一种多点同时测量单面镀膜透镜的镀膜厚度装置的制造方法

文档序号:10350551阅读:260来源:国知局
一种多点同时测量单面镀膜透镜的镀膜厚度装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型属于光学透镜生产领域,尤其针对于大批量生产的、单面镀膜的凸透 镜和凹透镜的镀膜厚度测量,具体涉及一种多点同时测量单面镀膜透镜的镀膜厚度装置。
【背景技术】
[0002] 无论是生活上还是军事上,光学透镜必不可少。但无论是树脂透镜还是玻璃透镜, 其本身的透光率都只有91%左右,会有部分光线在两个表面反射回来。镜片的反射可使光 线透过率减小并且在视网膜形成干扰而影响成像质量。而镀膜技术是利用光学技术,通过 在透镜表面镀上一定厚度的单层或者多层光学薄膜使镜片获得一些新的原先所不具备的 光学性能,以改善镜片反射光线的能力起到增强或者减少光线透过率使镜片的透光率增加 到98 %。
[0003] 镀膜后,镜片表面反射光线透过率降低,解决镜片在强光下难以成像的问题,防止 紫外线、红外线、X线对视力的损伤。
[0004] 目前镜片镀膜主要有两种薄膜:一种是抗反射膜。另一种是加硬膜。对于透镜,镀 膜厚度是个重要参数,镀膜的均匀性决定着透镜是否可以使用,因此透镜所镀薄膜厚度测 量成为生产中一个必不可少的环节。 【实用新型内容】
[0005] 本实用新型的目的是提供一种多点同时测量单面镀膜透镜的镀膜厚度装置,通过 激光器输出的光经过分光装置分成多束光,可实现同时多点测量单面镀膜透镜的镀膜厚 度,通过对比镀膜厚度分析镀膜的均匀性。
[0006] 本实用新型的技术方案是:一种多点同时测量单面镀膜透镜的镀膜厚度装置,包 括光源、分光装置、透镜、光电位移传感器、信号放大器、光信号处理器和计算机;
[0007] 所述分光装置包括至少1个半透半反镜和1个全反镜;所述全反镜位于所述半透半 反镜的反射光路上,所述半透半反镜的入射光路和所述半透半反镜的反射光路的夹角为90 度角,所述半透半反镜的反射光路为所述全反镜的入射光路,所述全反镜的入射光路和所 述全反镜的反射光路夹角为90度角,所述半透半反镜的透射光路与所述全反镜的反射光路 相平行;
[0008] 所述光源、分光装置、透镜和所述光电位移传感器的光接收面的中心位于同一光 路上、且依次排列;所述光电位移传感器、信号放大器、光信号处理器和计算机依次电连接;
[0009] 所述光电位移传感器用于接收光信号,并将光信号传送到所述信号放大器;所述 信号放大器用于将光信号转换为电信号后输入到所述计算机;所述计算机用于计算透镜的 镀膜厚度。
[0010] 上述方案中,所述分光装置包括6个半透半反镜和3个全反镜;6个所述半透半反镜 分别为第一半透半反镜、第二半透半反镜、第三半透半反镜、第四半透半反镜、第五半透半 反镜和第六半透半反镜;3个所述全反镜分别为第一全反镜、第二全反镜和第三全反镜;
[0011] 所述第一半透半反镜、第二半透半反镜和第三半透半反镜依次位于同一光路上;
[0012] 所述第五半透半反镜、第六半透半反镜和第三全反镜依次位于所述第一半透半反 镜的反射光路上;
[0013] 所述第四半透半反镜和第二全反镜依次位于所述第二半透半反镜的反射光路上;
[0014] 所述第一全反镜位于所述第三半透半反镜的反射光路上。
[0015] 上述方案中,所述半透半反镜和全反镜处于同一水平面上。
[0016] 上述方案中,所述光源为激光器提供的高能量光源。
