一种整机校准结构的制作方法

本技术涉及设备校准定位，具体而言，涉及一种整机校准结构。

背景技术：

1、在晶圆检测系统中传送系统和检测系统为两个独立系统，但二者之间需要进行联动，即二者之间需要完整匹配。

2、经发明人研究发现，现有技术中传送系统和检测系统之间无法完成精准定位，二者之间的联动配合关系不稳定，影响工作效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种整机校准结构，其能够实现传送系统和检测系统之间的精准定位，使得二者的联动关系更加稳定，提高工作效率。

2、本实用新型的实施例是这样实现的：

3、本实用新型提供一种整机校准结构，包括：

4、第一设备，所述第一设备设有第一校准件；

5、第二设备，所述第二设备上设有能够与所述第一校准件配合的第二校准件；所述第一设备和所述第二设备在相互垂直的第一水平方向和第二水平方向的位置能调节，所述第一设备和所述第二设备二者中的至少一个的竖直方向上的位置能调节；当所述第一校准件和所述第二校准件配合时，所述第一设备和所述第二设备之间的相对位置完成校准。

6、在可选的实施方式中，所述第一校准件包括第二方向校准轴，所述第二方向校准轴的轴线与所述第二方向平行，所述第二校准件包括第二方向校准板，所述第二方向校准板能够与所述第二方向校准轴配合。

7、在可选的实施方式中，所述第二方向校准板具有与第二方向垂直的第一平面，当所述第二方向校准轴与所述第一平面抵接时，所述第一设备和所述第二设备在第二方向上的相对位置完成校准确定。

8、在可选的实施方式中，所述第一校准件还包括竖直方向校准轴，所述竖直方向校准轴的轴线与所述竖直方向平行，所述第二校准件包括竖直方向校准板，所述竖直方向校准板能够与所述竖直方向校准轴配合。

9、在可选的实施方式中，所述竖直方向校准轴安装在与所述竖直方向垂直的第二平面上，所述竖直方向校准板具有与所述第二平面平行的第三平面，所述第三平面开设有校准孔，当所述竖直方向较准轴插入所述校准孔直到所述第二平面和所述第三平面抵接时，所述第一设备和所示第二设备在竖直方向上的相对位置完成校准确定。

10、在可选的实施方式中，所述第一校准件还包括第一方向校准板，所述第二校准件包括第一方向校准轴，所述第一方向校准轴的轴线与所述第一方向平行，所述第一方向校准板能够与所述第一方向校准轴配合。

11、在可选的实施方式中，所述第一方向校准板具有与第一方向垂直的第四平面，当所述第一方向校准轴与所述第四平面抵接时，所述第一设备和所述第二设备在第一方向上的相对位置完成校准确定。

12、在可选的实施方式中，所述第一设备和所述第二设备的底部均设有滚轮。

13、在可选的实施方式中，所述第一设备和所述第二设备的底部还设有用于固定的脚座。

14、在可选的实施方式中，所述第一设备和所述第二设备二者中的至少一个的底部设有调高件。

15、本实用新型实施例的有益效果是：

16、本实用新型包括第一设备和第二设备，第一设备设有第一校准件，第二设备上设有能够与所述第一校准件配合的第二校准件。第一设备和第二设备在相互垂直的第一水平方向和第二水平方向的位置能调节，第一设备和第二设备二者中的至少一个的竖直方向上的位置能调节。本实用新型通过第一校准件和第二校准件相互配合，能够实现第一设备和第二设备之间的精准定位，使得二者的联动关系更加稳定，提高工作效率。

技术特征：

1.一种整机校准结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的整机校准结构，其特征在于，所述第一校准件包括第二方向校准轴，所述第二方向校准轴的轴线与所述第二方向平行，所述第二校准件包括第二方向校准板，所述第二方向校准板能够与所述第二方向校准轴配合。

3.根据权利要求2所述的整机校准结构，其特征在于，所述第二方向校准板具有与第二方向垂直的第一平面，当所述第二方向校准轴与所述第一平面抵接时，所述第一设备和所述第二设备在第二方向上的相对位置完成校准确定。

4.根据权利要求1所述的整机校准结构，其特征在于，所述第一校准件还包括竖直方向校准轴，所述竖直方向校准轴的轴线与所述竖直方向平行，所述第二校准件包括竖直方向校准板，所述竖直方向校准板能够与所述竖直方向校准轴配合。

5.根据权利要求4所述的整机校准结构，其特征在于，所述竖直方向校准轴安装在与所述竖直方向垂直的第二平面上，所述竖直方向校准板具有与所述第二平面平行的第三平面，所述第三平面开设有校准孔，当所述竖直方向较准轴插入所述校准孔直到所述第二平面和所述第三平面抵接时，所述第一设备和所示第二设备在竖直方向上的相对位置完成校准确定。

6.根据权利要求1所述的整机校准结构，其特征在于，所述第一校准件还包括第一方向校准板，所述第二校准件包括第一方向校准轴，所述第一方向校准轴的轴线与所述第一方向平行，所述第一方向校准板能够与所述第一方向校准轴配合。

7.根据权利要求6所述的整机校准结构，其特征在于，所述第一方向校准板具有与第一方向垂直的第四平面，当所述第一方向校准轴与所述第四平面抵接时，所述第一设备和所述第二设备在第一方向上的相对位置完成校准确定。

8.根据权利要求1所述的整机校准结构，其特征在于，所述第一设备和所述第二设备的底部均设有滚轮。

9.根据权利要求8所述的整机校准结构，其特征在于，所述第一设备和所述第二设备的底部还设有用于固定的脚座。

10.根据权利要求1所述的整机校准结构，其特征在于，所述第一设备和所述第二设备二者中的至少一个的底部设有调高件。

技术总结
一种整机校准结构，涉及设备校准定位技术领域。本整机校准结构包括第一设备和第二设备。第一设备设有第一校准件。第二设备上设有能够与第一校准件配合的第二校准件。第一设备和第二设备在相互垂直的第一水平方向和第二水平方向的位置能调节，第一设备和第二设备二者中的至少一个的竖直方向上的位置能调节；当第一校准件和第二校准件配合时，第一设备和第二设备之间的相对位置完成校准。本整机校准结构通过第一校准件和第二校准件相互配合，能够实现第一设备和第二设备之间的精准定位，使得二者的联动关系更加稳定，提高工作效率。

技术研发人员：王志云,唐海明,郑军
受保护的技术使用者：聚时科技（上海）有限公司
技术研发日：20230818
技术公布日：2024/3/21