专利名称：数据检索系统及方法
技术领域：
本发明涉及数据管理，特别是涉及已储存的数据集合中的组件检索。
背景技术：
在半导体制造中，工程数据集合反应出半导体产品、设备、及设施、各种工艺阶段(例如蚀刻、掺杂、离子注入、封装、以及测试)的信息。既然工程数据集合在协助客户避免工艺延迟及技术错误上扮演着重要的角色，有越来越多客户开始使用工程数据集合，例如晶片验收测试(wafer acceptancetests，WAT)、晶片探测(chip probing，CP)、线内测试(inline test)及其它测试的数据集合。
当信息系统提供的工程数据集合种类增多的同时，使用工程数据集合并从中取得所要的数据也变得更困难，而且也更耗时。举例来说，介于CP及线内测试数据集合的关联信息在技术上可能涉及其它的工程数据集合，其特征值或介于其它的工程数据集合之间的关联信息。然而，新的客户可能不熟悉该信息系统。另外，实际上相关的数据可能因不同状况而异。目前仍无提出任何有效方法来解决这样的问题。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供数据检索系统及方法。
基于上述目的，本发明实施例提供一种数据检索方法，执行于一信息提供模块中，其中上述信息提供模块储存并提供制造工程数据集合，并连接一网络。从上述网络接收一第一操作。响应上述第一操作，经由上述网络提供上述工程数据集合的一部分。根据上述工程数据集合的上述部分的特征，自动提供引导信息，上述引导信息引导至上述信息提供模块可执行的下一操作。
另外，本发明实施例提供一种数据检索系统，包含第一储存单元、接口模块以及引导模块。上述第一储存单元连接于一网络，并储存半导体制造的工程数据集合。上述接口模块连接于上述第一储存单元，通过上述网络接收第一操作并响应上述第一操作提供上述工程数据集合的一部分。上述引导模块连接于上述第一储存单元及上述接口模块，根据上述工程数据集合的上述部分的特征，以自动提供引导信息。上述引导信息引导至上述接口模块可执行的下一操作。
另外，本发明实施例提供一种数据检索系统，包含第一储存单元、接口模块、第三储存单元以及学习模块。上述第一储存单元连接于一网络，并储存关于一半导体制造实体执行的半导体制造的工程数据集合。上述接口模块连接于上述第一储存单元，通过上述网络接收一第一操作并响应上述第一操作通过上述网络提供上述工程数据集合的一部分，并随后通过上述网络接收一第二操作。上述第三储存单元连接于上述接口模块，用以储存在上述接口模块上执行过的多个操作的一历史记录。上述学习模块连接于上述接口模块及上述第三储存单元，并储存上述第二操作于上述第三储存单元中，并将上述第二操作及上述工程数据集合的上述部分的上述特征关联在一起。
因此，根据本发明，可以自动地产生、调整IC工程数据集合的使用上的提示信息，并提供给客户。
图1显示一半导体晶片厂及多个客户的实施例的框图；图2显示一信息提供模块实施例的结构框图；图3显示用于操作步骤引导的规则实例；图4显示信息提供模块的操作历史记录实例示意图；图5显示一信息提供模块另一实施例的结构框图；图6显示数据检索方法的实施例的流程图；图7显示引导信息的实例的示意图；以及图8显示引导信息的另一实例的示意图。
其中，附图标记说明如下21接口模块 22引导信息提供模块 23学习模块24-26储存单元27分析器.61电脑系统
100半导体制造环境 102半导体晶片厂 106客户108网络202服务系统 204电脑系统206制造执行系统(MES) 208制造设施 210电脑系统212工具及设备 214设计/实验设施 216电脑系统218工具及设备 220工程系统 222电脑系统230信息提供模块。
具体实施例方式
以下说明是本发明的优选实施例。其目的是要举例说明本发明一般性的原则，不应视为本发明的限制，本发明的范围当以权利要求的限定为准。
以下提供数据检索系统及方法。
