专利名称：工程数据分析数据库的查询系统与方法
技术领域：
本发明是关于 一 种应用于数据库的查询系统与方法，尤指 一 种工程数据 分析数据库的查询系统与方法。
背景技术：
随着计算机整合制造及信息技术的发展，在晶圓制造过程中，所有可能造成产品质量变异来源的数据，均可通过工广营运管制系统(Manufacturing Execution System, MES)及自动化的协助加以收集。部分数据并可直接藉助 于MES的统计制程管制(SPC)模块，进行线上的实时监控与管制。但由于SPC 只对特殊原因所造成的变异有帮助，对于共同原因所造成的变异并无帮助， 也无法满足晶圓厂对不断提高产品质量与良率的需求。因此，晶圓厂为强化 竟争力，极需要一套结合统计方法与数据攫取技术等分析功能的线外工程数 据分析系统(Engineering Data Analysis , EDA)。在过去8吋晶圓时代，工程分析软件都是安装在工程师的个人计算机上， 工程师可用PC进行分析，较为麻烦的是碰到软件必须更新版本时，信息人 员就得全力动员到每位工程师的座位上进行安装，每月数次的例行更新，往 往就让信息人员忙碌不已，不但影响工程分析软件的开发进度，也影响到工 程师的工作效率。而进入12吋晶圓时代后，不但数据分析量暴增数百倍， 个人计算机有限的运算能力变得难以负荷，分析软件也需要随时因应制程技 术的提升而不断更新版本，各类工程师需求趋于复杂，原有信息架构已经不 敷使用。为满足晶圓厂对不断提高产品质量与良率的需求，许多晶圆厂纷纷 投入许多资源来发展解决方案。已知技术中，EDA系统主要是利用统计方法及数据攫取等技术，分析造 成良率及质量异常的原因，以协助工程人员做出必要的决策，例如停机、停 线、调整制程参数以及对异常产品的后续处理等。然而在数据进行分析、找 出生产过程中导致低良率的原因，并将此分析结果提供给晶圆厂以做为制程 上改善的同时。这些繁复的分析步骤是必须的，但往往会耗费相当多的时间 进行处理。另一方面，面对庞大的数据库，分析」搡作者如何在庞大的数据中 找到适合的参数或数据，也是另一项极具困难度的工作，费时又费力。因此，如何研发一种工程数据分析数据库的查询系统与方法，使操作者 可以最简便快速的效率获取所需的工程数据进行分析，这的确是目前此一相 关领域所需积极发展研究的目标。本发明发明人等，爰精心研究，并以其从 事该项研究领域的多年经验，遂提出本发明 一种工程数据分析数据库的查询 系统与方法，通过智能型辨识模块的导入，将工程数据分析数据库内的数据 先依部门作初步的分类后，再将数据依照该部门点选的频率来排序。可节省 工程师很多时间。其中系统会每天重新排序。藉此，使操作者可立即熟悉系 统，同时于操作者登入系统时也可依照该登录者所属部门而分类，提供操作 者最适切的实时参数及相关数据，避免时间与人力的浪费，可有效解决已知 的问题，实为一不可多得的发明。发明内容本发明的主要目的为提供一种工程数据分析数据库的查询方法，通过智 能型辨识模块的导入，将工程数据分析数据库内的数据先依部门作初步的分 类后，再将数据依照该部门点选的频率来排序。可使操作者可以最简便快速 的效率获取所需的工程数据进行分析。为达上述目的，本发明的一较广义实施样态为提供一种工程数据分析数据库的查询方法，包含下列步骤a)提供工程数据分析数据库，其内具有多笔 数据；b)将该工程数据分析数据库的多笔数据，依所属部门分类为多个部门 所属数据区；c)分别将该多个部门所属数据区，依一选用次数排序为多个部 门登录数据区；d)当操作者登录时，依该操作者所属的部门，自该多个部门 登录数据区中择一选用对应者；e)记录该操作者操作选用该多个部门登录数 据区的次数，并累计更新该多个部门所属数据区的该选用次数；以及f)于固 定周期，重复步骤c)。根据本发明构想，其中该工程数据分析数据库应用于半导体晶圆制造产 业的工程数据分析系统(Engineering Data Analysis, EDA)。根据本发明构想，其中该步骤b)及该步骤c)是通过智能型查询组件 (Intelligence Query Component)完成。根据本发明构想，其中该多笔数据均具有产品型号、批次、晶圆片号、
