一种微机电产品测量过程中温度均衡判断方法及系统的制作方法

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一种微机电产品测量过程中温度均衡判断方法及系统的制作方法
【专利摘要】本发明涉及产品测试技术领域,提供一种微机电产品测量过程中温度均衡判断方法及系统,方法包括:控制将每一个温度传感器的温度数据存储到温度数据缓冲区内;将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较,判断每个温度数据缓冲区是否满足单一温度均衡条件;当测试腔体的每一个温度数据缓冲区内的温度数据均满足单一温度均衡条件时,判断测试腔体是否温度均衡;当测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值均满足所述温度设定值和温度浮动值的范围时,判定所述测试腔体温度均衡,从而快速的对测试腔体的温度进行均衡判断,为测试芯片提供良好的稳定的测试环境。
【专利说明】
一种微机电产品测量过程中温度均衡判断方法及系统
技术领域
[0001]本发明属于产品测试技术领域,尤其涉及一种微机电产品测量过程中温度均衡判断方法及系统。
【背景技术】
[0002]在微机电产品的测试测量中,需要在一个温度均衡要求很高的测试腔体中进行,只有测试腔体温度达到均衡要求后才能进行芯片测试,例如芯片的测试。
[0003]在芯片测试之前,若在温度未达到均衡情况下开始测试芯片或者测试芯片过程中温度波动超限而未判断出温度不均衡,则采集到的芯片数据为失效数据,当产生这种情况时,对被测试芯片很有可能做出误判,从而失去了产品测试测量的意义。

【发明内容】

[0004]本发明的目的在于提供一种对微机电产品测试腔体的温度进行准确、有效、快速的进行判断的微机电产品测量过程中温度均衡判断方法。
[0005]本发明是这样实现的,一种微机电产品测量过程中温度均衡判断方法,所述方法包括下述步骤:
[0006]控制将测试腔体内的每一个温度传感器所测量到的温度数据存储到对应的温度数据缓冲区内,获得每个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值、温度最大值所处位置以及温度最小值所处位置;
[0007]在每个温度数据缓冲区内,将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较,同时,根据预先设置的温度采样点数,判断每个温度数据缓冲区是否满足单一温度均衡条件;
[0008]当测试腔体的每一个温度数据缓冲区内的温度数据均满足单一温度均衡条件时,将测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值与预先设定的温度设定值和温度浮动值进行比较,判断测试腔体是否温度均衡;
[0009]当测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值均满足所述温度设定值和温度浮动值的范围时,判定所述测试腔体温度均衡。
[0010]作为一种改进的方案,所述控制将测试腔体内的每一个温度传感器测量到的温度数据存储到对应的温度数据缓冲区内的步骤之前还包括下述步骤:
[0011 ]为测试腔体内的每一个温度传感器分配一个温度数据缓冲区,所述温度数据缓冲区用于存储对应的温度传感器所采集到的温度数据;
[0012]预先设置与所述测试腔体相对应的温度设定值、温度浮动值、温度波动范围值、温度采集速率以及温度采样点数。
[0013]作为一种改进的方案,所述在每个温度数据缓冲区内,将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较的步骤具体包括下述步骤:
[0014]在每个温度数据缓冲区内,判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面;
[0015]当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的前面时,判断新采集到的温度数据是否大于所述温度数据缓冲区内温度最大值,当新采集到的温度数据大于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,判断新采集的温度数据与所述温度最大值的差是否大于等于温度波动值,若新采集的温度数据与所述温度最大值的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据,若新采集的温度数据与所述温度最大值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据,当新采集到的温度数据小于等于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比对判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理;
[0016]当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的后面时,判断新采集到的温度数据是否大于所述温度数据缓冲区内温度最大值,当新采集到的温度数据大于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,判断新采集的温度数据与所述温度最大值的差是否大于等于温度波动值,若新采集的温度数据与所述温度最大值的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据,若新采集的温度数据与所述温度最大值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据,当新采集到的温度数据小于等于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比较判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理。
[0017]作为一种改进的方案,所述在每个温度数据缓冲区内,判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面的步骤之前还包括下述步骤:
[0018]当新采集到温度数据时,判断在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差是否大于温度波动值;
[0019]若在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差大于温度波动值时,执行所述判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面的步骤;
[0020]若在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差小于等于温度波动值时,则将所述温度数据缓冲区内的第一个温度数据舍弃掉,将新采集到的温度数据存储到所述温度数据缓冲区内。