在图1中，半导体晶片厂102包含多个实体，每一实体包含一电脑以经由网络108连接至其它电脑及客户(例如客户106)。网络108可以是因特网(Internet)或企业内部网络(intranet)，并实作网络协议，例如网际网络通讯协议(Internet Protocol，IP)及传输控制协议(transmission control protocol，TCP)。客户106可以是集成电路(integrated circuit，IC)设计公司或其它IC处理的实体。在上述实体内的每一电脑包含一网络接口。
服务系统202为介于客户(例如客户106及107)与半导体晶片厂102之间的接口，用以交换半导体工艺作业的信息。服务系统202包含电脑系统204及制造执行系统(manufacturing execution system，简称MES)206以促成此通讯。
MES 206连接至半导体晶片厂102的其它系统及实体，执行各种作业以推动IC制造。举例来说，MES 206可以接收各种即时(real-time)的信息，组织并储存此信息于集中式的数据库，管理工作顺序，管理工作站，管理制造程序，追踪存货，并管理相关文件。
信息提供模块230可以是整合至服务系统202的一台电脑或系统，用以提供IC制造的工程数据给客户。
制造设施208用以制造IC。因此，制造设施208包含制造工具及设备212。举例来说，这些工具及设备212可以包含离子注入工具(ion implantationtool)、化学气相沉积(chemical vapor deposition)设备，热氧化(thermal oxidation)设备，溅镀(sputtering)工具，以及各式各样光学影像系统，以及控制这些工具设备所需的软件。制造设施208也可以包含电脑系统210。
设计/实验设施214用以设计及测试IC。设计/实验设施214包含设计/实验工具及设备218。工具及设备218可以包含一个或一个以上的软件应用程序及硬体系统。设计/实验设施214也包含电脑系统216。
工程师220可以与其它实体(例如服务系统202或其它工程师)在IC制造程序中协同运作。举例来说，工程师220和其它工程师及设计/实验设备214在IC设计与测试方面协同运作，以监视制造设施208中的制造程序，并取得测试货批及良率等的相关信息。工程师220可以利用电脑系统222直接和客户沟通，并执行其各种作业。
在图2的信息提供模块230中，第一储存单元24储存从半导体晶片厂102收集而来的半导体制造工程数据。上述工程数据集合包含各种关于工艺、工艺阶段、设施、设备、工具、及关于IC制造及测试的其它信息。在半导体晶片厂102中的每一实体可以经由网络(例如网络108)提供工程数据至第一储存单元24。第二储存单元25储存规则，其中每一规则将信息提供模块230的接口模块21的至少一操作与上述工程数据集合的部分数据的特征关联在一起。在图3中，举例来说，每一种工程数据特征类别关联于信息提供模块230的多个建议操作，该建议操作由标签<opt>及</opt>所包围。每个建议操作包含由标签<weight>及</weight>所包围的权重，用以表示一操作与工程数据特征的关联程度。在第二储存单元25的多个规则可以是被预先制定或由学习模块23来动态决定，这将在稍后说明。
第三储存单元26储存关于执行于接口模块21的历来操作，每一被记录的操作可以关联于另一操作或关联于上述工程数据集合的一部分的特征。在图4中，举例来说，操作“电路探测&线内关联性(CP&Inline Correlation)”(E2)关联于标签<characteristics>所标示的“电路探测图中央部分损失(CPMap Center Loss)”，以及分别由标签<previous opt>与<next opt>所标示的“电路探测概览(CP overview)”与“线内&EQP关联性(Inline&EQPCorrelation”)。标签<count>与</count>所标示的数字指示其关联性的程度，该关联性的程度可以是由学习模块23所建立，或表示学习模块23加强该关联性的次数。
