化可W通过第一柔性部件140和第二柔 性部件150被连接到第一框架120。 W65] 在实施例中，当被施加 W科氏力时，第一质量体110a和第二质量体11化可W通过 第一柔性部件140的弯曲和第二柔性部件150的扭转变形和角位移而移位。在运种情况下， 第一质量体110a和第二质量体11化经历旋转运动和平移运动，运将在下面更详细地描述。
[0066] 此外，设置在第一框架120中的第一质量体110a和第二质量体11化可W基于连 接到第一框架120的第四柔性部件170彼此对称地设置。
[0067] 此外，第一框架120支撑质量体部件110。更具体地说，第一框架120可W具有设 置在其中的第一质量体110a和第二质量体11化，并且可通过第一柔性部件140和第二柔性 部件150连接到质量体部件110。目P，第一框架120用来确保质量体部件110在其中可W产 生移位的空间，从而成为质量体110移位时的参照，即，质量体部件110可W相对于第一框 架120运动。另外，第一框架120也可W形成为覆盖或包围质量体部件110的仅仅一部分。 W側其次，第二框架130支撑第一框架120。更具体地说，第二框架130可W被设置为 在第一框架120的外部、在第一框架120之外或远离第一框架120 W与第一框架120分开， 并且可通过第Ξ柔性部件160和第四柔性部件170连接到第一框架120。因此，第一框架 120和连接到第一框架120的质量体部件110可W被认为是W浮动的状态被第二框架130 支撑W能够产生位移，即，第一框架120和质量体部件110可W分别相对于第二框架130运 动。另外，在实施例中，第二框架130也可W形成为覆盖或包围第一框架120的仅仅一部分。
[0069] 根据一个或更多个实施例，角速度传感器100的运样的组件的其它的和/或可选 的结构特征、形状、和/或有机连接（organic connection)将在下面参照图2到图4被更 详细地描述。
[0070] 根据一个或更多个实施例，图2是角速度传感器（诸如沿着图1中示出的线A-A 截取的图1的角速度传感器）的示意性截面图，图3是角速度传感器（诸如沿着图1中示 出的线B-B截取的图1的角速度传感器）的示意性截面图，图4是角速度传感器（诸如沿 着图1中示出的线B' -B'截取的图1的角速度传感器）的示意性截面图。
[0071] 首先，第一质量体110a和第二质量体11化的两端可W通过第一柔性部件140 W 示出的Y轴方向分别被连接到第一框架120。 阳0巧另外，第一柔性部件140中的每一个可W是梁，所述梁在示出的Z轴方向具有预定 的厚度，并且具有由示出的X轴和Y轴形成的表面。目P，第一柔性部件140中的每个可W被 形成为在X轴方向的宽度大于在Z轴方向的厚度。
[0073] 此外，在Y轴方向，第一柔性部件140的一端可W被连接到质量体部件110并且第 一柔性部件140的另一端连接到第一框架120。为此，第一柔性部件140中的每个可W在Y 轴方向延伸。
[0074] 此外，第一柔性部件140中的每个可W在Y轴方向被连接到示出的第一质量体 110a和第二质量体11化的上侧和下侧两者。
[0075] 另外，第一柔性部件140中的一个或更多个可W被设置有传感器。旨P，例如，当基 于XY平面观察时，第一柔性部件140中的每个可W比第二柔性部件150相对地宽。因此，第 一柔性部件140中的一个或更多个可W被设置有感测第一质量体110a和第二质量体11化 的位移的传感器。
[0076] 此外，所述传感器不受具体限制，但是可被形成为使用压电式、压阻式、电容式、光 学式等。 阳077] 此外，第一质量体110a和第二质量体11化可W在X轴方向被连接到第二柔性部 件150,并且第二柔性部件150被连接到第一框架120。 阳07引此外，第二柔性部件150可W用于将第一质量体110a和第二质量体11化分别连 接到第一框架120,从而第一质量体110a和第二质量体11化可W执行旋转运动和平移运 动。为此，例如，第二柔性部件可W包括第一较链151、臂152、第二较链153、固定臂154和 结合较链155。 阳0巧]更详细地，第一较链151可W被连接到第一质量体110a和第二质量体11化的上 侧部分和下侧部分两者，从而可W实现第一质量体110a和第二质量体11化的角位移，并且 臂152、第二较链153和固定臂154可W分别被连接到第一质量体110a和第二质量体11化， 从而可W实现第一质量体110a和第二质量体11化的线位移。
[0080] 此外，臂152可W被连接到第一较链151的一端，第一较链151的另一端分别被连 接到第一质量体110a和第二质量体11化，并且所述连接使得臂152的延伸方向与第一较链 151连接到第一质量体110a和第二质量体11化的方向不同。
[0081] 此外，第二较链153的一侧可W被连接到第一较链151所连接的臂152的另一侧， 从而可W实现臂152的角位移。
[0082] 此外，固定臂154的一侧可W被连接到可连接到臂152的第二较链153的另一侧， 并且固定臂154的另一侧可W被连接到第一框架120。
