一种接触式乌氏干涉仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及计量检测设备领域，具体涉及一种接触式乌氏干涉仪。
【背景技术】
[0002]干涉现象是波动独有的特征，如果光真的是一种波，就必然会观察到光的干涉现象。1801年，英国物理学家托马斯.杨(1773— 1829)在实验室里成功地观察到了光的干涉。两列或几列光波在空间相遇时相互叠加，在某些区域始终加强，在另一些区域则始终削弱，形成稳定的强弱分布的现象。
[0003]根据光的干涉原理可以进行长度的精密计量，例如用迈克耳孙干涉仪校准块规的长度。利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。
[0004]传统的接触式乌氏干涉仪在测量过程中，主要是靠人眼睛瞄准观察、测量读数部分主要靠单人通过显微目镜目视观察瞄准，视野狭窄，长时间测量，劳动强度大，眼睛极易疲劳，易引入瞄准读数误差。且量块检定工作中，测量数据多，需手工计算每块量块所得数据，判断合格与否，人工计算量大。
[0005]因此，有必要提出一种接触式乌氏干涉仪，使用方便，操作简单，能够减少操作人员的作业负担，同时也减少因疲劳操作而形成的操作误差。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型要解决的一个技术问题是如何提出一种接触式乌氏干涉仪，使得该设备使用方便，操作简单，能够减少操作人员的作业负担，同时也减少因疲劳操作而形成的操作误差。
[0007]本实用新型提供一种接触式乌氏干涉仪，包括接触式乌氏干涉仪主体、(XD相机、图像采集卡、运算处理模块、显示设备、数据存储模块，该装置具体而言是，所述的CCD相机安装在所述接触式乌氏干涉仪的物镜上，用以获取测量时的干涉条纹图像；所述数据存储模块中记录有标准量块的测量数据，包括坐标位置数值和测量值；所述图像采集卡用以将获取的干涉条纹图像传送至所述运算处理模块；所述运算处理模块对所述图像采集卡传送的干涉条纹图像进行二值化处理包括测量值和计算出干涉条纹的中心坐标获得的数值，提取所述数据存储模块中标准量块的测量数据，计算出数据中受检测量块与标准量块的坐标位置数值和测量值差异，得出的受检测量块的终值记录于所述数据存储模块并显示于所述显示设备。
[0008]进一步的，所述运算处理模块对所述图像采集卡传送的干涉条纹图像进行二值化处理的到的数据记录于所述数据存储模块中。
[0009]进一步的，所述数据存储模块中可以根据需要记录相应数量的标准量块的测量数据。
[0010]本实用新型提供的一种接触式乌氏干涉仪，针对上述问题，结合现行CXD技术，通过改造将传统接触式干涉仪使用人眼观察显微镜下的干涉条纹，改成以CCD图像实时地显示在液晶显示器上，并实现自动定度，测量时干涉条纹以图像方式自动采集、处理和计算，整个过程不需要进行目视估读，测量数据处理完全自动化，不仅提高测量的分度，更提高工作效率，是一台集光、机、电、算相结合的智能化测量仪器，可广泛用于计量单位的长度测量。
【附图说明】
[0011]图1示出本实用新型一种接触式乌氏干涉仪的结构示意图。
[0012]图2示出本实用新型一种接触式乌氏干涉仪的工作原理图。
【具体实施方式】
[0013]下面参照附图对本实用新型进行更全面的描述，其中说明本实用新型的示例性实施例。
[0014]CCD是一种半导体成像器件，因而具有灵敏度高、抗强光、畸变小、体积小、寿命长、
抗震动等优点。
[0015]本实用新型提供一种接触式乌氏干涉仪，包括接触式乌氏干涉仪主体1、(XD相机2、图像采集卡3、运算处理模块4、显示设备5、数据存储模块6，该装置具体而言是，所述的CCD相机I安装在所述接触式乌氏干涉仪主体I的物镜上，用以获取测量时的干涉条纹图像；所述数据存储模块6中记录有标准量块的测量数据，包括坐标位置数值和测量值；所述图像采集卡3用以将获取的干涉条纹图像传送至所述运算处理模块4 ;所述运算处理模块4对所述图像采集卡3传送的干涉条纹图像进行二值化处理包括测量值和计算出干涉条纹的中心坐标获得的数值，提取所述数据存储模块6中标准量块的测量数据，计算出数据中受检测量块与标准量块的坐标位置数值和测量值差异，得出的受检测量块的终值记录于所述数据存储模块6，所述数据存储模块6将终值显示于所述显示设备5。
[0016]进一步的，所述运算处理模块4对所述图像采集卡3传送的干涉条纹图像进行二值化处理得到的数据记录于所述数据存储模块6中。
[0017]进一步的，所述数据存储模块6中可以根据需要记录相应数量的标准量块的测量数据。
[0018]改造后的接触式乌氏干涉仪具有高分辨率和高准确度，经过使用证明，该系统变目视观察与判读读数为光电探测、自动瞄准、测量，实现了数据自动采集、处理、计算和记录，消除了人为判读差错的可能性，提高了工作效率，稳定可靠，且仪器升级改造所需总体费用大幅降低。接触式干涉仪作为量块检定仪器在省级计量部门使用量大，结合使用单位变化发展的需求，不断增加软硬件应用功能，该系统将能在计量领域发挥自己重要的作用。
[0019]本实用新型的描述是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显然的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
【主权项】
1.一种接触式乌氏干涉仪，包括接触式乌氏干涉仪主体，其特征在于，还包括CCD相机、图像采集卡、运算处理模块、显示设备、数据存储模块，所述的CCD相机安装在所述接触式乌氏干涉仪主体的物镜上，用以获取测量时的干涉条纹图像；所述数据存储模块中记录有标准量块的测量数据，包括坐标位置数值和测量值；所述图像采集卡用以将获取的干涉条纹图像传送至所述运算处理模块；所述运算处理模块对所述图像采集卡传送的干涉条纹图像进行二值化处理包括测量值和计算出干涉条纹的中心坐标获得的数值，提取所述数据存储模块中标准量块的测量数据，计算出数据中受检测量块与标准量块的坐标位置数值和测量值差异，得出的受检测量块的终值记录于所述数据存储模块，所述数据存储模块将终值显示于所述显示设备。2.根据权利要求1所述的一种接触式乌氏干涉仪，其特征在于，所述运算处理模块对所述图像采集卡传送的干涉条纹图像进行二值化处理的到的数据记录于所述数据存储模块中。3.根据权利要求1或2所述的一种接触式乌氏干涉仪，其特征在于，所述数据存储模块中可以根据需要记录相应数量的标准量块的测量数据。
【专利摘要】一种接触式乌氏干涉仪，包括接触式乌氏干涉仪主体、CCD相机、图像采集卡、运算处理模块、显示设备、数据存储模块，CCD相机安装在接触式乌氏干涉仪的物镜上，数据存储模块中记录有标准量块的测量数据，图像采集卡用以将获取的干涉条纹图像传送至运算处理模块，运算处理模块对图像采集卡传送的干涉条纹图像进行二值化处理，提取数据存储模块中标准量块的测量数据，计算出数据中受检测量块与标准量块的坐标位置数值和测量值差异，得出的受检测量块的终值记录于数据存储模块，数据存储模块将终值显示于显示设备，该设备使用方便，操作简单，能够减少操作人员的作业负担，同时也减少因疲劳操作而形成的操作误差。
【IPC分类】G01B9/02
【公开号】CN204924173
【申请号】CN201520577930
【发明人】周知贵
【申请人】昆山恒准技术服务有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年8月4日