接口模块21利用一接口，用以从多个客户(例如客户106的电脑系统61)接收操作，由此从第一储存单元24检索取得上述工程数据集合的一部分，并提供上述取得的数据给客户作为响应。引导模块22提供引导至下一操作的引导信息，而该下一操作对应于上述工程数据集合的上述部分的特征。这些特征可由分析器27(如图5所示)自动判定或由客户判别并有系统地归纳进典型的类别中。举例来说，工程数据集合(例如线内(inline)数据集合、晶片验收测试(WAT)数据集合及电路探测(CP)数据集合)的特征及其间的关联性可以被判别并归纳至多个预定属性，例如“上升趋势”、“下降趋势”、“区域相对损失”、“图中央部分损失”、“不符规格(OOS)/失控(OOC)”、“高关联性”、“低关联性”、“图左下部分损失”以及其它特征类别。可以自动的组织接口模块21与引导模块22提供的信息，以构成超文本标记语言(Hypertext MarkupLanguage，简称HTML)格式或其它格式的网页，其中被提供的引导信息可以包含超链结或其它的使用者接口用以在被选择时驱动接口模块21的另一操作。
学习模块23促使信息提供模块230能够学习(或称为调整)介于上述工程数据特征及接口模块21的相关操作间的关联性。须要了解的是接口模块21、引导模块22、学习模块23及储存单元24-26可以集中配置于一实体中(例如一服务器)或分散配置于多个实体。
信息提供模块230可以是一电脑装置或是一电脑程序用以自动执行下列步骤。为了要明确说明，只举出客户106与信息提供模块230的互动。参照图6，客户106起始接口模块21的第一操作为以通过网络108取得储存于储存单元24中的工程数据集合的一部分(步骤S2)。当接收上述第一操作时，接口模块21通过网络108提供上述工程数据集合的一部分以作为响应。举例来说，当接收CP概览的操作时，接口模块21找到并传送CP BIN8的图至电脑系统61，使该图被显示。分析器27可以自动地或在客户106的命令下判别上述工程数据集合的上述部分(例如CP BIN8的图)的特征(步骤S4)。应该注意，上述判别特征的作业可以在上述第一操作之前被执行。
根据被判定的特征，引导模块22利用第二储存单元25中的规则及第三储存单元26中的操作历史记录产生引导信息，以引导至接口模块21的下一操作(步骤S6)。举例来说，当CP BIN8图被判别是“图中央部分损失”，引导模块22以关键字“CPMap Center Loss”检索第二储存单元25及第三储存单元26，并找到在图3中的规则L1及在图4中的记录E2。引导模块22提供引导信息至电脑系统61。图6显示上述引导信息的一实例，其中70％及20％分别是建议操作“电路探测&线内关联性(CP&Inline Correlation)”及“电路探测&晶片验收测试关联性(CP&WAT Correlation)”的权重，上述权重可以从规则L1及记录E2中的对应数据(例如在图3标签<weight>与</weight>之间的65％及20％，以及在图4标签<count>与</count>之间的“3”)演算而得。在电脑系统61上的一网页浏览器可以显示此引导信息。其中的建议可以被采用或不采用。
另外，当没有判别出任何特征时，引导模块22可以利用第三储存单元26以提供对应上述第一操作的建议操作。举例来说，引导模块22可以找到记录E1并提供包含“电路探测&线内关联性(CP&Inline Correlation)”的信息。
当从电脑系统61接收到一第二操作时，接口模块21执行该第二操作(步骤S8)。举例来说，接口模块21找到工程数据集合的第二部分，并通过网络提供该第二部分。或者，接口模块21计算工程数据集合之间的关联性。学习模块23相对地建立或调整上述二操作及上述特征的关联性(步骤S10)。举例来说，学习模块23可以记录上述第二操作、上述特征以及上述第一操作于第三储存单元26，藉此以将这二个操作及上述特征关联在一起。如果在第三储存单元26存在一第一记录包含这二个操作以及上述特征，学习模块23调整第一记录的对应信息以加强这二个操作以及上述特征之间的关联性。举例来说，当“电路探测&线内关联性(CP&Inline Correlation)”被当作第二操作执行时，学习模块23则相对地增加记录E1及E2中的计数。
