传感器固定装置、载板位置检测装置和PECVD的制作方法

本技术涉及光伏领域，尤其涉及一种传感器固定装置、载板位置检测装置和pecvd。

背景技术：

1、等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition，pecvd)是一种被广泛应用于半导体及太阳能电池片领域的镀膜方法，待镀基片放置在载板表面，完成镀膜工艺。载板是太阳能电池片镀膜工序中，装载电池片进入镀膜设备的一个装载用具。载板具有用于放置硅片的框格，镀膜时，在框格内放置硅片，载板装载着硅片由输送设备进入镀膜设备。

2、在传输过程中，对载板的精准控制及定位尤为关键。目前板式pecvd载板的定位主要依靠载板位置检测装置实现，载板位置检测装置安装于各腔体的外侧，载板位置检测装置中的位置传感器为信号发射传感器或信号接收传感器，设置有信号发射传感器的载板位置检测装置和设置有信号接收传感器的载板位置检测装置分别安装在腔体相对的两侧，用于实时检测载板的位置，控制单元与载板位置检测装置相连，用于根据载板的位置信号控制载板在各腔室内的运行速度。

3、由于信号发射传感器发射端和信号接收传感器的接收端需要对正，因此，相关技术中的载板位置检测装置具备沿直线方向调整传感器位置的功能，但是当信号发射传感器的信号发射方向和信号接收传感器的信号接收方向不平行时，需要在直线方向上调整较大的距离才可实现信号接收端和信号发射端对正的效果。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

2、为此，本实用新型提供一种传感器固定装置，包括：

3、第一连接体，所述第一连接体用于与传感器连接；

4、第二连接体，所述第二连接体用于与被检测设备连接，且所述第二连接体上设置有视窗组件，所述传感器可通过所述视窗组件发射或接收信号；

5、直线调节组件，所述直线调节组件连接在所述第一连接体与所述第二连接体之间，且所述直线调节组件用于沿所述第二连接体的端面的径向调整所述第一连接体的位置；

6、角度调节组件，所述角度调节组件设置在所述第一连接体与所述第二连接体之间，且所述角度调节组件用于调节所述第一连接体的轴向与所述第二连接体的端面之间的角度。

7、根据本实用新型提供的传感器固定装置，所述直线调节组件包括：

8、至少两个腰型孔，多个所述腰型孔设置在所述第一连接体上，且多个所述腰型孔的延伸方向平行；

9、至少两个第一螺纹孔，多个所述第一螺纹孔设置在所述第二连接体上，且多个所述第一螺纹孔与多个所述腰型孔一一对应；

10、紧固螺栓，所述紧固螺栓用于穿设在所述腰型孔内，且与所述第一螺纹孔螺纹连接。

11、根据本实用新型提供的传感器固定装置，所述角度调节组件包括：

12、至少一个第二螺纹孔，所述第二螺纹孔设置在所述第一连接体上；

13、调节螺栓，所述调节螺栓螺接在所述第二螺纹孔内，且所述调节螺栓的螺纹端与所述第二连接体的端面抵接。

14、根据本实用新型提供的传感器固定装置，所述紧固螺栓的螺帽与所述第一连接体远离所述第二连接体的一侧之间设置有弹簧，所述弹簧套设在所述紧固螺栓的外侧。

15、根据本实用新型提供的传感器固定装置，所述第一连接体内部中空且一端敞开，所述第一连接体的封闭侧设置有用于供所述传感器的工作端穿过的第一安装孔，所述第二连接体用于封堵在所述第一连接体的敞开端。

16、根据本实用新型提供的传感器固定装置，所述第二连接体包括安装座和固定件，所述安装座上设置有第二安装孔，所述视窗组件包括透光板，所述透光板设置在所述第二安装孔内，所述固定件用于将所述透光板固定在所述第二安装孔内。

17、根据本实用新型提供的传感器固定装置，所述直线调节组件和所述角度调节组件用于设置在所述第一连接体与所述安装座之间，或设置在所述第一连接体与所述固定件之间。

18、本实用新型还提供一种载板位置检测装置，包括传感器和如上所述的传感器固定装置，所述传感器的工作端位于所述第一连接体与所述第二连接体之间，且所述传感器的工作端与所述视窗组件对正。

19、根据本实用新型提供的载板位置检测装置，所述传感器的工作端在所述第一连接体靠近所述第二连接体的一侧通过紧固件与所述第一连接体可拆卸连接。

20、本实用新型还提供一种pecvd，包括设备主体和多对如上所述的载板位置检测装置，每对所述载板位置检测装置均设置在所述设备主体相对的两侧，且所述传感器的工作端正对，多对所述载板位置检测装置沿所述载板的移动方向分布。

