一种简单可靠的气压测定机构的制作方法

本技术涉及真空设备的，特别是涉及一种简单可靠的气压测定机构。

背景技术：

1、真空设备中，在设备开启前需要确认内部压力已到达大气常压状态，以防止设备内外压力不同时，开启设备造成瞬间的压差造成设备内的气流扰动，容易造成污染。这需要在设备上设置一个检测装置，用以给出信号，保证真空设备的内外压力一致时开启设备。

2、在一般的设备中常采用标准的压力传感器，其成本较高、发生故障时难以自行维修，增加了设备制造的成本。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种简单可靠的气压测定机构，成本低廉、维修简便，且易于调试。

2、本实用新型的一种简单可靠的气压测定机构，包括密封壳体、紧定头、密封芯轴、弹性件、连接架和传感器，密封壳体和紧定头内部均中空且两头连通有开口，密封壳体与紧定头连通，紧定头与密封芯轴连通，且密封芯轴远离紧定头一端设置有因压力变化发生弹性形变的变形机构，变形机构远离密封一端封闭，连接架与密封芯轴固定连接，传感器固定在连接架的一端，弹性件固定在连接架的另一端，弹性件活动端与变形机构接触。

3、进一步地，还包括接头，接头内部中空且两侧均连通有开口，接头一端与密封壳体密封连接。

4、进一步地，密封壳体与紧定头之间安装有密封圈。

5、进一步地，紧定头连接有紧定隔环，紧定隔环带有与密封圈接触的斜面。

6、进一步地，弹性件活动端为滚轮。

7、与现有技术相比本实用新型的有益效果为：其在工作时，接头开口端安装在待测位置上，接头与密封壳体可以通过焊接或设置密封件等形式连接，接头与密封壳体上设置有与设备内真空环境相连接的中空结构，用以保证真空环境的压力传导，紧定头与密封芯轴可以通过焊接或设置密封件等形式连接，紧定头与密封芯轴上设置有与设备内真空环境相连接的中空结构，用以保证真空环境的压力传导；且密封芯轴上只设置有一个接口，此接口与紧定头连接后，不存在其它开放口，保证接头、密封壳体、密封圈、紧定隔环、紧定头、密封芯轴共同组成一个除接头上含有的开放口以外的完全密封体；且密封芯轴上设置有可以因压力变化发生弹性形变的变形机构，如连续波纹状结构，当待测位置压力超出预设值时，带动变形机构发生形变，从而引起弹性件变形，进而触发传感器报警。

技术特征：

1.一种简单可靠的气压测定机构，其特征在于，包括密封壳体（2）、紧定头（5）、密封芯轴（6）、弹性件（7）、连接架（8）和传感器（9），密封壳体（2）和紧定头（5）内部均中空且两头连通有开口，密封壳体（2）与紧定头（5）连通，紧定头（5）与密封芯轴（6）连通，且密封芯轴（6）远离紧定头（5）一端设置有因压力变化发生弹性形变的变形机构（10），变形机构（10）远离密封一端封闭，连接架（8）与密封芯轴（6）固定连接，传感器（9）固定在连接架（8）的一端，弹性件（7）固定在连接架（8）的另一端，弹性件（7）活动端与变形机构（10）接触。

2.如权利要求1所述的一种简单可靠的气压测定机构，其特征在于，还包括接头（1），接头（1）内部中空且两侧均连通有开口，接头（1）一端与密封壳体（2）密封连接。

3.如权利要求2所述的一种简单可靠的气压测定机构，其特征在于，密封壳体（2）与紧定头（5）之间安装有密封圈（3）。

4.如权利要求3所述的一种简单可靠的气压测定机构，其特征在于，紧定头（5）连接有紧定隔环（4），紧定隔环（4）带有与密封圈（3）接触的斜面。

5.如权利要求4所述的一种简单可靠的气压测定机构，其特征在于，弹性件（7）活动端为滚轮。

技术总结
本技术涉及真空设备的技术领域，特别是涉及一种简单可靠的气压测定机构，成本低廉、维修简便，且易于调试；包括密封壳体、紧定头、密封芯轴、弹性件、连接架和传感器，密封壳体和紧定头内部均中空且两头连通有开口，密封壳体与紧定头连通，紧定头与密封芯轴连通，且密封芯轴远离紧定头一端设置有因压力变化发生弹性形变的变形机构，变形机构远离密封一端封闭，连接架与密封芯轴固定连接，传感器固定在连接架的一端，弹性件固定在连接架的另一端，弹性件活动端与变形机构接触。

技术研发人员：毛念新,严仲君,潘永锋
受保护的技术使用者：无锡嘉森光学科技有限公司
技术研发日：20230928
技术公布日：2024/5/10