能够检测颜色信息的三维形状检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种能够检测颜色信息的三维形状检测装置，更为详细地，涉及一种利用干涉仪的同时能够检测到检测对象的有色信息的能够检测颜色信息的三维形状检测
目.0
【背景技术】
[0002]在半导体工艺及Fro工艺中决定质量的多种因素中，控制薄膜层厚度所占的比重较大，因此可以认为有必要在工艺中直接监测薄膜层。所谓的“薄膜层”为基层，即为形成在基板表面上的具有非常微细厚度的层，通常厚度为数nm?数μπι。为了将这些薄膜层作为特定用途来应用，有必要知道薄膜层的厚度、组成、粗糙度及其他物理、光学特性。在此，虽然检测半导体工艺及其他应用工艺中使用的薄膜层厚度的方法有多种方式，但通常使用利用干涉仪的方法和利用分光光度计的方法。
[0003]另外，最近对于具有如R/G/B的有色信息的如IXD面板的半导体器件，也检测薄膜层的物理、光学特性的同时，还能检测到如R/G/B的有色信息的技术备受关注。
[0004]图1为示意地表示以往的三维形状检测装置的光路图。如图1所示，以往的三维形状检测装置包括光源10、光线分割器30、透镜部40及光线检测部50，该装置通过对从光源10发射的光线在透镜部40中被分割为两束以上的光线并在进行路径上产生差异后，被分割的光线重新合并时产生的干涉现象进行观察，从而检测检测对象的形状等。
[0005]然而，这种以往的三维形状检测装置因光线的干涉效果，无法准确地检测到检测对象的有色信息，因此通常通过在检测对象上按各颜色不同地形成的图案来识别。
[0006]S卩，以往技术并不是通过区别有色信息而直接判别的，因此具有在检测对象上没有形成图案或图案的形状形成为各颜色的形状彼此相同时，不能将各有色信息区别检测的问题。
【发明内容】
[0007]因此，本发明的目的是为了解决所述的问题而提出的，其目的是提供一种能够检测颜色信息的三维形状检测装置，该能够检测颜色信息的三维形状检测装置能够利用干涉仪检测检测对象的形状，并且还能检测到检测对象的颜色信息。
[0008]所述目的，通过本发明的能够检测颜色信息的三维形状检测装置来实现，该能够检测颜色信息的三维形状检测装置利用干涉光对检测对象的形状进行检测，所述三维形状检测装置的特征在于，包括:光源，用于发射光线；光线分割器，用于对从所述光源发射的光线进行反射或对通过检测对象反射的光线进行透射；透镜部，用于使通过所述光线分割器反射的光线聚集到所述检测对象；光线检测部，用于检测从所述检测对象反射的光线；及光线调节部，配置在所述光源和所述光线分割器之间的光路上，用于阻断从所述光源的中心区域发射的光线，从而减弱在所述透镜部中产生的光线的干涉。
[0009]在此，优选所述光线调节部包括:主体部，设置有用于透射光线的透射部；和光圈，设置在所述透射部的内部，用于阻断光线，并且从所述光源发射的光线所透射的光路优选被限制在所述透射部的外面和所述光圈的外面之间的区域。
[0010]此外，优选所述光圈设置为圆形、多边形及棒形中的至少一个。
[0011]在此，优选所述光线调节部有选择地安装在所述光源和所述光线分割器之间的光路上O
[0012]此外，优选进一步包括:辅助光线调节部，配置在所述光线调节部和所述光线分割器之间的光路上，用于阻断通过所述光线调节部的部分光线。
[0013]在此，优选所述透镜部的倍率为50倍以下。
[0014]此外，优选所述辅助光线调节部设置有用于透射光线的开口部，在透射所述光线调节部的光线中，部分光线透射所述开口部后到达检测对象。
[0015]在此，优选所述光圈的中心轴和所述开口部的中心轴设置为相同的轴。
[0016]此外，优选所述透射部的面积比所述开口部的面积宽。
[0017]在此，优选所述光线检测部包括用于检测干涉光的第一照相机和用于检测颜色信息的第二照相机，并且所述三维形状检测装置进一步包括第二光线分割器，所述第二光线分割器设置在所述光线检测部和所述光线分割器之间的光路上，用于将从检测对象反射的光线透射到所述第一照相机或第二照相机中的至少一个照相机。
[0018]根据本发明，提供一种能够检测颜色信息的三维形状检测装置，该能够检测颜色信息的三维形状检测装置能够利用干涉仪检测检测对象的形状，并且还能检测检测对象的颜色信息。