[0021]作为一种改进的方案,所述将新采集到的温度数据与温度最小值进行比对判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理的步骤具体包括下述步骤:
[0022]判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内的温度最小值;
[0023]若新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断新采集的温度数据与所述温度最小值的差是否大于等于温度波动值,若新采集的温度数据与所述温度最小值的差大于等于温度波动值,则舍弃温度最大值以及温度最大值前面的温度数据,若新采集的温度数据与所述温度最小值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据;
[0024]若新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断所述温度最小值与新采集的温度数据的差是否大于等于温度波动值,若所述温度最小值与新采集的温度数据的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据,若所述温度最小值与新采集的温度数据的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据。
[0025]作为一种改进的方案,所述将新采集到的温度数据与温度最小值进行比较判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理的步骤具体包括下述步骤:
[0026]判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内的温度最小值;
[0027]若新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内的温度最小值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据;
[0028]若新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断所述温度最小值与新采集的温度数据的差是否大于等于温度波动值,若所述温度最小值与新采集的温度数据的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据,若所述温度最小值与新采集的温度数据的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据。
[0029]本发明的另一目的在于提供一种微机电产品测量过程中温度均衡判断系统,所述系统包括:
[0030]温度数据存储模块,用于控制将测试腔体内的每一个温度传感器所测量到的温度数据存储到对应的温度数据缓冲区内;
[0031 ]温度最大最小数值获取处理模块,用于获得每个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值、温度最大值所处位置以及温度最小值所处位置;
[0032]单一温度均衡判断处理模块,用于在每个温度数据缓冲区内,将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较,同时,根据预先设置的温度采样点数,判断每个温度数据缓冲区是否满足单一温度均衡条件;
[0033]测试腔体温度均衡判断处理模块,用于当测试腔体的每一个温度数据缓冲区内的温度数据均满足单一温度均衡条件时,将测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值与预先设定的温度设定值和温度浮动值进行比较,判断测试腔体是否温度均衡,当测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值均满足所述温度设定值和温度浮动值的范围时,判定所述测试腔体温度均衡。
[0034]作为一种改进的方案,所述系统还包括:
[0035]温度数据缓冲区分配模块,用于为测试腔体内的每一个温度传感器分配一个温度数据缓冲区,所述温度数据缓冲区用于存储对应的温度传感器所采集到的温度数据;
[0036]预先设置模块,用于预先设置与所述测试腔体相对应的温度设定值、温度浮动值、温度波动范围值、温度采集速率以及温度采样点数。
[0037]作为一种改进的方案,所述单一温度均衡判断处理模块具体包括:
[0038]第一判断模块,用于在每个温度数据缓冲区内,判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面;
[0039]第二判断模块,用于当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的前面时,判断新采集到的温度数据是否大于所述温度数据缓冲区内温度最大值;
[0040]第三判断模块,用于当新采集到的温度数据大于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,判断新采集的温度数据与所述温度最大值的差是否大于等于温度波动值,
[0041]第一舍弃模块,用于若新采集的温度数据与所述温度最大值的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据;
[0042]第二舍弃模块,用于若新采集的温度数据与所述温度最大值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据;
[0043]第一最小值比对判断处理模块,用于当新采集到的温度数据小于等于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比对判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理;
[0044]第四判断模块,用于当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的后面时,判断新采集到的温度数据是否大于所述温度数据缓冲区内温度最大值;
[0045]第五判断模块,用于当新采集到的温度数据大于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,判断新采集的温度数据与所述温度最大值的差是否大于等于温度波动值;
[0046]第三舍弃模块,用于若新采集的温度数据与所述温度最大值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据;
