一种傅里叶变换光谱仪扫描成像装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光学成像领域，尤其涉及一种傅里叶变换光谱仪扫描成像装置。
【背景技术】
[0002]傅里叶成像光谱技术是一种光学成像技术，其不仅能用于获取样品的空间分布信息，还用于获取样品的光谱分布信息，在众多领域的实际应用中有非常重要的意义。傅立叶成像光谱技术实现于傅里叶变换光谱仪扫描成像装置，现有的傅里叶变换光谱仪扫描成像装置可通过平面反射镜扫描样品。
[0003]但是，傅里叶变换光谱仪扫描成像装置仅通过平面反射镜对样品进行扫描，不能实现对样品的大范围成像，并且成像速度不高，影响了成像的结果和成像效率。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种傅里叶变换光谱仪扫描成像装置，具有成像范围大和成像速度高的优点。
[0005]为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种傅里叶变换光谱仪扫描成像装置，包括旋转台、第一平移台、第二平移台、第一抛物面反射镜、第二抛物面反射镜、平面反射镜以及傅里叶变换光谱仪，所述第一抛物面反射镜设置于所述旋转台上，所述旋转台与所述第一平移台活动连接，所述平面反射镜与所述第一平移台固定连接，所述第二平移台与所述第一平移台连接，其中:
[0006]所述第一抛物面反射镜，用于将待扫描物体发出的入射光线反射到所述平面反射镜;
[0007]所述平面反射镜，用于将所述第一抛物面反射镜反射的光线反射到所述第二抛物面反射镜；
[0008]所述第二抛物面反射镜，用于将所述平面反射镜反射的光线汇聚到所述傅里叶变换光谱仪；
[0009]所述旋转台，用于驱动所述第一抛物面反射镜旋转；
[0010]所述第一平移台，用于驱动所述旋转台沿预设方向平移；
[0011]所述第二平移台，用于驱动所述旋转台沿垂直于所述预设方向平移。
[0012]作为一种可选的实施方式，所述旋转台为电动旋转台。
[0013]作为一种可选的实施方式，所述第一平移台和所述第二平移台为电动平移台。
[0014]实施本实用新型实施例，具有如下有益效果:本实用新型实施例提供的傅里叶变换光谱仪扫描成像装置，包括旋转台、第一平移台、第二平移台、第一抛物面反射镜、第二抛物面反射镜、平面反射镜以及傅里叶变换光谱仪，第一抛物面反射镜用于将待扫描物体发出的入射光线反射到平面反射镜，平面反射镜用于将第一抛物面反射镜反射的光线反射到第二抛物面反射镜，第二抛物面反射镜用于将平面反射镜反射的光线汇聚到傅里叶变换光谱仪，本傅里叶变换光谱仪扫描成像装置具有成像范围大和成像速度高的优点。
【附图说明】
[0015]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本实用新型实施例提供的一种傅里叶变换光谱仪扫描成像装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0018]为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳的实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。
[0019]图1是本实用新型实施例中一种傅里叶变换光谱仪扫描成像装置的结构示意图的结构示意图。如图所示本实用新型实施例中的傅里叶变换光谱仪扫描成像装置至少可以包括旋转台110、第一平移台120、第二平移台130、第一抛物面反射镜140、第二抛物面反射镜150、平面反射镜160以及傅里叶变换光谱仪170，其中:
[0020]第一抛物面反射镜140设置于旋转台110上，旋转台110与第一平移台120活动连接，平面反射镜160与第一平移台120固定连接，第二平移台130与第一平移台120连接。
[0021]具体使用过程中，请参阅图1中的虚线箭头，首先，第一抛物面反射镜140将待扫描物体发出的入射光线反射到平面反射镜160，待扫描物体的反射光(球面波)经第一抛物面反射镜140后形成平行光(平面波)，然后，平面反射镜160将第一抛物面反射镜140反射的光线反射到第二抛物面反射镜150，接着，第二抛物面反射镜150将平面反射镜160反射的光线汇聚到傅里叶变换光谱仪170，最后傅里叶变换光谱仪170通过采集到的入射光线实现待扫描物体的成像。
