尘埃粒子计数器现场校准装置的制造方法
【技术领域】
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[0001]本实用新型属于精密仪器技术领域，具体涉及一种用于超净间中在线使用的尘埃粒子计数器的校准装置。
【背景技术】
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[0002]现阶段尘埃粒子计数器的检测校准方法主要是针对便携式的尘埃粒子计数器而设计的，由于目前的校准装置体积较大，只可以将粒子计数器送到实验室进行校准，目前应用较广的尘埃粒子计数器包括便携式尘埃粒子计数器和在线尘埃粒子计数器，其中便携式尘埃粒子计数器能够较方便的送去实验室进行校准，但是在线的尘埃粒子计数器多使用于洁净间或超洁净间中，由于设备使用环境较特殊，很少进行拆卸。洁净间或超洁净间的环境要求较高，如果有人员频繁进出则很容易污染其环境。
[0003]由于不同厂家的尘埃粒子计数器采用的通信协议可能不同，在校准尘埃粒子计数器的过程中也存在数据采集的困难，现阶段没有能够兼容多种通信方式的校准仪。
[0004]同时标准粒子的储存有环境要求，标准粒子的存放温度为4°C?30°C，在严冬酷暑等极端环境下，标准粒子物质需要一个温度恒定的存放空间。
【实用新型内容】:
[0005]为解决现有技术存在的问题，本实用新型提出一种兼容性强、不污染洁净间环境且方便使用的尘埃粒子计数器现场校准装置。
[0006]为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案:一种尘埃粒子计数器现场校准装置，包括数据采集器、校准基准器、标准粒子发生系统及标准粒子存放装置，其特点是，所述标准粒子发生系统设置有能够分别与待检尘埃粒子计数器入气口及校准基准器入气口相配合的出气口 ；所述数据采集系统包括支持多种通信协议的采集器及控制器，所述采集器为与控制器之间通过无线连接。控制器设置在超净间外部，能够有效防止污染超净间内的环境。
[0007]所述采集器与控制器之间通过蓝牙进行连接。
[0008]所述采集器的通信协议包括RS-232、RS-485及RS-422协议，采集器上设置有对应通信协议的接口，能够方便的采集大多数尘埃粒子计数器的数据。
[0009]所述校准基准器为便携式尘埃粒子计数器。
[0010]所述尘埃粒子计数器现场校准装置还包括真空源，所述真空源上设置有能够与待检尘埃粒子计数器的出气口相对应的接口。当待检尘埃粒子计数器不自带真空源时，可以使用附加的真空源。
[0011]所述标准粒子发生系统由粒子发生器及超净压缩空气发生器组成，所述超净压缩空气发生器与粒子发生器相连接，粒子发生器上设置有能够分别与待检尘埃粒子计数器入气口及校准基准器相配合的出气口。
[0012]所述标准粒子存放装置为便携式冰箱。【附图说明】:
[0013]图1是本实用新型的一个实施例的工作流程图；
[0014]图2是图1的结构示意图；
[0015]其中:1-洁净间，2-标准粒子发生系统，3-待检尘埃粒子计数器，4-校准基准器，5-真空源，6-采集器，7-控制器，8-便携式冰箱。
【具体实施方式】
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[0016]下面结合附图及实施例对本实用新型做进一步详细说明:如图1所示，一种尘埃粒子计数器现场校准装置，包括数据采集器、校准基准器4及标准粒子发生系统2组成，所述标准粒子发生系统2设置有能够与待检尘埃粒子计数器3入气口相配合的出气口，所述校准基准器4上设置有能够与待检尘埃粒子计数器3出气口相配合的入气口 ；所述数据采集系统包括支持RS-232、RS-485及RS-422通信协议的采集器6及控制器7，能够方便的与多种品牌的尘埃粒子计数器进行通信，所述采集器6为与控制器7之间通过蓝牙连接。
[0017]所述校准基准器4为便携式尘埃粒子计数器。
[0018]当待检尘埃粒子计数器3不自带真空源时，可以使用附加的真空源5，真空源5设置在校准基准器4的出气口上，用于提供空气压力差。