[0017] 本实用新型的有益效果是:本实用新型通过激光器输出的光经过所述分光装置分 成多束光,经过透镜投射到所述光电位移传感器上,所述光电位移传感器将光信号经过所 述信号放大装置放大后传送到所述光信号处理器,所述光信号处理器将光信号转换为电信 号后输入到所述计算机,所述计算机进行薄膜厚度的计算,可实现同时多点测量单面镀膜 透镜的镀膜厚度,通过对比镀膜厚度分析镀膜的均匀性。相比于传统的需借助特殊仪器对 样本透镜造成一定破坏的测试方法,本实用新型无须直接接触样本,不会对样本造成损害, 测量完毕可以直接使用;相比于现在其他非接触测量方法,本实用新型的方法更加简单,方 便操作,节省时间人力,具有较高的经济效益高;本实用新型主要针对于批量生产的透镜的 检测,可以测量各种单面镀膜的凸透镜和凹透镜,使用同一套设备即可。
【附图说明】
[0018] 图1是本实用新型一实施例的具体实施结构示意图;
[0019] 图2是本实用新型一实施例的分光装置细节示意图;
[0020] 图3是实用新型一实施例的凸透镜镀膜后折射光线发生偏移示意图;
[0021] 图4是实用新型一实施例的凹透镜镀膜后折射光线发生偏移示意图。
[0022] 图中:1、光源;2、分光装置;3、透镜;4、光电位移传感器;5、信号放大器;6、光信号 处理器;7、和计算机;8、光轴。
【具体实施方式】
[0023] 下面结合附图【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明,但本实用新型的保 护范围并不限于此。
[0024] 图1所示为本实用新型所述多点同时测量单面镀膜透镜的镀膜厚度装置的一种实 施方式,所述多点同时测量单面镀膜透镜的镀膜厚度装置包括光源1、分光装置2、透镜3、光 电位移传感器4、信号放大器5、光信号处理器6和计算机7。
[0025] 所述光源1、分光装置2、透镜3和所述光电位移传感器4的光接收面的中心位于同 一光路上、且依次排列;所述光电位移传感器4、信号放大器5、光信号处理器6和计算机7依 次电连接。
[0026] 所述光电位移传感器4用于接收光信号,并将光信号传送到所述信号放大器5;所 述信号放大器5用于将光信号转换为电信号后输入到所述计算机7;所述计算机7用于计算 透镜的镀膜厚度。
[0027] 所述透镜3包括单面镀膜透镜和未镀膜透镜,所述单面镀膜的透镜和未镀膜的透 镜规格相同。
[0028] 所述分光装置2包括至少个半透半反镜和全反镜,所述半透半反镜和个全反镜处 于同一水平面,所述全反镜位于所述半透半反镜的反射光路上,所述半透半反镜的入射光 路和所述半透半反镜的反射光路的夹角为90度角,所述半透半反镜的反射光路为所述全反 镜的入射光路,所述全反镜的入射光路和所述全反镜的反射光路夹角为90度角,所述半透 半反镜的透射光路与所述全反镜的反射光路相平行。优选的,所述分光装置2包括6个半透 半反镜和3个全反镜,如图2所示,6个所述半透半反镜分别为第一半透半反镜201、第二半透 半反镜202、第三半透半反镜203、第四半透半反镜204、第五半透半反镜205和第六半透半反 镜206; 3个所述全反镜分别为第一全反镜207、第二全反镜208和第三全反镜209。所述第一 半透半反镜201、第二半透半反镜202和第三半透半反镜203依次位于同一光路上;所述第五 半透半反镜205、第六半透半反镜206和第三全反镜209依次位于所述第一半透半反镜201的 反射光路上;所述第四半透半反镜204和第二全反镜208依次位于所述第二半透半反镜202 的反射光路上;所述第一全反镜207位于所述第三半透半反镜203的反射光路上。
[0029] 优选的,所述光源1为激光器提供的高
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