[0083] 此外，第一较链151和第二较链153可W被设置为彼此平行，并且臂152可W被设 置为与第一较链151和第二较链153正交。
[0084] 此外，第一较链151可W被连接到第一质量体110a和第二质量体11化的两侧，从 而可W分别实现第一质量体110a和第二质量体11化的角位移。
[00化]此外，第一较链151和第二较链153中的每个可W在Y轴方向分别具有预定厚度， 并且可W具有由X轴和Z轴形成的表面。例如，第一较链151和第二较链153中的每个可 W被形成为使得在z轴方向的宽度大于在Υ轴方向的厚度。
[0086] 此外，第一较链151和第二较链153中的每个可W被布置为在X-轴方向延伸，并 且臂152中的每个可W被布置为在Υ轴方向延伸。
[0087] 此外，第一较链151在X轴方向延伸的一端可W被连接到第一质量体110a和第二 质量体11化，第一较链151的另一端被连接到臂152,并且第二较链153在X轴方向延伸的 一端可W被连接到固定臂154,固定臂154可W与第一框架120结合，而第二较链153的另 一端可W被连接到臂152。
[0088] 此外，第一柔性部件140的连接方向可W被设置为与第二柔性部件150的第一较 链151和第二较链153之间的连接方向正交。目P，第一柔性部件140可W在Y轴方向分别 将第一质量体110a和第二质量体11化连接到第一框架120,第二柔性部件150的第一较链 151可W在X轴方向被分别连接到第一质量体110a和第二质量体110b，并且第二较链153 也可W在X-轴方向被连接到臂152和固定臂154。
[0089] 因此，在一个或更多个实施例中，可W基于X轴实现第一质量体110a和第二质量 体11化的角位移，但可能不能基于Y轴相对自由地实现。
[0090] 此外，第二柔性部件150的第一较链151和第二较链153可W被连接到在Y轴延 伸的臂152的两侧，而第二较链153的一端可W被连接到固定臂154,第二较链153的另一 端被连接到臂152。因此，由于固定臂154在Y轴方向被连接到第一框架120,因此除了通 过第二柔性部件150的链接结构在X轴方向实现质量体110的角位移W外，还可W在Z-轴 方向实现质量体110的线位移。
[00川此外，如图1所示，第一柔性部件140可W在Y-轴方向被连接到第一质量体110a 和第二质量体11化的示出的背对的顶侧和底侧，并且第二柔性部件150可W在Y轴方向被 连接到质量体110的上侧部分和下侧部分两者。
[0092] 运里，当第一质量体110a和第二质量体11化执行平移运动时，结合较链155可W 用于沿同一方向运动。目P，例如，当第一质量体110a和第二质量体11化沿Z轴方向执行 平移运动时，结合较链可W将第一质量体110a和第二质量体11化结合为使得第一质量体 110a和第二质量体11化两者相对于第一框架产生正位移或负位移，并且第一质量体110a 和第二质量体11化中的任何一个产生正位移而其中另一个不会产生负位移。
[0093] 为此，结合较链155可W被形成为具有在X轴和Z轴方向形成的表面和在Y-轴方 向的厚度。
[0094] 此外，结合较链155可W被设置为与第一较链151平行，并且在X轴方向连接第一 质量体110a和第二质量体11化。此外，在一个或更多个实施例中，结合较链155可W分别 连接到第一质量体110a和第二质量体11化相对于Y-轴方向的中央侧部分。
[0095] 其次，例如，第Ξ柔性部件160中的每个可W被构造为梁，所述梁在Z-轴方向具有 预定的厚度并且具有由X轴和Y轴形成的表面。目P，第Ξ柔性部件160中的每个可被形成 为在Y轴方向的宽度大于在Z轴方向的厚度。另外，第Ξ柔性部件160中的每个可W具有 相对于X轴方向连接到第一框架120的一端和连接到第二框架130的另一端。
[0096] 如上所述，第一柔性部件140连接质量体部件110和第一框架120的方向与第Ξ 柔性部件160连接第一框架120和第二框架130的方向可W彼此正交。
[0097] 此外，第四柔性部件170中的每个可被构造为较链，其可在X轴方向具有预定厚度 并可具有由γ轴和z轴形成的表面。目p，第四柔性部件170中的每个可被形成为使得Z轴 方向上的宽度大于X轴方向上的厚度。因此，第一框架120基于X轴的旋转或第一框架120 在Z轴方向上的平移均可被限制，而第一框架120可被构造为基于Y轴相对自由地旋转。 良P，第一框架120可按照使第一框架120基于Y轴方向相对于第二框架130旋转的方式而 固定到第二框架130,例如，第四柔性部件170作为用于此目的的较链。
[0098] 此外，在一个或更多个实施例中，第四柔性部件170可与第一框架120的中央侧部 结合，第一框架120可基于第四柔性部件170旋转为对称地移位。
[0099] 此外，第Ξ柔性部件160和第四柔性部件170可被设置为使得第Ξ柔性部件160 和第四柔性部件170的延伸方向（即，它们分别在第