[0047]第二最小值比对判断处理模块,用于当新采集到的温度数据小于等于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比较判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理;
[0048]若新采集的温度数据与所述温度最大值的差大于等于温度波动值,则第一舍弃模块舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据;
[0049]所述第一最小值比对判断处理模块具体包括:
[0050]第六判断模块,用于判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内的温度最小值;
[0051 ]第七判断模块,用于若新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断新采集的温度数据与所述温度最小值的差是否大于等于温度波动值;
[0052]若新采集的温度数据与所述温度最小值的差大于等于温度波动值,则第三舍弃模块舍弃温度最大值以及温度最大值前面的温度数据;
[0053]若新采集的温度数据与所述温度最小值的差小于温度波动值,则第二舍弃模块在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据;
[0054]第八判断模块,用于若新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断所述温度最小值与新采集的温度数据的差是否大于等于温度波动值;
[0055]若所述温度最小值与新采集的温度数据的差大于等于温度波动值,则第一舍弃模块舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据;
[0056]若所述温度最小值与新采集的温度数据的差小于温度波动值,则第三舍弃模块在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据;
[0057]所述第二最小值比对判断处理模块具体包括:
[0058]第九判断模块,用于判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内的温度最小值;
[0059]若新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内的温度最小值,则第二舍弃模块在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据;
[0060]第十判断模块,用于若新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断所述温度最小值与新采集的温度数据的差是否大于等于温度波动值;
[0061]若所述温度最小值与新采集的温度数据的差大于等于温度波动值,则第一舍弃模块舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据;
[0062]若所述温度最小值与新采集的温度数据的差小于温度波动值,则第三舍弃模块在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据。
[0063]作为一种改进的方案,所述单一温度均衡判断处理模块还包括:
[0064]第十一判断模块,用于当新采集到温度数据时,判断在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差是否大于温度波动值;
[0065]若在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差大于温度波动值时,所述第一判断模块执行所述判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面的步骤;
[0066]第四舍弃模块,用于若在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差小于等于温度波动值时,则将所述温度数据缓冲区内的第一个温度数据舍弃掉,将新采集到的温度数据存储到所述温度数据缓冲区内。
[0067]在本发明实施例中,控制将测试腔体内的每一个温度传感器所测量到的温度数据存储到对应的温度数据缓冲区内;在每个温度数据缓冲区内,将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较,根据预先设置的温度采样点数,判断每个温度数据缓冲区是否满足单一温度均衡条件;当测试腔体的每一个温度数据缓冲区内的温度数据均满足单一温度均衡条件时,判断测试腔体是否温度均衡;当测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值均满足所述温度设定值和温度浮动值的范围时,判定所述测试腔体温度均衡,从而快速的对测试腔体的温度进行均衡判断,为测试芯片提供良好的稳定的测试环境。
【附图说明】
[0068]图1是本发明提供的微机电产品测量过程中温度均衡判断方法的实现流程图;
[0069]图2是本发明提供的在每个温度数据缓冲区内,将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较的步骤实现流程图;
[0070]图3是本发明提供的将新采集到的温度数据与温度最小值进行比对判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理的步骤实现流程图;
[0071]图4是本发明提供的将新采集到的温度数据与温度最小值进行比较判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理的步骤实现流程图;
[0072]图5是本发明提供的微机电产品测量过程中温度均衡判断系统的结构框图;
[0073]图6是本发明提供的单一温度均衡判断处理模块的机构框图;
[0074]图7是本发明提供的第一最小值比对判断处理模块的结构框图;
[0075]图8是本发明提供的第二最小值比对判断处理模块的结构框图。
【具体实施方式】
[0076]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
[0077]图1示出了本发明提供的微机电产品测量过程中温度均衡判断方法的实现流程图,其具体的步骤如下所述:
[0078]在步骤SlOl中,控制将测试腔体内的每一个温度传感器所测量到的温度数据存储到对应的温度数据缓冲区内,获得每个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值、温度最大值所处位置以及温度最小值所处位置。
[0079]在步骤S102中,在每个温度数据缓冲区内,将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较,同时,根据预先设置的温度采样点数,判断每个温度数据缓冲区是否满足单一温度均衡条件。
