一种气体浓度检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体器件，尤其涉及一种气体浓度检测装置。
【背景技术】
[0002]半导体传感器以其易于实现集成化，微型化、灵敏度高等诸多优点，一直引起世界各国科学家的重视和兴趣。由于电子技术的飞速发展，以半导体传感器为代表的各种固态传感器相继问世。这类传感器主要是以半导体为敏感材料，在各种物理量的作用下引起半导体材料内载流子浓度或分布的变化，通过检测这些物理特性的变化，即可反映被测参数值。它与各种结构型传感器相比，具有如下特点:由于传感器原理是基于物理变化的，因而没有相对运动部件，可以做到结构简单，微型化;灵敏度高，动态性能好，输出为电量;采用半导体为敏感材料容易实现传感器集成化，智能化;功耗低，安全可靠。
[0003]目前以半导体为基础材料的气敏元件已相当成熟，但仍然存在结构复杂、稳定性较差的问题。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、制造成本低廉、响应速度快、灵敏度高、稳定性好的气体浓度检测装置。
[0005]本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种气体浓度检测装置，包括陶瓷绝缘基底，所述陶瓷绝缘基底上设置有测量电极一、测量电极二、测量电极三、测量电极四，所述测量电极一、测量电极二之间及测量电极三、测量电极四之间分别设置有金属基片，所述金属基片上设置有叉指烧结体，所述测量电极一、测量电极四之间及测量电极二、测量电极三之间分别设置有电极栅，所述电极栅上设置有电热丝。
[0006]当电极栅上的电热丝对叉指烧结体进行加热，所述叉指烧结体产生多孔结构，用于对气体的吸附和释放，当叉指烧结体吸附或释放气体时，叉指烧结体质量和导电率会发生改变，根据气体浓度的变化，叉指烧结体导电率发生相应变化，并产生感应电流，所述感应电流通过金属基片及测量电极，收集及输出，被外电路测定，从而实现气体浓度的检测。
[0007]在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
[0008]进一步，所述叉指烧结体为多孔二氧化钛材料，所述二氧化钛材料为多孔半导体材料，加热时容易产生表面积较大的多孔结构，有利于气体的吸收或释放。
[0009]进一步，所述测量电极一及测量电极二为梳状金电极，所述梳状金电极导电性强有利于电信号的收集与输出。
[0010]进一步，所述测量电极三及测量电极四为圆环碳电极，所述圆环碳电极导电强、内耗低，降低了对检测信号的干扰，同时碳电极环保无污染。
[0011]本实用新型的有益效果是:结构简单、制造成本低廉、响应速度快、灵敏度高、稳定性好。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型一种气体浓度检测装置结构示意图；
[0013]附图中，各标号所代表的部件列表如下:1、陶瓷绝缘基底，2、测量电极一，3、测量电极二，4、测量电极三，5、测量电极四，6、金属基片，7、电热丝，8、叉指烧结体，9、电极栅。
【具体实施方式】
[0014]以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
[0015]如图1所示，一种气体浓度检测装置，包括陶瓷绝缘基底I，所述陶瓷绝缘基底I上设置有测量电极一 2、测量电极二 3、测量电极三4、测量电极四5，所述测量电极一 2、测量电极二 3之间及测量电极三4、测量电极四5之间分别设置有金属基片6，所述金属基片6上设置有叉指烧结体8，所述测量电极一 2、测量电极四5之间及测量电极二 3、测量电极三4之间分别设置有电极栅9，所述电极栅9上设置有电热丝7。
[0016]当电极栅9上的电热丝7对叉指烧结体8进行加热，所述叉指烧结体8产生多孔结构，用于对气体的吸附和释放，当叉指烧结体8吸附或释放气体时，叉指烧结体8质量和导电率会发生改变，根据气体浓度的变化，叉指烧结体8导电率发生相应变化，并产生感应电流，所述感应电流通过金属基片6及测量电极，收集及输出，被外电路测定，从而实现气体浓度的检测。
[0017]所述叉指烧结体8为多孔二氧化钛材料，所述二氧化钛材料为多孔半导体材料，加热时容易产生表面积较大的多孔结构，有利于气体的吸收或释放。所述测量电极一 2及测量电极二3为梳状金电极，所述梳状金电极导电性强有利于电信号的收集与输出。所述测量电极三4及测量电极四5为圆环碳电极，所述圆环碳电极导电强、内耗低，降低了对检测信号的干扰，同时碳电极环保无污染。
[0018]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种气体浓度检测装置，其特征在于，包括陶瓷绝缘基底，所述陶瓷绝缘基底上设置有测量电极一、测量电极二、测量电极三、测量电极四，所述测量电极一、测量电极二之间及测量电极三、测量电极四之间分别设置有金属基片，所述金属基片上设置有叉指烧结体，所述测量电极一、测量电极四之间及测量电极二、测量电极三之间分别设置有电极栅，所述电极栅上设置有电热丝。2.根据权利要求1所述一种气体浓度检测装置，其特征在于，所述叉指烧结体为多孔二氧化钛材料。3.根据权利要求1所述一种气体浓度检测装置，其特征在于，所述测量电极一、测量电极二为梳状金电极。4.根据权利要求1所述一种气体浓度检测装置，其特征在于，所述测量电极三、测量电极四为圆环碳电极。
【专利摘要】本实用新型涉及一种气体浓度检测装置，包括陶瓷绝缘基底，所述陶瓷绝缘基底上设置有测量电极一、测量电极二、测量电极三、测量电极四，所述测量电极一、测量电极二之间及测量电极三、测量电极四之间分别设置有金属基片，所述金属基片上设置有叉指烧结体，所述测量电极一、测量电极四之间及测量电极二、测量电极三之间分别设置有电极栅，所述电极栅上设置有电热丝。本实用新型结构简单、制造成本低廉、响应速度快、灵敏度高、稳定性好。
【IPC分类】G01N27/12
【公开号】CN205333561
【申请号】CN201620080251
【发明人】不公告发明人
【申请人】重庆三零三科技有限公司
【公开日】2016年6月22日
【申请日】2016年1月27日