一种样品台和X射线衍射设备的制作方法

本申请涉及检测设备，特别是涉及一种样品台和x射线衍射设备。

背景技术：

1、x射线衍射(x-ray diffraction，xrd)设备是一种应用广泛的晶体结构分析设备，在半导体领域广泛应用。其可以实现单晶及多晶物质的结构、组分、质量分析。对待分析样品的形貌要求不限于粉末、薄膜、厚膜及其他样品尺寸。

2、目前，xrd设备的样品台主多用于xrd反射衍射特性的测定，对于测试样品的透射特性具有一定的局限性。而且，xrd设备中还存在由于样品台设计过于笨重，导致样品和探测器的移动角度受限的问题，在进行材料探索时，若待探测晶面超出探测器允许移动的范围，则无法实现该材料的检测。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例为解决背景技术中存在的至少一个问题而提供一种样品台和x射线衍射设备。

2、本公开第一方面实施例提供了一种样品台，所述样品台包括：

3、支座；

4、样品架，所述样品架包括至少两个外径不同的样品环，至少两个所述样品环依次套接，至少一个所述样品环连接于所述支座，至少一个所述样品环可拆卸；

5、每个所述样品环上均具有安装样品的安装位。

6、可选地，所述样品环均为圆环，至少两个所述样品环的圆心重合。

7、可选地，所述样品环具有第一空腔，所述安装位为形成在所述样品环上的吸附孔，所述吸附孔与所述第一空腔连通。

8、可选地，所述样品台还包括：

9、第一连接轴，连接所述样品环和所述支座；和/或，

10、第二连接轴，连接相邻两个所述样品环，并相对相邻两个所述样品环中的至少一个可拆卸，所述第二连接轴具有与所述第一空腔连通的第二空腔。

11、可选地，所述样品环能够绕所述第二连接轴的轴线转动。

12、可选地，相邻两个所述样品环之间具有间隔。

13、可选地，所述样品环上具有供所述样品插入的卡槽，所述样品台还包括位于所述样品环上的卡扣，所述卡扣用于固定插入所述卡槽内的所述样品。

14、可选地，所述样品架能够相对所述支座分别独立地沿x轴、y轴或z轴移动，并分别独立地沿phi轴或chi轴转动；其中，所述x轴、所述y轴及所述z轴相互垂直。

15、可选地，所述支座包括：

16、底座，包括固定部分以及活动部分，所述活动部分能够相对所述固定部分沿所述x轴、所述y轴及所述z轴移动；

17、转动架，连接于所述样品环，并连接于所述活动部分，所述转动架能够相对所述底座沿所述phi轴和/或chi轴转动。

18、本公开第二方面实施例提供了一种x射线衍射设备，所述x射线衍射设备包括：第一方面实施例所述的样品台。

19、本申请实施例所提供的样品台中，利用样品环上的安装位可以实现对样品的固定。可以使用所有的样品环对样品进行固定，也可以将至少一个样品环拆卸下来，使用部分样品环对样品定位。应用于x射线衍射设备时，样品台不仅支持对样品反射特性的检测，还支持对样品透射特性的检测，例如：可以保留外圈的样品环，而拆卸内圈部分的样品环，以减少内圈部分样品环对射线的阻挡，并利用外圈样品环对样品固定。

20、本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

技术特征：

1.一种样品台，其特征在于，所述样品台包括：

2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品环均为圆环，至少两个所述样品环的圆心重合。

3.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品环具有第一空腔，所述安装位为形成在所述样品环上的吸附孔，所述吸附孔与所述第一空腔连通。

4.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于，所述样品台还包括：

5.根据权利要求4所述的样品台，其特征在于，所述样品环能够绕所述第二连接轴的轴线转动。

6.根据权利要求1至5任一项所述的样品台，其特征在于，相邻两个所述样品环之间具有间隔。

7.根据权利要求1至5任一项所述的样品台，其特征在于，所述样品环上具有供所述样品插入的卡槽，所述样品台还包括位于所述样品环上的卡扣，所述卡扣用于固定插入所述卡槽内的所述样品。

8.根据权利要求1至5任一项所述的样品台，其特征在于，所述样品架能够相对所述支座分别独立地沿x轴、y轴或z轴移动，并分别独立地沿phi轴或chi轴转动；其中，所述x轴、所述y轴及所述z轴相互垂直。

9.根据权利要求8所述的样品台，其特征在于，所述支座包括：

10.一种x射线衍射设备，其特征在于，所述x射线衍射设备包括：权利要求1至9任一项所述的样品台。

技术总结
本申请实施例涉及一种样品台和X射线衍射设备，所述样品台包括：支座和样品架；样品架包括至少两个外径不同的样品环，至少两个所述样品环依次套接，至少一个所述样品环连接于所述支座，至少一个所述样品环可拆卸；每个所述样品环上均具有安装样品的安装位。应用于X射线衍射设备时，样品台不仅支持对样品反射特性的检测，还支持对样品透射特性的检测，例如：可以保留外圈的样品环，而拆卸内圈部分的样品环，以减少内圈部分样品环对射线的阻挡，并利用外圈样品环对样品固定。

技术研发人员：董海云,杨露瑶,倪健
受保护的技术使用者：埃特曼半导体技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/16