如果第二储存单元25存在一规则包含上述第二操作及上述特征，并且上述第二操作被包含在引导模块22所提供的引导信息中，则学习模块23调整其中相关信息以加强上述第二操作及上述特征之间的关联性。举例来说，当“电路探测&线内关联性(CP&Inline Correlation)”被当作第二操作执行时，学习模块23则相对地增加在规则L1中的权重“65％”。如果第二储存单元25没有任何包含上述第二操作及上述特征的规则，学习模块23可以在第二储存单元25中产生对应的规则。举例来说，学习模块23可以在当第三储存单元26的该第一记录中的计数超过一临界值时(例如0或大于0的值)才在第二储存单元25中产生对应于上述第二操作及上述特征的对应规则。学习模块23藉以在第二储存单元25中产生对应规则的条件可以被修改。
如果第二储存单元25存在一规则包含上述第二操作及上述特征，然而上述第二操作不在引导模块22所提供的引导信息中的情况下，学习模块23可以不调整该规则。
同样地，当CP与Inline之间的关联性被判别为“关联性高”时，引导模块22以关键字“电路探测&线内关联性高(CP&InlineCorrelation High)”检索第二储存单元25及第三储存单元26，并找到在图3中的规则L2及在第三储存单元26的记录(未图示)。图7显示上述引导信息的实例，其中80％、60％及20％分别为建议操作“线内&EQP关联性(Inline&EQP Correlation)”、“ME1OX3_DP”及“VTN1_IM4”的权重。这些操作之间存在一阶层关系，其中“ME1OX3_DP”及“VTN1_IM4”为“Inline&EQP Correlation”的子步骤。上述阶层关系可以分为更多等级。
因此，可以自动地产生、调整IC工程数据集合的使用上的提示信息，并提供给客户。上述学习模块提供自我学习机制以调整上述提示信息。
虽然以上已经公开了本发明的优选实施例，但是实施例并非用以限定本发明，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，本领域的技术人员可作各种的改变与修改，因此本发明的保护范围应以后附的权利要求限定的范围为准。
权利要求
1.一种数据检索方法，执行于一信息提供模块中，其中上述信息提供模块储存并提供制造工程数据集合，上述信息提供模块连接一网络，该方法包含上述信息提供模块从上述网络接收一第一操作；上述信息提供模块响应上述第一操作，经由上述网络提供上述工程数据集合的一部分；以及上述信息提供模块根据上述工程数据集合的上述部分的特征，自动提供引导信息，上述引导信息引导至上述信息提供模块可执行的下一操作。
2.如权利要求1所述的数据检索方法，其中，被提供的上述引导信息指向上述信息提供模块可执行的多个操作，且每一操作结合一权重。
3.如权利要求1所述的数据检索方法，其中，上述引导信息是基于一预定规则而被提供，上述预定规则包含上述工程数据集合的上述部分的上述特征与上述下一操作之间的关联信息，上述数据检索方法还包含当上述下一操作被执行时，上述信息提供模块相对地调整上述预定规则以加强上述工程数据集合的上述部分的上述特征与上述下一操作之间的关联性。
4.如权利要求3所述的数据检索方法，其中，基于被执行过的多个操作的一历史记录提供上述引导信息，上述被执行过的多个操作的其中一个关联于上述工程数据集合的上述部分的上述特征，上述数据检索方法还包含当上述下一操作被执行时，上述信息提供模块相对地调整上述历史记录以加强上述工程数据集合的上述部分的上述特征与上述下一操作之间的关联性。
5.如权利要求1所述的数据检索方法，其中，上述工程数据集合与半导体测试相关。
