一种面阵与线阵ccd相机组合的多角度扫描探头的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于光学扫描测量领域，具体涉及一种面阵与线阵CCD相机组合的多角度扫描探头。
【背景技术】
[0002]目前，在采用光学成像系统对待测物的表面进行非接触式缺陷扫描检测时，一般采用如下两种解决方案:一、采用单一面阵CCD相机进行面阵步距扫描，以获取待测物明暗相间的图像，再经过后续算法处理重建待测物的拼图图像，从拼图图像中检测待测物表面的缺陷是否合格；二、采用单一线阵CCD相机进行线阵连续扫描，以获取待测物明暗相间的图像，再经过后续算法处理重建待测物的拼图图像，从拼图图像中检测待测物表面的缺陷是否合格。采用单一面阵CCD相机进行面阵步距扫描时，可以保障缺陷分辨率，但无法保障扫描速度，影响测量速度；采用单一线阵CCD相机进行线阵连续扫描时，可以保障扫描速度，但无法保障缺陷解析率，也就是从重建的图像中看不到待测物表面的精细结构。当用户的样品检测需要同时兼顾大尺度缺陷的扫描速度和小尺度缺陷的局部分辨率时，现有的单个扫描探头无法满足要求，需要配置分别带面阵CCD相机的设备和待线阵CCD相机的两套设备。
【实用新型内容】
[0003]为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种面阵与线阵CCD相机组合的多角度扫描探头，使用后能够同时兼顾大尺度缺陷的扫描速度和小尺度缺陷的局部分辨率的检测要求。
[0004]为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下:一种面阵与线阵(XD相机组合的多角度扫描探头，包括基座、设置在基座上的线光源、和用于对线光源发出的光束进行导光的光纤，其特征在于:固定在所述基座上的还设有面阵CCD相机和线阵CCD相机，分别触发面阵CCD相机和线阵CCD相机动作的设有第一触发器和第二触发器，所述线光源与面阵CCD相机之间形成第一光路，所述线光源与线阵CCD相机之间形成第二光路，所述面阵CCD相机、线阵CCD相机和线光源三者之间实时共焦。
[0005]本实用新型的一个较佳实施例中，进一步包括所述基座上设有变倍显微镜，所述面阵CCD相机固定在变倍显微镜上，且所述面阵CCD相机的中心与变倍显微镜的镜筒中轴线重合，所述线阵CCD相机的中心与变倍显微镜的镜筒中轴线之间的夹角为130°?140°，所述线光源的中心与变倍显微镜的镜筒中轴线之间的夹角为57°?63°。
[0006]本实用新型的一个较佳实施例中，进一步包括所述线阵(XD相机的中心与变倍显微镜的镜筒中轴线之间的夹角为135°，所述线光源的中心与变倍显微镜的镜筒中轴线之间的夹角为60°。
[0007]本实用新型的一个较佳实施例中，进一步包括所述第一触发器和第二触发器同步输出触发信号。
[0008]本实用新型的一个较佳实施例中，进一步包括所述第一触发器和第二触发器独立输出触发信号。
[0009]本实用新型的一个较佳实施例中，进一步包括所述基座包括横向设置的面阵相机支架、和分别设置在面阵相机支架两端的线光源支架和线阵相机支架，所述线光源设置在线光源支架上，所述线阵CCD相机设置在线阵相机支架上，所述变倍显微镜设置在面阵相机支架上。
[0010]本实用新型的有益效果是:本实用新型提供一种面阵与线阵C⑶相机组合的多角度扫描探头，通过优化设计结构，在一台扫描探头上组合安装面阵CCD相机和线阵CCD相机，两相机共用一个线光源，能够同时兼顾大尺度缺陷的扫描速度和小尺度缺陷的局部分辨率的检测要求，以此来提升用户产线的产品检测效率和良率，降低检测设备采购的成本。
【附图说明】
[0011]为了更清楚地说明本实用新型实施例技术中的技术方案，下面将对实施例技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1是本实用新型优选实施例的立体图；
[0013]图2是本实用新型优选实施例工作时的主视结构示意图；
[0014]图3是本实用新型优选实施例的俯视图。
[0015]其中，1-载物台，3-待测样品；
[0016]2-基座，4-线光源，6-光纤，8-面阵CCD相机，10-线阵CCD相机，12-第一触发器，14-第二触发器，16-第一光路，18-第二光路，20-变倍显微镜，22-面阵相机支架，24-线光源支架，26-线阵相机支架。
【具体实施方式】
[0017]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0018]实施例一本实施例中的扫描探头基于面阵(XD相机8和线阵(XD相机10同时工作:
[0019]如图1、2、3所示，本实施例中公开了一种基于面阵(XD相机与线阵(XD相机组合的多角度扫描探头，包括基座2、设置在基座2上的线光源4、和用于对线光源4发出的光束进行导光的光纤6，具体的，所述基座2包括横向设置的面阵相机支架22、和分别设置在面阵相机支架22两端的线光源支架24和线阵相机支架26，面阵相机支架22和线阵相机支架26上分别固定有面阵CCD相机8和线阵CCD相机10，线光源4设置在线光源支架24上，线光源4、面阵CCD相机8和线阵CCD相机10三者构成本实用新型扫描探头的主体部分，所述面阵CCD相机8、线阵CCD相机10和线光源4三者之间实时共焦，所述线光源4与面阵CCD相机8之间形成第一光路16，所述线光源4与线阵(XD相机10之间形成第二光路18，分别触发面阵CCD相机8和线阵CCD相机10动作的设有第一触发器12和第二触发器14，作为本实用新型的优选实施例，第一触发器12和第二触发器14同步输出触发信号。
[0020]为了实现面阵(XD相机8、线阵(XD相机10和线光源4三者之间实时共焦，本实用新型优选实施例中基于以下结构来实现:所述基座2上设有变倍显微镜20，如图1所示，变倍显微镜20设置在面阵相机支架22上，所述面阵(XD相机8固定在变倍显微镜20上，且所述面阵CCD相机8的中心与变倍显微镜20的镜筒中轴线重合，所述线阵CCD相机10的中心与变倍显微镜20的镜筒中轴线之间的夹角α 1为130°?140°，所述线光源4的中心与变倍显微镜20的镜筒中轴线之间的夹角α2为57°?63°。线光源4、面阵C⑶相机8和线阵CCD相机10基于上述角度安装时能够确保三者之间实时共焦，三者之间实时共焦使得面阵CCD相机8和线阵CCD相机10能够共用一组线光源4基于光学原理来获取