加定位连接性，同步利用穿线套穿接引线，形成对引线的定位，避免过度晃动，通过第一调节转套与第二调节转套的调节，使得弯架进行角度位移，增加对半导体材料的适配夹持性能，根据引线的穿接调整，利用调节转板上限位孔进行二次限位，根据测试的需求使得调节转板微调，增加调节灵活性，降低防晃性，提升检测效果。

12、2、通过延伸架与插接孔，可以安装辅助结构定位半导体材料，利用水枪进行对准冲击，水压激荡使得转盘旋转，从而增加半导体材料清洗效率。

技术特征：

1.双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台，包括电阻率检测仪，其特征在于：所述电阻率检测仪的上端设有绝缘板，所述绝缘板的上方设有操作检测平台，所述操作检测平台的上端与下端皆设有环向夹具，所述环向夹具设有两组，两组所述环向夹具相对设置。

2.根据权利要求1所述的双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台，其特征在于：所述操作检测平台的中心开设有中心孔，所述中心孔的两侧向外延伸设有导向槽，所述环向夹具的端部设有滑块，所述环向夹具由弯架、第一调节转套与第二调节转套组成。

3.根据权利要求2所述的双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台，其特征在于：所述弯架上设有调节转板，所述调节转板设有多组，多组所述调节转板沿所述弯架上线性排列，所述调节转板的下端设有旋转套，所述旋转套延伸到所述弯架上，所述调节转板的两端皆开设有限位孔，所述弯架设有两组。

4.根据权利要求2所述的双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台，其特征在于：所述第一调节转套与所述第二调节转套分别位于两组所述弯架的两端，所述第一调节转套与所述第二调节转套的顶部设有驱动器，所述环向夹具通过所述滑块沿所述导向槽滑动，所述滑块的中部穿接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端设有驱动器。

5.根据权利要求1所述的双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台，其特征在于：所述绝缘板上设有穿线套，所述穿线套设有多组，多组所述穿线套均布在所述绝缘板上，所述穿线套的中间开设有穿孔，所述穿线套的顶部设有感应灯，所述感应灯的内部设有电磁感应模组，所述电磁感应模组与所述电阻率检测仪连通。

6.根据权利要求1所述的双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台，其特征在于：所述电阻率检测仪的中间开设有清洗槽，所述清洗槽的底部设有转盘，所述转盘的外端设有延伸架，所述延伸架设有多组，多组所述延伸架环绕所述转盘的外端设置，所述延伸架上开设有插接孔，沿所述清洗槽的外侧分布有连接孔，所述电阻率检测仪的前端设有操控面板。

7.根据权利要求1所述的双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台，其特征在于：所述操作检测平台的转角处设有伸缩推杆，所述伸缩推杆延伸到所述绝缘板上，所述伸缩推杆的上端设有伸缩气缸。

技术总结
本技术公开了双工位式半导体加工的电阻率检测夹具平台，涉及检测夹具平台技术领域，为解决现有的半导体检测设备，在检测的过程中，采用四引线法，通过导线穿过与连接导体，由于材料的大小不同，电流经过时，使得引线晃动不断，影响测试的数值，降低检测效果的问题。本技术包括电阻率检测仪，电阻率检测仪的上端设有绝缘板，绝缘板的上方设有操作检测平台，操作检测平台的上端与下端皆设有环向夹具，环向夹具设有两组，两组环向夹具相对设置，通过清洗槽，可以预先将半导体材料放入内部，灌入合适的液体进行清洗操作，保持半导体材料的洁净性，便于后续进行电阻测试，利用环向夹具进行夹持定位，增加定位连接性。

技术研发人员：林河北,阳小冬,杨东霓,解维虎,覃尚育
受保护的技术使用者：深圳市金誉半导体股份有限公司
技术研发日：20230810
技术公布日：2024/3/24