[0080]其中,该温度采样点数为温度数据缓冲区内温度数据的个数,当满足将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较条件的温度数据达到该温度采样点数时,则认定该温度数据缓冲区满足单一温度均衡条件,否则继续采集温度数据,直至达到该温度采样点数。
[0081]在步骤S103中,当测试腔体的每一个温度数据缓冲区内的温度数据均满足单一温度均衡条件时,将测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值与预先设定的温度设定值和温度浮动值进行比较,判断测试腔体是否温度均衡。
[0082]在该步骤中,将每个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值分别与温度设定值比较,其以温度设定值为基础,上下浮动范围不超过该温度浮动值则认定该测试腔体满足温度均衡的条件,否则不满足,其实该温度浮动值可以根据实际的情况进行设置,例如I度。
[0083]在步骤S104中,当测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值均满足温度设定值和温度浮动值的范围时,判定测试腔体温度均衡。
[0084]在本发明实施例中,在执行上述步骤SlOl之前还需要执行下述步骤:
[0085]为测试腔体内的每一个温度传感器分配一个温度数据缓冲区,温度数据缓冲区用于存储对应的温度传感器所采集到的温度数据,该温度数据缓冲区的容量可以根据实际的需求进行设置,其大小要大于下述温度采样点数;
[0086]预先设置与测试腔体相对应的温度设定值、温度浮动值、温度波动范围值、温度采集速率以及温度采样点数,该预先设置这几项参数作为后续温度均衡判断的参考数值,在此不再赘述。
[0087]在该实施例中,上述温度数据缓冲区的分配方式可以采用上述一对一的方式,也可以采用其他方式,在此不再赘述。
[0088]图2示出了本发明提供的在每个温度数据缓冲区内,将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较的步骤实现流程图,其具体包括下述步骤:
[0089]在步骤S201中,当新采集到温度数据时,判断在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差是否大于温度波动值,是则执行步骤S202,否则执行步骤S212。
[0090]在步骤S202中,在每个温度数据缓冲区内,判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面,是则执行步骤S203,否则执行步骤S208。
[0091 ]在步骤S203中,当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的前面时,判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内温度最大值,是则执行步骤S204,否则执行步骤S207。
[0092]在步骤S204中,当新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内温度最大值时,判断新采集的温度数据与温度最大值的差是否大于等于温度波动值,是则执行步骤S205,否则执行步骤S206。
[0093]在步骤S205中,若新采集的温度数据与温度最大值的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据。
[0094]在步骤S206中,若新采集的温度数据与温度最大值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据。
[0095]在步骤S207中,当新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内温度最大值时,则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比对判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理。
[0096]在步骤S208中,当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的后面时,判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内温度最大值,是则执行步骤S209,否则执行步骤S211。
[0097]在步骤S209中,当新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内温度最大值时,判断新采集的温度数据与温度最大值的差是否大于等于温度波动值,若是则返回执行步骤S205,否则执行步骤S210;
[0098]S卩:若新采集的温度数据与温度最大值的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据,
[0099]在步骤S210中,若新采集的温度数据与温度最大值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据。
[0100]在步骤S211中,当新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内温度最大值时,则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比较判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理。
[0101]在步骤S212中,若在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差小于等于温度波动值时,则将温度数据缓冲区内的第一个温度数据舍弃掉,将新采集到的温度数据存储到温度数据缓冲区内。
[0102]在该实施例中,上述给出了单个温度数据缓冲区内对于新采集到温度数据的处理算法,来判断每个温度数据缓冲区内的温度数据是否满足单一温度均衡的条件。
[0103]在本发明实施例中,图3示出了本发明提供的将新采集到的温度数据与温度最小值进行比对判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理的步骤实现流程图,其具体包括下述步骤:
[0104]在步骤S301中,判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内的温度最小值,是执行步骤S302,否则执行步骤S305。
[0105]在步骤S302中,若新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断新采集的温度数据与温度最小值的差是否大于等于温度波动值,若是则执行步骤S303,否则执行步骤S304。