制程参数、制程机台、制程规格或制造步骤等字段。根据本发明构想，其中各字段均具有其所属的多个工程参数。 根据本发明构想，其中该搡作者登录时，该部门登录数据区的数据于操作者所选的字段，依该选用次数，由多至少排序其所属的多个工程参数。根据本发明构想的查询方法，还包含步骤g)于该固定周期，分别针对该多个部门所属数据区，依该选用次数，由多至少排序该多个工程参数。根据本发明构想，其中该选用次数为各该工程参数所属的选用次数。 根据本发明构想，其中该步骤g)还包含步骤gl)根据排序的该多个工程参数，产生柏拉图分析统计表。根据本发明构想，其中该步骤d)还包含步骤dl)于操作者登录后，显示该柏拉图分析统计表，用以提供该操作者参考。根据本发明构想，其中该步骤d)还包含步骤d2)显示该操作者于前次登 录时，使用该部门登录数据区的记录。根据本发明构想，其中该步骤d)还包含步骤dO)验证该操作者的登入消 息，并确认该操作者所属部门。本发明的再一目的为提供一种工程数据分析数据库的查询系统，通过智 能型辨识模块的导入，将工程数据分析数据库内的数据先依部门作初步的分 类后，再将数据依照该部门点选的频率来排序。可使操作者可以最简便快速 的效率获取所需的工程数据进行分析。为达上述目的，本发明的一较广义实施样态为提供一种工程数据分析数 据库的查询系统，包含工程数据分析数据库，其内具有多笔数据，而该多 笔数据分别具有工程参数；智能型查询组件(Intelligence Query Component),连接该工程数据分析数据库，用以将该多笔数据依所属部门分 类为多个部门所属数据区，同时再分别将该多个部门所属数据区，依一选用 次数排序成为多个部门登录数据区，其中该选用次数系因应操作者选用而累 计；以及操作者接口，连接该智能型查询组件，用以于操作者登录时，通过 该智能型查询组件，依该操作者所属的部门，自该多个部门登录数据区中择 一选用开启对应者。根据本发明构想，其中该工程数据分析数据库应用于半导体晶圆制造产 业的工程数据。根据本发明构想，其中该多笔数据可具有产品型号、批次、晶圆片号、
制程参数、制程机台、制程规格或制造步骤等字段；而该工程参数包含于该等字段之一。根据本发明构想，其中该操作者登录时，该部门登录数据区的数据于操作者所选的字段，依该选用次数，由多至少排序。根据本发明构想，其中该选用次数为各该工程参数所属的选用次数。 根据本发明构想，其中该操作者接口还于该操作者登录时，提供柏拉图分析统计表。根据本发明构想，其中该柏拉图分析统计表，为固定周期间，该使用者 所属部门的各该工程参数的该选用次数统计。
图1揭示本发明较佳实施例的一种工程数据分析数据库的查询系统。图2揭示本发明工程数据分析数据库的查询系统的另一示意图。图3揭示本发明较佳实施例的一种工程数据分析数据库的查询方法。[主要元件标号说明]11:工程数据分析数据库 12:智能型查询组件13:操作者接口 21:操作者22:栏框 23:柏拉图分析统计表S31 — S36:方法步骤具体实施方式
体现本发明特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。 应理解的是本发明能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本发明 的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非用以限制本发 明。请参阅图1,揭示本发明较佳实施例的一种工程数据分析数据库的查询 系统，包含工程数据分析数据库ll,其内具有多笔数据，而该多笔数据分 别具有工程参数；智能型查询组件(Intelligence Query Component) 12,连接该工程数据分析数据库11，用以将该多笔数据依所属部门分类为多个部门 所属数据区，同时再分别将该多个部门所属数据区，依一选用次数排序成为 多个部门登录数据区，其中该选用次数是因应操作者选用而累计；以及操作
