激光干涉仪的制作方法

本发明涉及一种激光干涉仪。

背景技术：

1、在专利文献1中公开了一种对进行振动的物体照射激光束并利用因多普勒效应而发生了变化的激光束的频率来对物体的速度进行测定的激光多普勒测速仪。在激光多普勒测速仪中，为了对物体的振动现象的方向性进行检测，从而需要对从激光源出射的光进行调制的结构。因此，在专利文献1中，公开了使用声光学调制器或电光学调制器的技术。

2、在专利文献1所记载的声光学调制器或电光学调制器中，输入有从振荡电路被输出的rf(radio frequency，射频)信号。由此，使被设置在这些光调制器内的光学元件的折射率发生变化，从而对光进行调制。

3、在将从激光源出射的光照射在进行振动的物体上时，会发生反射而产生返回光。由于返回光引起多普勒频移，因此通过使该返回光与参照光干涉而产生拍频信号。通过使该拍频信号从解调器通过，从而能够求出物体的振动速度。通常，在解调器中，使用由振荡电路产生的基准信号来进行解调。

4、振荡电路为，例如将水晶振子等的信号源作为源振而输出所期望的频率信号的电路。然而，水晶振子的振荡中具有温度特性。因此，存在当受到温度变化的影响时会使得从振荡电路被输出的信号的频率发生变化这样的问题。

5、另一方面，由前述的光调制器实施的光的调制中也具有温度特性。因此，当受到温度变化的影响时，由光调制器调制的调制频率会发生变化。

6、另外，光调制器的温度特性与水晶振子的温度特性不同。该温度特性的偏离会影响到激光多普勒测速仪的计测结果。其结果为，存在计测速度的精度下降这样的问题。

7、专利文献1：日本特开平9-54293号公报

技术实现思路

1、本发明的应用例所涉及的激光干涉仪的特征在于，具备：

2、光源部，其射出第一激光；

3、光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；

4、受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光包含所述第一激光被对象物反射而生成的采样信号；

5、解调电路，其基于基准信号并根据所述受光信号而对所述采样信号进行解调；

6、振荡电路，其向所述解调电路输出所述基准信号，

7、所述振动元件为所述振荡电路的信号源。

技术特征：

1.一种激光干涉仪，其特征在于，具备：

2.如权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，

3.如权利要求2所述的激光干涉仪，其特征在于，

4.如权利要求1所述的激光干涉仪，其特征在于，

5.如权利要求4所述的激光干涉仪，其特征在于，

6.如权利要求4所述的激光干涉仪，其特征在于，

7.如权利要求6所述的激光干涉仪，其特征在于，

技术总结
本申请提供一种源自对象物的采样信号的解调精度较高且易于实现小型化的激光干涉仪。该激光干涉仪的特征在于，具备：光源部，其射出第一激光；光调制器，其具备振动元件，并且使用所述振动元件来对所述第一激光进行调制，从而生成包含调制信号的第二激光；受光元件，其接受第三激光和所述第二激光的干涉光，并输出受光信号，所述第三激光包含所述第一激光被对象物反射而生成的采样信号；解调电路，其基于基准信号并根据所述受光信号而对所述采样信号进行解调；振荡电路，其向所述解调电路输出所述基准信号，所述振动元件为所述振荡电路的信号源。

技术研发人员：山田耕平,清水武士
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/3/17