[0106]在步骤S303中,若新采集的温度数据与温度最小值的差大于等于温度波动值,则舍弃温度最大值以及温度最大值前面的温度数据。
[0107]在步骤S304中,若新采集的温度数据与温度最小值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据。
[0108]在步骤S305中,若新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断温度最小值与新采集的温度数据的差是否大于等于温度波动值,若是则执行步骤S306,否则返回执行步骤S303。
[0109]在步骤S306中,若温度最小值与新采集的温度数据的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据。
[0110]若温度最小值与新采集的温度数据的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据,如上述步骤S303。
[0111]在本发明实施例中,图4示出了本发明提供的将新采集到的温度数据与温度最小值进行比较判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理的步骤实现流程图,其具体包括下述步骤:
[0112]在步骤S401中,判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内的温度最小值,是则执行步骤S402,否则执行步骤S403。
[0113]在步骤S402中,舍弃温度最小值以及温度最小值前面的温度数据。
[0114]在步骤S403中,若新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断温度最小值与新采集的温度数据的差是否大于等于温度波动值,是则执行步骤S404,否则执行步骤S405。
[0115]在步骤S404中,若温度最小值与新采集的温度数据的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据。
[0116]在步骤S405中,若温度最小值与新采集的温度数据的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据。
[0117]在本发明实施例中,当每个温度数据缓冲区内的温度数据不满足上述单一温度均衡判断条件时,则认定该温度缓冲区不满足温度均衡条件,即测试腔体的温度均衡也不满足,则停止测试,直至测试腔体温度均衡满足再开始测试,其具体实现如上述所示,在此不在赘述。
[0118]图5示出了本发明提供的微机电产品测量过程中温度均衡判断系统的结构框图,为了便于说明,图中仅示出与本发明实施例相关的模块。
[0119]温度数据存储模块11用于控制将测试腔体内的每一个温度传感器所测量到的温度数据存储到对应的温度数据缓冲区内;
[0120]温度最大最小数值获取处理模块12用于获得每个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值、温度最大值所处位置以及温度最小值所处位置;
[0121]单一温度均衡判断处理模块13用于在每个温度数据缓冲区内,将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较,同时,根据预先设置的温度采样点数,判断每个温度数据缓冲区是否满足单一温度均衡条件;
[0122]测试腔体温度均衡判断处理模块14用于当测试腔体的每一个温度数据缓冲区内的温度数据均满足单一温度均衡条件时,将测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值与预先设定的温度设定值和温度浮动值进行比较,判断测试腔体是否温度均衡,当测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值均满足温度设定值和温度浮动值的范围时,判定测试腔体温度均衡。
[0123]其中,温度数据缓冲区分配模块15用于为测试腔体内的每一个温度传感器分配一个温度数据缓冲区,温度数据缓冲区用于存储对应的温度传感器所采集到的温度数据;
[0124]预先设置模块16用于预先设置与测试腔体相对应的温度设定值、温度浮动值、温度波动范围值、温度采集速率以及温度采样点数。
[0125]如图6所示,单一温度均衡判断处理模块具体包括:
[0126]第一判断模块17用于在每个温度数据缓冲区内,判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面;
[0127]第二判断模块18用于当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的前面时,判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内温度最大值;
[0128]第三判断模块19用于当新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内温度最大值时,判断新采集的温度数据与温度最大值的差是否大于等于温度波动值,
[0129]第一舍弃模块20用于若新采集的温度数据与温度最大值的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据;
[0130]第二舍弃模块21用于若新采集的温度数据与温度最大值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据;
[0131]第一最小值比对判断处理模块22用于当新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内温度最大值时,则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比对判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理;
[0132]第四判断模块23用于当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的后面时,判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内温度最大值;
[0133]第五判断模块24用于当新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内温度最大值时,判断新采集的温度数据与温度最大值的差是否大于等于温度波动值;
[0134]第三舍弃模块25用于若新采集的温度数据与温度最大值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据;
