一种干涉系统的制作方法

本技术涉及光学，特别是涉及一种干涉系统。

背景技术：

1、光的干涉是指两束或多束光波相互叠加产生明暗条纹的现象。干涉现象是光的波动性质的直接证据之一，它可以解释很多自然界中的光现象，如彩虹、薄膜的反射与透射等。光学干涉在多个领域都有广泛的应用，例如光学测量、光学相干成像和光学信息处理等。干涉条纹的主要特性有干涉条纹的对比度、干涉条纹的角度和干涉条纹的周期。

2、现有技术中，通常是利用干涉系统来产生干涉条纹，在干涉系统的设计过程中，设计者会使发生干涉的第一相干光和第二相干光的光程尽可能接近，即光程差尽量小来获得对比度较高的干涉条纹。理想情况下，在第一相干光与第二相干光光程差为零时获得的干涉条纹对比度最大，此时若通过调节第一相干光和第二相干光之间的夹角实现对干涉条纹的周期和干涉条纹的角度进行调节，则会破坏第一相干光与第二相干光光程相等的环境从而无法获得所需的干涉条纹。故现有技术中，往往只能对第一相干光和第二相干光的光程差以及第一相干光与第二相干光之间的夹角进行单一精确调节或者两者同时进行粗略调节，这就会很容易造成所获得的干涉条纹的对比度、周期和角度并不处于理想状态。

3、针对现有技术中，无法对第一相干光和第二相干光的光程差以及第一相干光与第二相干光之间的夹角两者同时进行精确调节的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种干涉系统，以解决相关技术中无法对第一相干光和第二相干光的光程差以及第一相干光与第二相干光之间的夹角两者同时进行精确调节的问题。

2、第一个方面，本技术实施例提供了一种干涉系统，所述干涉系统包括光源模块、第一相干光模块、第二相干光模块、分光棱镜、采集模块和控制模块，所述控制模块包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第一位移调节平台、第二位移调节平台和第三位移调节平台；

3、所述光源模块，用于将稳定的光源经过分束后分别入射到所述第一相干光模块和所述第二相干光模块中；所述第一相干光模块，用于对入射的光进行处理得到的第一相干光沿所述分光棱镜的透射方向准直入射到所述分光棱镜；所述第二相干光模块，用于对入射的光进行处理得到的第二相干光准直入射到所述第一反射镜；

4、所述第一反射镜，用于将入射的所述第二相干光垂直反射到所述第二反射镜；所述第二反射镜，用于将入射的所述第二相干光垂直反射到所述第三反射镜；所述第三反射镜，用于将入射的所述第二相干光垂直反射到所述第四反射镜；所述第四反射镜，用于将入射的所述第二相干光反射到所述分光棱镜的反射面上；所述第一反射镜的反射中心、所述第二反射镜的反射中心、所述第三反射镜的反射中心和所述第四反射镜的反射中心的高度相同；

5、所述分光棱镜，用于将入射的所述第一相干光沿入射方向透射出去；以及将入射的所述第二相干光沿所述分光棱镜的反射面反射出去；所述采集模块，用于接收从所述分光棱镜出射的所述第一相干光和所述第二相干光，并采集所述第一相干光和所述第二相干光在干涉面上产生的干涉条纹；

6、所述第一位移调节平台，用于在高度平面上对所述第四反射镜沿第一方向和第二方向进行调节；所述高度平面为所述所述第一反射镜的反射中心、所述第二反射镜的反射中心、所述第三反射镜的反射中心和所述第四反射镜的反射中心所在平面；所述第一方向与所述第一反射镜的光线入射方向平行；所述第二方向与所述第一反射镜的光线出射方向平行；所述第二位移调节平台，用于在高度平面上对所述第三反射镜沿所述第一方向进行调节；所述第二位移调节平台，还用于在高度平面上对所述第三反射镜沿所述第二方向进行调节；所述第三位移调节平台，用于在高度平面上对所述第二反射镜沿第二方向进行调节。