[0019]所述标准粒子发生系统2由粒子发生器及超净压缩空气发生器组成，所述超净压缩空气发生器与粒子发生器相连接，粒子发生器上设置有能够与待检尘埃粒子计数器入气口相配合的出气口。
[0020]所述标准粒子存放装置为便携式冰箱8。
[0021]在使用本实用新型的尘埃粒子计数器现场校准装置前，首先将标准粒子从便携式冰箱中取出，然后通过管道从超净间1外伸入超净间1内，通过操作延长杆将标准粒子发生系统放入超净间，然后按照超净压缩空气发生器、粒子发生器、待检尘埃粒子计数器3、校准基准器4及真空源5的次序用管道连接好，将采集器6分别连接在校准基准器4及待检尘埃粒子计数器3上。控制器7放置在洁净间1外。在进行校准时，首先启动标准粒子发生系统2，标准粒子发生系统2的超净压缩空气发生器和粒子发生器会发生可调浓度标准粒子的空气，带有标准粒子的空气会依次经过待检尘埃粒子计数器3和校准基准器4，其测定数据会通过采集器6进行采集并通过蓝牙传输给控制器7，然后通过控制器7对待检尘埃粒子计数器3及校准基准器4的数据采集结果进行对比即可得出校准结果。对同一个待检尘埃粒子计数器3需要多次校准实验，每次需要通过标准粒子发生系统2发生不同浓度的标准粒子空气，并对每次的校准结果进行对照。也可同时对多组在线尘埃粒子计数器进行校准。
【主权项】
1.一种尘埃粒子计数器现场校准装置，包括数据采集器、校准基准器、标准粒子发生系统及标准粒子存放装置，其特征在于:所述标准粒子发生系统设置有能够分别与待检尘埃粒子计数器入气口及校准基准器入气口相配合的出气口 ；所述数据采集系统包括支持多种通信协议的采集器及控制器，所述采集器为与控制器之间通过无线连接。2.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器现场校准装置，其特征在于:所述采集器与控制器之间通过蓝牙进行连接。3.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器现场校准装置，其特征在于:所述采集器的通信协议包括RS-232、RS-485及RS-422协议，采集器上设置有对应通信协议的接口。4.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器现场校准装置，其特征在于:所述校准基准器为便携式尘埃粒子计数器。5.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器现场校准装置，其特征在于:所述尘埃粒子计数器现场校准装置还包括真空源，所述真空源上设置有能够与待检尘埃粒子计数器的出气口相对应的接口。6.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器现场校准装置，其特征在于:所述标准粒子发生系统由粒子发生器及超净压缩空气发生器组成，所述超净压缩空气发生器与粒子发生器 相连接，粒子发生器上设置有能够分别与待检尘埃粒子计数器入气口及校准基准器相配合的出气口。7.根据权利要求1所述的尘埃粒子计数器现场校准装置，其特征在于:所述标准粒子存放装置为便携式冰箱。
【专利摘要】一种尘埃粒子计数器现场校准装置，包括数据采集器、校准基准器、标准粒子发生系统及标准粒子存放装置，所述标准粒子发生系统设置有能够分别与待检尘埃粒子计数器入气口及校准基准器入气口相配合的出气口；所述数据采集系统包括支持多种通信协议的采集器及控制器，所述采集器为与控制器之间通过无线连接。本实用新型携带与使用较方便，测量结果准确，且能够有效防止污染超净间内的环境。
【IPC分类】G01N15/10
【公开号】CN205067293
【申请号】CN201520747645
【发明人】王俊, 宋洁, 董佳, 毕莹, 孙威, 王舵, 山毓俊, 李光
【申请人】辽宁省计量科学研究院
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年9月25日