[0135]第二最小值比对判断处理模块26用于当新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内温度最大值时,则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比较判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理;
[0136]若新采集的温度数据与温度最大值的差大于等于温度波动值,则第一舍弃模块20舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据;
[0137]如图7所示,第一最小值比对判断处理模块22具体包括:
[0138]第六判断模块27用于判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内的温度最小值;
[0139]第七判断模块28用于若新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断新采集的温度数据与温度最小值的差是否大于等于温度波动值;
[0140]若新采集的温度数据与温度最小值的差大于等于温度波动值,则第三舍弃模块25舍弃温度最大值以及温度最大值前面的温度数据;
[0141]若新采集的温度数据与温度最小值的差小于温度波动值,则第二舍弃模块21在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据;
[0142]第八判断模块29用于若新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断温度最小值与新采集的温度数据的差是否大于等于温度波动值;
[0143]若温度最小值与新采集的温度数据的差大于等于温度波动值,则第一舍弃模块20舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据;
[0144]若温度最小值与新采集的温度数据的差小于温度波动值,则第三舍弃模块25在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据;
[0145]如图8所示,第二最小值比对判断处理模块26具体包括:
[0146]第九判断模块30用于判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内的温度最小值;
[0147]若新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内的温度最小值,则第二舍弃模块21在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据;
[0148]第十判断模块31用于若新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断温度最小值与新采集的温度数据的差是否大于等于温度波动值;
[0149]若温度最小值与新采集的温度数据的差大于等于温度波动值,则第一舍弃模块20舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据;
[0150]若温度最小值与新采集的温度数据的差小于温度波动值,则第三舍弃模块25在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据。
[0151]在本发明实施例中,第十一判断模块32用于当新采集到温度数据时,判断在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差是否大于温度波动值;
[0152]若在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差大于温度波动值时,第一判断模块17执行判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面的步骤;
[0153]第四舍弃模块33用于若在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差小于等于温度波动值时,则将温度数据缓冲区内的第一个温度数据舍弃掉,将新采集到的温度数据存储到温度数据缓冲区内。
[0154]在该实施例中,上述各个模块的具体实现过程如上述方法实施例所记载,在此不再赘述。
[0155]在本发明实施例中,控制将测试腔体内的每一个温度传感器所测量到的温度数据存储到对应的温度数据缓冲区内;在每个温度数据缓冲区内,将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较,根据预先设置的温度采样点数,判断每个温度数据缓冲区是否满足单一温度均衡条件;当测试腔体的每一个温度数据缓冲区内的温度数据均满足单一温度均衡条件时,判断测试腔体是否温度均衡;当测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值均满足所述温度设定值和温度浮动值的范围时,判定所述测试腔体温度均衡,从而快速的对测试腔体的温度进行均衡判断,为测试芯片提供良好的稳定的测试环境。
[0156]以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种微机电产品测量过程中温度均衡判断方法,其特征在于,所述方法包括下述步骤: 控制将测试腔体内的每一个温度传感器所测量到的温度数据存储到对应的温度数据缓冲区内,获得每个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值、温度最大值所处位置以及温度最小值所处位置; 在每个温度数据缓冲区内,将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较,同时,根据预先设置的温度采样点数,判断每个温度数据缓冲区是否满足单一温度均衡条件; 当测试腔体的每一个温度数据缓冲区内的温度数据均满足单一温度均衡条件时,将测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值与预先设定的温度设定值和温度浮动值进行比较,判断测试腔体是否温度均衡; 当测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值均满足所述温度设定值和温度浮动值的范围时,判定所述测试腔体温度均衡。2.根据权利要求1所述的微机电产品测量过程中温度均衡判断方法,其特征在于,所述控制将测试腔体内的每一个温度传感器测量到的温度数据存储到对应的温度数据缓冲区内的步骤之前还包括下述步骤: 为测试腔体内的每一个温度传感器分配一个温度数据缓冲区,所述温度数据缓冲区用于存储对应的温度传感器所采集到的温度数据; 预先设置与所述测试腔体相对应的温度设定值、温度浮动值、温度波动范围值、温度采集速率以及温度采样点数。3.