缺陷预测系统、缺陷预测方法和程序与流程

本公开总体上涉及一种缺陷预测系统、缺陷预测方法和程序，并且更具体地涉及一种用于对产品的缺陷进行预测的缺陷预测系统、缺陷预测方法和程序。

背景技术：

1、专利文献1公开了一种用于做出关于产品缺陷的判定的已知系统。更具体地，专利文献1公开了一种用于确定设备为缺陷原因的系统(以下称为“缺陷原因确定系统”)。专利文献1的系统包括因子效应数据创建器、因子效应图绘制器、缺陷批次选择优化器和设备差异分析器。因子效应数据创建器基于与具有特定缺陷形式的批次有关的缺陷批次组信息来创建因子效应数据。因子效应图绘制器绘制指示因子效应数据是否与缺陷批次标识信息一致的因子效应图。缺陷批次选择优化器通过参考因子效应图来选择由于相同缺陷原因而变得有缺陷的多个缺陷批次。设备差异分析器从设备历史信息数据库中读出已经对如此选择的多个缺陷批次进行处理的一组制造设备的历史信息，由此确定哪个制造设备已用于共同处理所有多个缺陷批次。

2、然而，当专利文献1的缺陷原因确定系统发现缺陷数量增加的原因时，产品之中的缺陷数量已经增加。因此，专利文献1的缺陷原因确定系统涉及缺陷数量的增加，这是专利文献1的系统所存在的问题。

3、引用列表

4、专利文献

5、专利文献1：jp 2005-284650 a

技术实现思路

1、因此，本公开的目的是提供一种其全部都有助于在产品之中的缺陷数量增加之前确定缺陷数量增加的原因的缺陷预测系统、缺陷预测方法和程序。

2、根据本公开的一方面的缺陷预测系统被配置为对要通过多个工艺步骤制造的产品将要产生的缺陷进行预测。多个工艺步骤中的每一个包括彼此平行的多个生产线。缺陷预测系统包括获取器、缺陷相关数量预测器和原因预测器。获取器获取针对多个工艺步骤中的至少一个中的多个生产线中的每一个的过去缺陷相关数量。过去缺陷相关数量与过去产品产生的缺陷数量相关。缺陷相关数量预测器基于由获取器获取的过去缺陷相关数量，针对多个工艺步骤中的每一个中的多个生产线中的每一个预测未来缺陷相关数量。未来缺陷相关数量与未来缺陷数量相关，该未来缺陷数量是预测未来产品将产生的缺陷数量。原因预测器基于由缺陷相关数量预测器针对多个工艺步骤中的每一个中的多个生产线中的每一个预测的未来缺陷相关数量，预测总未来缺陷相关数量增加的原因可归因于多个生产线中的哪个生产线。总未来缺陷相关数量是多个生产线的相应未来缺陷相关数量之和。

3、根据本公开的另一方面的缺陷预测方法是用于对要通过多个工艺步骤制造的产品将要产生的缺陷进行预测的方法。多个工艺步骤中的每一个包括彼此平行的多个生产线。缺陷预测方法包括获取步骤、缺陷相关数量预测步骤和原因预测步骤。获取步骤包括：获取针对多个工艺步骤中的至少一个中的多个生产线中的每一个的过去缺陷相关数量。过去缺陷相关数量与过去产品产生的缺陷数量相关。缺陷相关数量预测步骤包括：基于在获取步骤中获取的过去缺陷相关数量，针对多个工艺步骤中的每一个中的多个生产线中的每一个预测未来缺陷相关数量。未来缺陷相关数量与未来缺陷数量相关，该未来缺陷数量是预测未来产品将产生的缺陷数量。原因预测步骤包括：基于在缺陷相关数量预测步骤中针对多个工艺步骤中的每一个中的多个生产线中的每一个预测的未来缺陷相关数量，预测总未来缺陷相关数量增加的原因可归因于多个生产线中的哪个生产线。总未来缺陷相关数量是多个生产线的相应未来缺陷相关数量之和。

4、根据本公开的又一方面的程序被设计为使计算机系统的一个或多个处理器执行上述缺陷预测方法。

技术特征：

1.一种缺陷预测系统，被配置为对要通过多个工艺步骤制造的产品将要产生的缺陷进行预测，

2.根据权利要求1所述的缺陷预测系统，还包括警告器，所述警告器被配置为当所述缺陷相关数量预测器所预测的所述总未来缺陷相关数量等于或大于注意阈值时，生成警告信息以引起管理员的注意。

3.根据权利要求1或2所述的缺陷预测系统，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的缺陷预测系统，其中，

5.根据权利要求4所述的缺陷预测系统，其中，

6.根据权利要求5所述的缺陷预测系统，其中，

7.根据权利要求5或6所述的缺陷预测系统，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的缺陷预测系统，其中，

9.根据权利要求1至8中任一项所述的缺陷预测系统，其中，

10.根据权利要求1至9中任一项所述的缺陷预测系统，还包括输出器，所述输出器被配置为向呈现设备输出信息，其中，

11.根据权利要求10所述的缺陷预测系统，其中，

12.根据权利要求11所述的缺陷预测系统，其中，

13.一种用于对要通过多个工艺步骤制造的产品将要产生的缺陷进行预测的缺陷预测方法，

14.一种程序，被设计为使计算机系统的一个或多个处理器执行根据权利要求13所述的缺陷预测方法。

技术总结
本公开的目的是在产品的缺陷数量增加之前识别缺陷数量增加的原因。一种缺陷预测系统(1)包括获取器(11)、缺陷相关数量预测器(12)和原因预测器(13)。缺陷相关数量预测器(12)基于由获取器(11)获取的过去缺陷相关数量，预测多个工艺步骤中的每一个和多个生产线中的每一个中的产品的未来缺陷相关数量。原因预测器(13)基于由缺陷相关数量预测器(12)预测的多个工艺步骤中的每一个中和多个生产线中的每一个中的未来缺陷相关数量，预测将是未来缺陷相关数量增加的原因的生产线。

技术研发人员：杰弗里·纳因戈兰,菅泽裕也,村田久治,佐藤吉宣
受保护的技术使用者：松下知识产权经营株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15