21、本实用新型提供的传感器固定装置，包括第一连接体、第二连接体、直线调节组件和角度调节组件。第一连接体用于与传感器连接，第二连接体用于与被检测设备连接，且第二连接体上设置有视窗组件，当第一连接体与第二连接体连接后，且第一连接体上连接有传感器时，传感器可通过视窗组件发射或接收信号。直线调节组件用于将第一连接体与第二连接体进行连接，且直线调节组件可用于沿第二连接体的端面的径向调整第一连接体的位置。角度调节组件设置在第一连接体与第二连接体之间，用于调节第一连接体的轴向与第二连接体的端面之间的角度。当传感器为信号发射传感器，用于与对向的信号接收传感器配合工作时，可首先通过角度调节组件将发射传感器的信号发射方向调整到与信号接收传感器的信号接收方向平行的位置，然后通过直线调节组件将信号发射传感器的信号发射方向调整到与信号接收传感器的信号接收方向共线的位置。

22、进一步地，在本实用新型提供的载板位置检测装置和pecvd中，由于均设置有如上所述的传感器固定装置，因此，具有与如上所述相同的优势。

技术特征：

1.一种传感器固定装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的传感器固定装置，其特征在于，所述直线调节组件包括：

3.根据权利要求2所述的传感器固定装置，其特征在于，所述角度调节组件包括：

4.根据权利要求3所述的传感器固定装置，其特征在于，所述紧固螺栓(430)的螺帽与所述第一连接体(100)远离所述第二连接体(200)的一侧之间设置有弹簧(600)，所述弹簧(600)套设在所述紧固螺栓(430)的外侧。

5.根据权利要求1所述的传感器固定装置，其特征在于，所述第一连接体(100)内部中空且一端敞开，所述第一连接体(100)的封闭侧设置有用于供所述传感器(300)的工作端穿过的第一安装孔(110)，所述第二连接体(200)用于封堵在所述第一连接体(100)的敞开端。

6.根据权利要求5所述的传感器固定装置，其特征在于，所述第二连接体(200)包括安装座(210)和固定件(220)，所述安装座(210)上设置有第二安装孔(211)，所述视窗组件包括透光板(700)，所述透光板(700)设置在所述第二安装孔(211)内，所述固定件(220)用于将所述透光板(700)固定在所述第二安装孔(211)内。

7.根据权利要求6所述的传感器固定装置，其特征在于，所述直线调节组件和所述角度调节组件用于设置在所述第一连接体(100)与所述安装座(210)之间，或设置在所述第一连接体(100)与所述固定件(220)之间。

8.一种载板位置检测装置，其特征在于，包括传感器(300)和如权利要求1～7任一项所述的传感器固定装置，所述传感器(300)的工作端位于所述第一连接体(100)与所述第二连接体(200)之间，且所述传感器(300)的工作端与所述视窗组件对正。

9.根据权利要求8所述的载板位置检测装置，其特征在于，所述传感器(300)的工作端在所述第一连接体(100)靠近所述第二连接体(200)的一侧通过紧固件与所述第一连接体(100)可拆卸连接。

10.一种pecvd，其特征在于，包括设备主体(800)和多对如权利要求8或9所述的载板位置检测装置，每对所述载板位置检测装置均设置在所述设备主体(800)相对的两侧，且所述传感器(300)的工作端正对，多对所述载板位置检测装置沿所述载板的移动方向分布。

技术总结
本技术涉及光伏域，提供一种传感器固定装置、载板位置检测装置和PECVD，包括第一连接体、第二连接体、直线调节组件和角度调节组件。第一连接体用于与传感器连接，第二连接体用于与被检测设备连接，且第二连接体上设置有视窗组件，传感器可通过视窗组件发射或接收信号。直线调节组件用于将第一连接体与第二连接体进行连接，且可用于调节第一连接体沿第二连接体的端面的径向的位置。角度调节组件设置在第一连接体与第二连接体之间，用于调节第一连接体的轴向与第二连接体的端面之间的角度。该传感器固定装置可以将信号发射传感器的信号发射方向调整到与信号接收传感器的信号接收方向共线的位置。

技术研发人员：邹泽玉
受保护的技术使用者：株洲三一硅能技术有限公司
技术研发日：20230825
技术公布日：2024/3/12