者接口 13,连接该智能型查询组件12,用以于搡作者登录时，通过该智能型 查询组件，依该操作者所属的部门，自该多个部门登录数据区中择一选用开 启对应者。在本发明实施例中，该工程数据分析数据库11为应用于半导体晶圆制造产业的工程凄t据分才斤系统(Engineering Data Analysis ， EDA)。在该 数据库内的工程数据均取自生产制程中的制造管制系统，所以各笔数据可包 含产品型号、批次、晶圓片号、制程参数、制程机台、制程规格或制造步骤 等字段；而该工程参数则可为各个字段中所定义的分类参数。操作者依据数 据库的数据可分析出各个工程参数与良率的相关性，进而提供制程改进或质 量监控管制之用。请再参考图2,揭示本发明工程数据分析数据库的查询系统的另一示意 图。在实际应用时，当操作者21登录时，该部门登录数据区的数据于操作者 所选的字段，将该工程参数，依该选用次数，由多至少排序至栏框22供操作 者参考。当然，该操作者接口 13亦可因应操作者的请求，于该操作者21登 录时，提供柏拉图分析统计表23,其中该柏拉图分析统计表23,为固定周期 间，该使用者21所属部门的各该工程参数的该选用次数统计表。由于该查询系统通过智能型查询组件的使用，可将数据依部门作初步的 分类后，再将数据依照该部门点选的频率来排序。因此，当登录者登入系统 后，系统会依照该登录者所属部门而分类，并让该登录者在选择字段的拖拉 选单中，可看到其所属部门在两个月内点选次数由高到低的参数，并可看到 该登录者在上一次登录期间所使用到的参数，如此将可节省工程师很多时间。 其中系统会每天重新排序。通过这样的方式，也可以让公司新人更快上手， 并了解哪些参数是同部门同事所常使用到的，节省很多摸索时间。对应前述的实施态样，本发明还提供一种工程数据分析数据库的查询方 法。请参阅图3，揭示本发明较佳实施例的一种工程数据分析数据库的查询 方法。如图3与图2所示，该方法的步骤至少包含a)提供工程数据分析数据 库ll,其内具有多笔数据，如步骤S31所示，其中该工程数据分析数据库11 即为应用于半导体晶圓制造产业的工程数据分析系统(Engineering Data Analysis , EDA); b)将该工程数据分析数据库11的多笔数据，依所属部门 分类为多个部门所属数据区，如步骤S32所示；c)分别将该多个部门所属数 据区，依一选用次数排序为多个部门登录数据区，如步骤S33所示；d)当搡 作者21登录时，依该操作者21所属的部门，自该多个部门登录数据区中择
一选用对应者，如步骤S34所示；e)记录该操作者操作选用该多个部门登录 数据区的次数，并累计更新该多个部门所属数据区的该选用次数，如步骤S35 所示；以及f)于固定周期，重复步骤c),如步骤S36所示。在实际应用时，其中该步骤b)至该步骤f )主要通过智能型查询组件 (Intelligence Query Component) 12完成。同样的，在该数据库内的工程数 据均取自生产制程中的制造管制系统，所以各笔数据可包含产品型号、批次、 晶圓片号、制程参数、制程机台、制程规格或制造步骤等字段；而该工程参 数则可为各个字段中所定义的分类参数。操作者依据数据库的数据可分析出 各个工程参数与良率的相关性，进而提供制程改进或质量监控管制之用。事 实上，在晶圓生产的工厂中，工程师们每周于工程数据分析系统EDA数据库 查询选择参数次数均为8000次。若以抓取分析CD量测数据为例，该CD量 测数据共计有IO项QC工程参数。在实际抽样调查5位工程师后可发现，以 已知技术接口进行搜寻所需的时间，平均每次操作共需53.2秒。然而引用 本发明系统与方法所进行搜寻所需的时间则为7. 5秒。所以引用本发明技术， 平均每次查询差异为45. 7秒。就直接效益而言，每年约可节省(或缩短)工程 师问题处理时间=(52*8000*45. 7)/(60*60*8*22)=30人/月。另一方面，各部 门的查询统计数据定期(一般产品周期为二个月)可以更一进输出，以提供R&D 或其它单位作为改善制程参考用。再者，就间接效益而言，处理时间的缩短，将更可以高利用率的手段，快速解决制程问题。如此，自然可提高产品良率， 并快速将产品导入市场。综上所述，本发明提供一种工程数据分析数据库的查询系统，通过智能 型辨识模块的导入，将工程数据分析数据库内的数据先依部门作初步的分类 后，再将数据依照该部门点选的频率来排序。可使操作者可以最简便快速的 效率获取所需的工程数据进行分析，大量的减少操作者对工程问题的处理时 间。另一方面，处理时间的缩短，将有利制程问题的解决，自然也可降低生 产成本、提高产品生产良率，此为已知技术无法达成。本发明技术具有实用 性、新颖性与创造性，爰依法提出申请。纵使本发明已由上述的实施例详细叙述而可由本领域技术人员任施匠思 而为诸般修饰，然皆不脱如所附权利要求范围所欲保护者。