[0022]一方面，第一平移台120可沿预设方向(可如图1中竖直方向的双箭头所示)平移，由于第一抛物面反射镜140设于旋转台110上，从而可实现驱动第一抛物面反射镜140靠近或远离平面反射镜160。
[0023]另一方面，第二平移台130可沿垂直于预设方向(可如图1中水平方向的双箭头所示)平移，在平移过程中可驱动第一平移台120远离或靠近第二抛物面反射镜150，由于旋转台110与第一平移台120活动连接且平面反射镜160与第一平移台120固定连接，从而可实现驱动旋转台110和平面反射镜160远离或靠近第二抛物面反射镜150。
[0024]需要指出的是，第一平移台120和第二平移台130同时平移时，可对待扫描物体进行二维平面扫描，从而傅里叶变换光谱仪170实现了对待扫描物体的大范围成像。
[0025]可选的，第一平移台120和第二平移台130为电动平移台。具体的，第一平移台120和第二平移台130可以采用电机驱动丝杆的方式进行平移，也可采用伸缩气缸配合滑轨的方式进行平移。
[0026]进一步地，旋转台110可驱动第一抛物面反射镜140旋转，实现对待扫描物体的旋转扫描。其中，实现改变平面扫描的方向，例如，假设当前进行的是向上的平面扫描，若将第一抛物面反射镜140旋转180度，可进行向下的平面扫描。
[0027]需要指出的是，加入旋转台110后，旋转扫描可提高傅里叶变换光谱仪170的成像速率。
[0028]可选的，旋转台110为电动旋转台。
[0029]还需指出的是，第一抛物面反射镜140可以消除轴上像差，第一平移台120和第二平移台130进行平面扫描，傅里叶光谱仪的特殊结构对光路长度不敏感，整个系统实现无色差的大范围光谱成像。
[0030]本实用新型实施例提供的傅里叶变换光谱仪扫描成像装置，包括旋转台、第一平移台、第二平移台、第一抛物面反射镜、第二抛物面反射镜、平面反射镜以及傅里叶变换光谱仪，第一抛物面反射镜用于将待扫描物体发出的入射光线反射到平面反射镜，平面反射镜用于将第一抛物面反射镜反射的光线反射到第二抛物面反射镜，第二抛物面反射镜用于将平面反射镜反射的光线汇聚到傅里叶变换光谱仪，本傅里叶变换光谱仪扫描成像装置具有成像范围大和成像速度高的优点。
[0031]以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。
【主权项】
1.一种傅里叶变换光谱仪扫描成像装置，其特征在于，所述装置包括旋转台、第一平移台、第二平移台、第一抛物面反射镜、第二抛物面反射镜、平面反射镜以及傅里叶变换光谱仪，所述第一抛物面反射镜设置于所述旋转台上，所述旋转台与所述第一平移台活动连接，所述平面反射镜与所述第一平移台固定连接，所述第二平移台与所述第一平移台连接，其中: 所述第一抛物面反射镜，用于将待扫描物体发出的入射光线反射到所述平面反射镜； 所述平面反射镜，用于将所述第一抛物面反射镜反射的光线反射到所述第二抛物面反射镜； 所述第二抛物面反射镜，用于将所述平面反射镜反射的光线汇聚到所述傅里叶变换光谱仪； 所述旋转台，用于驱动所述第一抛物面反射镜旋转； 所述第一平移台，用于驱动所述旋转台沿预设方向平移； 所述第二平移台，用于驱动所述旋转台沿垂直于所述预设方向平移。
2.如权利要求1所述的傅里叶变换光谱仪扫描成像装置，其特征在于，所述旋转台为电动旋转台。
3.如权利要求1所述的傅里叶变换光谱仪扫描成像装置，其特征在于，所述第一平移台和所述第二平移台为电动平移台。
【专利摘要】本实用新型实施例公开了一种傅里叶变换光谱仪扫描成像装置，包括：旋转台、第一平移台、第二平移台、第一抛物面反射镜、第二抛物面反射镜、平面反射镜以及傅里叶变换光谱仪，所述第一抛物面反射镜设置于所述旋转台上，所述旋转台与所述第一平移台活动连接，所述平面反射镜与所述第一平移台固定连接，所述第二平移台与所述第一平移台连接。采用本实用新型，可以实现扫描成像，具有成像范围大和成像速度高的优点。
【IPC分类】G01J3-28, G01J3-06
【公开号】CN204405187
【申请号】CN201420832316
【发明人】金雷, 张艳东, 陈毅, 崔晗, 于文龙, 汪震, 杨彬, 张海军, 时华峰
【申请人】深圳先进技术研究院
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2014年12月24日