环形光源干涉仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种利用环形光源作为扩展光源的干涉仪，属于干涉仪领域。
【背景技术】
[0002]干涉现象是光的波动性的最严格、最有效的证明，这个现象是由于两束或多束光的重叠，使能量体密度在空间上规则分布的结果。光干涉测量方法作为检测高精密光学元件和系统的最传统、有效手段之一，已大量的应用于科学研究与工业生产之中。在实际使用过程中，现阶段干涉仪大多采用激光器作为照明光源，而激光器具有极强的时间和空间相干性，因此，在干涉检测过程中，并不需要考虑干涉腔长的限制，就可以使干涉条纹具有良好的对比度，并且随着电子与计算机技术的发展，产生的位相干涉检测技术，使测量极限由传统的λ/10提高了一个数量级以上，且具有很高的重复性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它虽然降低了干涉仪的使用难度，但由于光学干涉的极端灵敏性，在光学元件加工过程中产生的微观坑点等缺陷与元件表面污染所产生的散射光会发生相干叠加，在干涉图中会出现许多牛眼环或靶心等相干噪声，它们在一定程度上改变了干涉图的空间结构，从而引起了被测面面型或波前形状的测量误差。
[0003]商用干涉仪通常采用低时间相干光源或白光作为干涉仪的光源，或在成像系统中加旋转毛玻璃以降低光源的相干性。但是这种光源仍然存在相干噪声。
【实用新型内容】
[0004]为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。
[0005]本实用新型提供了一种环形光源干涉仪，主要包括激光器、全息光学器、会聚透镜、空间滤波器、毛玻璃、分束器、准直镜和反射镜，按照激光器的激光方向依次设置激光器、全息光学器、会聚透镜、空间滤波器、毛玻璃、分束器、准直镜和反射镜。
[0006]优选的，待测镜设置在准直镜和反射镜之间。
[0007]优选的，上述干涉仪还包括成像物镜和CCD，所述成像物镜的法线方向与激光器的激光方向垂直，成像物镜与分束器对应平行设置，CCD设置在成像物镜的后面。
[0008]优选的，上述全息光学器设置会聚透镜的前焦平面上，所述空间滤波器设置在会聚透镜的后焦平面上。
[0009]优选的，上述毛玻璃为旋转毛玻璃，连接有一电机。
[0010]本实用新型提供的环形光源干涉仪运用了环形光源技术，可进行波纹抑制，消除了因干涉腔内存在细小颗粒所引起的寄生条纹，提高了干涉仪的测量精度。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型结构示意图。
[0012]附图标记:1_激光器；2_全息光学器；3_会聚透镜；4_空间滤波器；5_毛玻璃；6-分束器；7-准直镜;8_待测镜;9_反射镜;10-成像物镜;I1-CCD ;12_电机。
【具体实施方式】
[0013]为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型作进一步的详细描述。
[0014]如图1所示，本实用新型提供的环形光源干涉仪，主要包括激光器1、全息光学器2、会聚透镜3、空间滤波器4、毛玻璃5、分束器6、准直镜7和反射镜9，按照激光器I的激光方向依次设置激光器1、全息光学器2、会聚透镜3、空间滤波器4、毛玻璃5、分束器6、准直镜7和反射镜9。其中，待测镜8设置在准直镜7和反射镜9之间。
[0015]此外，干涉仪还包括成像物镜10和CXDll，成像物镜10的法线方向与激光器I的激光方向垂直，成像物镜10与分束器6对应平行设置，CCDll设置在成像物镜10的后面。全息光学器2设置会聚透镜3的前焦平面上，空间滤波器4设置在会聚透镜3的后焦平面上。毛玻璃5为旋转毛玻璃，连接有一电机12。
[0016]本实用新型提供的环形光源干涉仪通过全息光学器2。将全息光学元器2放置在激光器I和会聚透镜3之间，使全息光学器2处在会聚透镜3的前焦面上，则在会聚透镜3的后焦面附近产生衍射形成的环形光源。在焦平面处放置空间滤波器4，滤除零级和负一级衍射，只让正一级衍射(环形光源)通过。在空间滤波器4后放置毛玻璃5，即形成了环形的扩展光源的干涉仪。
[0017]本实用新型提供的环形光源干涉仪运用了环形光源技术，可进行波纹抑制，消除了因干涉腔内存在细小颗粒所引起的寄生条纹，提高了干涉仪的测量精度。
[0018]以上所述之【具体实施方式】为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本【具体实施方式】，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种环形光源干涉仪，其特征在于:所述干涉仪主要包括激光器(I)、全息光学器(2)、会聚透镜(3)、空间滤波器(4)、毛玻璃(5)、分束器(6)、准直镜(7)和反射镜(9)，按照激光器(I)的激光方向依次设置激光器(I)、全息光学器(2)、会聚透镜(3)、空间滤波器(4)、毛玻璃(5)、分束器(6)、准直镜(7)和反射镜(9)02.根据权利要求1所述的环形光源干涉仪，其特征在于:待测镜(8)设置在准直镜(7)和反射镜(9)之间。3.根据权利要求1所述的环形光源干涉仪，其特征在于:所述干涉仪还包括成像物镜(10)和CCD(Il)，所述成像物镜(10)的法线方向与激光器(I)的激光方向垂直，成像物镜(10)与分束器(6)对应平行设置，CCD(Il)设置在成像物镜(10)的后面。4.根据权利要求1所述的环形光源干涉仪，其特征在于:所述全息光学器(2)设置会聚透镜(3)的前焦平面上，所述空间滤波器(4)设置在会聚透镜(3)的后焦平面上。5.根据权利要求1-4之一所述的环形光源干涉仪，其特征在于:所述毛玻璃(5)为旋转毛玻璃，连接有一电机(12)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种环形光源干涉仪，主要包括激光器(1)、全息光学器(2)、会聚透镜(3)、空间滤波器(4)、毛玻璃(5)、分束器(6)、准直镜(7)和反射镜(9)，按照激光器(1)的激光方向依次设置激光器(1)、全息光学器(2)、会聚透镜(3)、空间滤波器(4)、毛玻璃(5)、分束器(6)、准直镜(7)和反射镜(9)。本实用新型提供的环形光源干涉仪运用了环形光源技术，可进行波纹抑制，消除了因干涉腔内存在细小颗粒所引起的寄生条纹，提高了干涉仪的测量精度。
【IPC分类】G01B9/021, G01B9/023
【公开号】CN204924174
【申请号】CN201520276590
【发明人】林永东
【申请人】林永东
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年4月28日