权利要求
1.一种工程数据分析数据库的查询方法，包含下列步骤a)提供工程数据分析数据库，其内具有多笔数据；b)将该工程数据分析数据库的多笔数据，依所属部门分类为多个部门所属数据区；c)分别将该多个部门所属数据区，依选用次数排序为多个部门登录数据区；d)当操作者登录时，依该操作者所属的部门，自该多个部门登录数据区中择一选用对应者；e)记录该操作者操作选用该多个部门登录数据区的次数，并累计更新该多个部门所属数据区的该选用次数；以及f)于固定周期，重复步骤c)。
2. 根据权利要求1所述的查询方法，其中该工程数据分析数据库应用于 半导体晶圆制造产业的工程数据分析系统。
3. 根据权利要求1所述的查询方法，其中该步骤b)及该步骤c)是通过 智能型查询组件完成。
4. 根据权利要求1所述的查询方法，其中该多笔数据均具有产品型号、 批次、晶圓片号、制程参数、制程机台、制程规格或制造步骤等字段。
5. 根据权利要求4所述的查询方法，其中各字段均具有其所属的多个工 程参数。
6. 根据权利要求5所述的查询方法，其中该操作者登录时，该部门登录 数据区的数据于操作者所选的字段，依该选用次数，由多至少排序其所属的 多个工程参数。
7. 根据权利要求5所述的查询方法，还包含步骤g)于该固定周期，分 别针对该多个部门所属数据区，依该选用次数，由多至少排序该多个工程参数。
8. 根据权利要求7所述的查询方法，其中该选用次数为各该工程参数所 属的选用次数。
9. 根据权利要求7所述的查询方法，其中该步骤g)还包含步骤gl)根据 排序的该多个工程参数，产生柏拉图分析统计表。
10. 根据权利要求9所述的查询方法，其中该步骤d)还包含步骤dl)于 搡作者登录后，显示该柏拉图分析统计表，用以提供该操作者参考。
11. 根据权利要求1所述的查询方法，其中该步骤d)还包含步骤d2)显 示该操作者于前次登录时，使用该部门登录数据区的记录。
12. 根据权利要求1所述的查询方法，其中该步骤d)还包含步骤dO)验 证该操作者的登入消息，并确认该操作者所属部门。
13. —种工程数据分析数据库的查询系统，包含工程数据分析数据库，其内具有多笔数据，而该多笔数据分别具有工程 参数；智能型查询组件，连接该工程数据分析数据库，用以将该多笔数据依所 属部门分类为多个部门所属数据区，同时再分别将该多个部门所属数据区， 依一选用次数排序成为多个部门登录数据区，其中该选用次数是因应操作者 选用而累计；以及操作者接口，连接该智能型查询组件，用以于操作者登录时，通过该智 能型查询组件，依该操作者所属的部门，自该多个部门登录数据区中择一选 用开启对应者。
14. 根据权利要求13所述的查询系统，其中该工程数据分析数据库应用 于半导体晶圓制造产业的工程数据。
15. 根据权利要求13所述的查询系统，其中该多笔数据可具有产品型号、 批次、晶圆片号、制程参数、制程机台、制程规格或制造步骤等字段；而该 工程参数包含于该等字段之一。
16. 根据权利要求15所述的查询系统，其中该操作者登录时，该部门登 录数据区的数据于操作者所选的字段，依该选用次数，由多至少排序。
17. 根据权利要求13所述的查询系统，其中该选用次数为各该工程参数 所属的选用次数。
18. 根据权利要求17所述的查询系统，其中该操作者接口还于该操作者 登录时，提供柏拉图分析统计表。
19. 根据权利要求18所述的查询系统，其中该柏拉图分析统计表，为固 定周期间，该使用者所属部门的各该工程参数的该选用次数统计。
全文摘要
本发明是揭露提供一种工程数据分析数据库的查询系统与方法。其中该方法的步骤包含a)提供工程数据分析数据库，其内具有多笔数据；b)将该工程数据分析数据库的多笔数据，依所属部门分类为多个部门所属数据区；c)分别将该多个部门所属数据区，依选用次数排序为多个部门登录数据区；d)当操作者登录时，依该操作者所属的部门，自该多个部门登录数据区中择一选用对应者；e)记录该操作者操作选用该多个部门登录数据区的次数，并累计更新该多个部门所属数据区的该选用次数；以及f)于固定周期，重复步骤c)。
文档编号G06F17/30GK101118618SQ20061010842
公开日2008年2月6日 申请日期2006年8月2日 优先权日2006年8月2日
发明者乐庆莉, 何煜文 申请人:力晶半导体股份有限公司