根据权利要求1所述的微机电产品测量过程中温度均衡判断方法,其特征在于,所述在每个温度数据缓冲区内,将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较的步骤具体包括下述步骤: 在每个温度数据缓冲区内,判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面; 当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的前面时,判断新采集到的温度数据是否大于所述温度数据缓冲区内温度最大值,当新采集到的温度数据大于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,判断新采集的温度数据与所述温度最大值的差是否大于等于温度波动值,若新采集的温度数据与所述温度最大值的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据,若新采集的温度数据与所述温度最大值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据,当新采集到的温度数据小于等于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比对判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理; 当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的后面时,判断新采集到的温度数据是否大于所述温度数据缓冲区内温度最大值,当新采集到的温度数据大于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,判断新采集的温度数据与所述温度最大值的差是否大于等于温度波动值,若新采集的温度数据与所述温度最大值的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据,若新采集的温度数据与所述温度最大值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据,当新采集到的温度数据小于等于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比较判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理。4.根据权利要求3所述的微机电产品测量过程中温度均衡判断方法,其特征在于,所述在每个温度数据缓冲区内,判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面的步骤之前还包括下述步骤: 当新采集到温度数据时,判断在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差是否大于温度波动值; 若在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差大于温度波动值时,执行所述判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面的步骤; 若在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差小于等于温度波动值时,则将所述温度数据缓冲区内的第一个温度数据舍弃掉,将新采集到的温度数据存储到所述温度数据缓冲区内。5.根据权利要求3所述的微机电产品测量过程中温度均衡判断方法,其特征在于,所述将新采集到的温度数据与温度最小值进行比对判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理的步骤具体包括下述步骤: 判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内的温度最小值; 若新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断新采集的温度数据与所述温度最小值的差是否大于等于温度波动值,若新采集的温度数据与所述温度最小值的差大于等于温度波动值,则舍弃温度最大值以及温度最大值前面的温度数据,若新采集的温度数据与所述温度最小值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据; 若新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断所述温度最小值与新采集的温度数据的差是否大于等于温度波动值,若所述温度最小值与新采集的温度数据的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据,若所述温度最小值与新采集的温度数据的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据。6.根据权利要求3所述的微机电产品测量过程中温度均衡判断方法,其特征在于,所述将新采集到的温度数据与温度最小值进行比较判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理的步骤具体包括下述步骤: 判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内的温度最小值; 若新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内的温度最小值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据; 若新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断所述温度最小值与新采集的温度数据的差是否大于等于温度波动值,若所述温度最小值与新采集的温度数据的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据,若所述温度最小值与新采集的温度数据的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据。7.—种微机电产品测量过程中温度均衡判断系统,其特征在于,所述系统包括: 温度数据存储模块,用于控制将测试腔体内的每一个温度传感器所测量到的温度数据存储到对应的温度数据缓冲区内; 温度最大最小数值获取处理模块,用于获得每个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值、温度最大值所处位置以及温度最小值所处位置; 单一温度均衡判断处理模块,用于在每个温度数据缓冲区内,将新采集到的温度数据与对应温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值和预先设置的温度波动范围值进行比较,同时,根据预先设置的温度采样点数,判断每个温度数据缓冲区是否满足单一温度均衡条件; 测试腔体温度均衡判断处理模块,用于当测试腔体的每一个温度数据缓冲区内的温度数据均满足单一温度均衡条件时,将测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值与预先设定的温度设定值和温度浮动值进行比较,判断测试腔体是否温度均衡,当测试腔体每一个温度数据缓冲区内的温度最大值、温度最小值均满足所述温度设定值和温度浮动值的范围时,判定所述测试腔体温度均衡。