[0019]此外，由于有选择地安装光线调节部，因此能够检测检测对象的形状及颜色信息。
[0020]此外，由于能够根据透镜部的倍率调节向检测对象入射的光线，因此能够与透镜部的倍率无关地检测检测对象的颜色信息。
[0021]此外，由于光圈和开口部的中心轴相一致，因此能够易于调节向检测对象入射的光线。
【附图说明】
[0022]图1为示意地表示以往的三维形状检测装置的光路图，
[0023]图2为示意地表示本发明的第一实施例的能够检测颜色信息的三维形状检测装置的光路图，
[0024]图3为示意地表示在图2的能够检测颜色信息的三维形状检测装置中的光线调节部一例的图，
[0025]图4为示意地表示在图2的能够检测颜色信息的三维形状检测装置中的光线调节部另一例的图，
[0026]图5为示意地表示在图2的能够检测颜色信息的三维形状检测装置中从光源发射的光线通过光线调节部的模样的图，
[0027]图6为示意地表示在图5的能够检测颜色信息的三维形状检测装置中通过光线调节部的光线向透镜部入射的模样的图，
[0028]图7及图8为表示在图2的能够检测颜色信息的三维形状检测装置中检测检测对象的颜色信息的模样的照片，
[0029]图9为示意地表示本发明的第二实施例的能够检测颜色信息的三维形状检测装置的光路图，
[0030]图10为示意地表示本发明的第二实施例的能够检测颜色信息的三维形状检测装置的光路图，
[0031]图11为示意地表示在图10的能够检测颜色信息的三维形状检测装置中从光源发射的光线通过光线调节部的模样的图。
【具体实施方式】
[0032]在对本发明进行说明之前需要说明的是，在多个实施例中，对于具有相同结构的构件使用相同的附图标记，并在第一实施例中进行代表性的说明，在其他实施例中针对与第一实施例不同的结构进行说明。
[0033]下面，参照附图对本发明的第一实施例的能够检测颜色信息的三维形状检测装置进行详细说明。
[0034]图2为示意地表示本发明的第一实施例的能够检测颜色信息的三维形状检测装置的光路图。
[0035]参照图2，本发明的第一实施例的能够检测颜色信息的三维形状检测装置100为使通过透镜部140的光线产生的干涉效果最小化的装置，包括:光源110、光线调节部120、光线分割器130、透镜部140及光线检测部160。
[0036]所述光源110用于发射光线，在本发明的第一实施例的能够检测颜色信息的三维形状检测装置100中光源110使用白色光源，但并不局限于此。
[0037]图3为示意地表示在图2的能够检测颜色信息的三维形状检测装置中的光线调节部一例的图，图4为示意地表示在图2的能够检测颜色信息的三维形状检测装置中的光线调节部另一例的图。
[0038]参照图3或图4，所述光线调节部120配置在光源110和后述的光线分割器130之间的光路上，用于阻断从光源110的中心区域发射的光线，从而最大限度地减小在后述的透镜部140中产生的光线的干涉。
[0039]S卩，为了检测检测对象的形状等，利用光线的干涉效果，但在检测有色信息时利用光线调节部120，在光源110中阻断产生干涉较活跃的中心光线前往检测对象，从而能够最大限度的减小在后述的透镜部130中产生的光线的干涉，以检测检测对象的有色信息。
[0040]在本发明的第一实施例的能够检测颜色信息的三维形状检测装置100中，光线调节部120包括主体部121及光圈123。
[0041]所述主体部121起到光线调节部120的主框架作用，在包括光源110的中心区域的区域形成有透射光线的透射部122。
[0042]在此，优选主体部121和透射部122具有相同的中心轴，并且透射部122形成在主体部121的中央部，但并不局限于此。
[0043]此外，主体部121和透射部122设置为圆形，但并不局限于此，也可设置为多边形的形状。
[0044]此外，透射部122设置为贯通主体部121，但并不局限于此，也可由用于透射光线的膜来形成。
[0045]所述光圈123设置在透射部122的内部，光圈123用于阻断向与设置有光圈123的区域对应的区域行进的光线(下称“中心光线”)，从而光圈123设置为只使中心光线以外的周边光线通过。
[0046]在此，周边光线与中心光线相比，光线的干涉效果发生率低，并且在透镜部140内的光线的干涉效果发生率也低。
[0047]在此，优选光圈123形成在透射部122的中央部，但并不局限于此。
[0048]此