7、上述干涉系统，包括光源模块、第一相干光模块、第二相干光模块、分光棱镜、采集模块和控制模块，控制模块包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第一位移调节平台、第二位移调节平台和第三位移调节平台；光源模块，用于将稳定的光源经过分束后分别入射到第一相干光模块和第二相干光模块中；第一相干光模块，用于对入射的光进行处理后作为第一相干光沿分光棱镜的透射方向准直入射到分光棱镜；第二相干光模块，用于对入射的光进行处理后作为第二相干光准直入射到第一反射镜；第一反射镜，用于将入射的第二相干光垂直反射到第二反射镜；第二反射镜，用于将入射的第二相干光垂直反射到第三反射镜；第三反射镜，用于将入射的第二相干光垂直反射到第四反射镜；第四反射镜，用于将入射的第二相干光反射到分光棱镜的反射面上；第一反射镜的反射中心、第二反射镜的反射中心、第三反射镜的反射中心和第四反射镜的反射中心的高度相同；分光棱镜，用于将入射的第一相干光沿入射方向透射出去；以及将入射的第二相干光沿分光棱镜的反射面反射出去；采集模块，用于接收从分光棱镜出射的第一相干光和第二相干光，并采集第一相干光和第二相干光在干涉面上产生的干涉条纹；第一位移调节平台，用于在高度平面上对第四反射镜沿第一方向和第二方向进行调节；高度平面为第一反射镜的反射中心、第二反射镜的反射中心、第三反射镜的反射中心和第四反射镜的反射中心所在平面；第一方向与第一反射镜的光线入射方向平行；第二方向与第一反射镜的光线出射方向平行；第二位移调节平台，用于在高度平面上对第三反射镜沿第一方向进行调节；第二位移调节平台，还用于在高度平面上对第三反射镜沿第二方向进行调节；第三位移调节平台，用于在高度平面上对第二反射镜沿第二方向进行调节。

8、基于本技术提出的干涉系统，可以利用第一位移调节平台将第四反射镜沿第一方向和第二方向进行调节，以改变第四反射镜和分光棱镜之间的相对位置，实现对第一相干光和第二相干光之间的夹角的调节，若将第四反射镜沿第一方向进行调节了，则利用第二位移调节平台对第三反射镜沿第一方向进行调节，使第三反射镜与第四反射镜在第一方向上的坐标保持相同，可以保证第二相干光的光路还是由第一反射镜垂直反射到第二反射镜，再由第二反射镜垂直反射到第三反射镜，再由第三反射镜垂直反射到第四反射镜，但由于第四反射镜和分光棱镜之间的相对位置发生变化了，使得第四反射镜入射到分光棱镜的方向变了，从而改变了第二相干光和第一相干光之间的夹角，即通过利用第一位移调节平台对第四反射镜沿第一方向和第二方向进行调节，以及利用第二位移调节平台对第三反射镜沿第一方向进行调节，实现对第一相干光和第二相干光之间的夹角进行精细调节。另外，在第一相干光和第二相干光之间的夹角调节好后，可以利用第二位移调节平台对第三反射镜沿第二方向进行调节以及利用第三位移调节平台对第二反射镜沿第二方向进行调节，使第二反射镜和第三反射镜在第二方向上的坐标保持相同，使第二相干光的光程发生改变，实现对第一相干光和第二相干光的光程差进行调节。通过让第二反射镜和第三反射镜在第二方向上的坐标保持相同，可以保证第二相干光的光路还是由第一反射镜垂直反射到第二反射镜，再由第二反射镜垂直反射到第三反射镜，再由第三反射镜垂直反射到第四反射镜，但由于第二反射镜和第三反射镜在第二方向上的坐标变了，使得第一相干光和第二相干光的光程差变了，但由于干涉系统中没有其他的变化，则可以保证第一相干光和第二相干光之间的夹角不发生变化，即通过利用第二位移调节平台对第三反射镜沿第二方向进行调节以及利用第三位移调节平台对第二反射镜沿第二方向进行调节，在不影响第一相干光和第二相干光之间的夹角的情况下，实现第一相干光和第二相干光的光程差的精细调节，通过在干涉系统中部署由第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第一位移调节平台、第二位移调节平台和第三位移调节平台组成的控制模块，可以实现对第一相干光和第二相干光的光程差以及第一相干光与第二相干光之间的夹角两者同时进行精确调节，使所获得的干涉条纹的对比度、周期和角度始终处于理想状态。