6.一种数据检索系统，包含一第一储存单元，连接于一网络，储存半导体制造的工程数据集合；一接口模块，连接于上述第一储存单元，通过上述网络接收第一操作并响应上述第一操作提供上述工程数据集合的一部分；以及一引导模块，连接于上述第一储存单元及上述接口模块，根据上述工程数据集合的上述部分的特征，自动提供引导信息，上述引导信息引导至上述接口模块可执行的下一操作。
7.如权利要求6所述的数据检索系统，其中，被提供的上述引导信息指向上述信息提供模块可执行的多个操作，且每一操作结合一权重。
8.如权利要求6所述的数据检索系统，还包含一第二储存单元，连接于上述引导模块，储存多个预定规则，其中，上述引导模块是基于其中一预定规则提供上述引导信息，上述预定规则将上述工程数据集合的上述部分的上述特征与上述下一操作关联在一起；以及一学习模块，连接于上述引导模块，当上述下一操作被执行时，用以相对地调整上述预定规则以加强上述工程数据集合的上述部分的上述特征与上述下一操作之间的关联性。
9.如权利要求8所述的数据检索系统，还包含一第三储存单元，连接于上述引导模块，用以储存被执行过的多个操作的一历史记录，其中，上述被执行过的多个操作的其中一个关联于上述工程数据集合的上述部分的上述特征，上述引导模块基于上述历史记录而提供上述引导信息，其中当上述下一操作被执行时，上述学习模块相对地调整上述历史记录以加强上述工程数据集合的上述部分的上述特征与上述下一操作之间的关联性。
10.如权利要求6所述的数据检索系统，还包含一第三储存单元，连接于上述引导模块，用以储存被执行过的多个操作的一历史记录，其中，上述被执行过的多个操作的其中一个关联于上述工程数据集合的上述部分的上述特征，上述引导模块基于上述历史记录提供上述引导信息。
11.如权利要求6所述的数据检索系统，还包含一分析器，连接于上述接口模块，用以自动判定上述工程数据集合的上述部分的上述特征。
12.一种数据检索系统，包含一第一储存单元，连接于一网络，储存关于一半导体制造实体执行的半导体制造的工程数据集合；一接口模块，连接于上述第一储存单元，通过上述网络接收一第一操作并响应上述第一操作通过上述网络提供上述工程数据集合的一部分，并随后通过上述网络接收一第二操作；一第三储存单元，连接于上述接口模块，用以储存在上述接口模块上执行过的多个操作的一历史记录；以及一学习模块，连接于上述接口模块及上述第三储存单元，储存上述第二操作于上述第三储存单元中，并将上述第二操作及上述工程数据集合的上述部分的上述特征关联在一起。
13.如权利要求12所述的数据检索系统，还包含一引导模块，连接于上述接口模块及上述第三储存单元，其中当上述特征被判别出来时，上述引导模块根据上述工程数据集合的上述部分的特征，基于上述第二操作与上述工程数据集合的上述部分的上述特征之间的关联信息自动地提供引导信息，其中，被提供的上述引导信息指向上述第二操作。
14.如权利要求13所述的数据检索系统，其中，当上述第二操作再次被执行时，上述学习模块相对地调整上述历史记录以加强上述工程数据集合的上述部分的上述特征与上述第二操作之间的关联性。
15.如权利要求14所述的数据检索系统，其中，当上述关联性被加强至一预定等级时，上述学习模块产生对应上述关联性的一规则，以供上述引导模块提供导向上述第二操作的引导信息。
全文摘要
一种数据检索系统及方法，执行于一信息提供模块中，其中上述信息提供模块储存并提供制造工程数据集合。上述信息提供模块连接一网络。从上述网络接收一第一操作。响应上述第一操作经由上述网络提供上述工程数据集合的一部分。根据上述工程数据集合的上述部分的特征，自动提供引导信息，上述引导信息引导至上述信息提供模块可执行的下一操作。
文档编号G06F17/30GK1983259SQ200610071088
公开日2007年6月20日 申请日期2006年3月31日 优先权日2005年12月13日
发明者廖世杰, 林水典, 林宸霆 申请人:台湾积体电路制造股份有限公司