8.根据权利要求7所述的微机电产品测量过程中温度均衡判断系统,其特征在于,所述系统还包括: 温度数据缓冲区分配模块,用于为测试腔体内的每一个温度传感器分配一个温度数据缓冲区,所述温度数据缓冲区用于存储对应的温度传感器所采集到的温度数据; 预先设置模块,用于预先设置与所述测试腔体相对应的温度设定值、温度浮动值、温度波动范围值、温度采集速率以及温度采样点数。9.根据权利要求7所述的微机电产品测量过程中温度均衡判断系统,其特征在于,所述单一温度均衡判断处理模块具体包括: 第一判断模块,用于在每个温度数据缓冲区内,判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面; 第二判断模块,用于当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的前面时,判断新采集到的温度数据是否大于所述温度数据缓冲区内温度最大值; 第三判断模块,用于当新采集到的温度数据大于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,判断新采集的温度数据与所述温度最大值的差是否大于等于温度波动值, 第一舍弃模块,用于若新采集的温度数据与所述温度最大值的差大于等于温度波动值,则舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据; 第二舍弃模块,用于若新采集的温度数据与所述温度最大值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据; 第一最小值比对判断处理模块,用于当新采集到的温度数据小于等于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比对判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理; 第四判断模块,用于当温度最大值所在的位置在温度最小值所在位置的后面时,判断新采集到的温度数据是否大于所述温度数据缓冲区内温度最大值; 第五判断模块,用于当新采集到的温度数据大于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,判断新采集的温度数据与所述温度最大值的差是否大于等于温度波动值; 第三舍弃模块,用于若新采集的温度数据与所述温度最大值的差小于温度波动值,则在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据; 第二最小值比对判断处理模块,用于当新采集到的温度数据小于等于所述温度数据缓冲区内温度最大值时,则将新采集到的温度数据与温度最小值进行比较判断,对温度数据缓冲区内的温度数据进行舍弃处理; 若新采集的温度数据与所述温度最大值的差大于等于温度波动值,则第一舍弃模块舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据; 所述第一最小值比对判断处理模块具体包括: 第六判断模块,用于判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内的温度最小值; 第七判断模块,用于若新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断新采集的温度数据与所述温度最小值的差是否大于等于温度波动值; 若新采集的温度数据与所述温度最小值的差大于等于温度波动值,则第三舍弃模块舍弃温度最大值以及温度最大值前面的温度数据; 若新采集的温度数据与所述温度最小值的差小于温度波动值,则第二舍弃模块在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据; 第八判断模块,用于若新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断所述温度最小值与新采集的温度数据的差是否大于等于温度波动值; 若所述温度最小值与新采集的温度数据的差大于等于温度波动值,则第一舍弃模块舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据; 若所述温度最小值与新采集的温度数据的差小于温度波动值,则第三舍弃模块在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据; 所述第二最小值比对判断处理模块具体包括: 第九判断模块,用于判断新采集到的温度数据是否大于温度数据缓冲区内的温度最小值; 若新采集到的温度数据大于温度数据缓冲区内的温度最小值,则第二舍弃模块在温度数据缓冲区内舍弃温度最小值以及温度最小值之前的温度数据; 第十判断模块,用于若新采集到的温度数据小于等于温度数据缓冲区内的温度最小值,则判断所述温度最小值与新采集的温度数据的差是否大于等于温度波动值; 若所述温度最小值与新采集的温度数据的差大于等于温度波动值,则第一舍弃模块舍弃温度数据缓冲区内所有的温度数据; 若所述温度最小值与新采集的温度数据的差小于温度波动值,则第三舍弃模块在温度数据缓冲区内舍弃温度最大值以及温度最大值之前的温度数据。10.根据权利要求9所述的微机电产品测量过程中温度均衡判断系统,其特征在于,所述单一温度均衡判断处理模块还包括: 第十一判断模块,用于当新采集到温度数据时,判断在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差是否大于温度波动值; 若在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差大于温度波动值时,所述第一判断模块执行所述判断温度最大值所在的位置是否在温度最小值所在位置的前面的步骤;第四舍弃模块,用于若在温度数据缓冲区内温度最大值与温度最小值的差小于等于温度波动值时,则将所述温度数据缓冲区内的第一个温度数据舍弃掉,将新采集到的温度数据存储到所述温度数据缓冲区内。
【文档编号】G01K13/00GK105865657SQ201610209965
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年4月6日
【发明人】马元州, 马洪涛
【申请人】歌尔声学股份有限公司
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