专利名称：半导体制造的数据追踪方法与系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体制造的数据追踪方法与系统，特别是涉及一种半 导体制造中利用数据仓储的子母分批追踪的方法与系统。
背景技术：
半导体的晶片制造主要包括产生新批的分批作业(Split Lot)、将母/ 子批或同产品合并的并批作业(Merge Lot)、判定重工流程的重工作业 (Rework Lot)等操作。
在分批作业处理中，子母分批追踪方法(Split Lot Tracking)是半导 体厂内生产控制与工艺分析过程中相当基本且重要的工作。现行技术是建立 一个批量历史数据表格(Lot History Table),并且利用晶片处理当时的 批号(Lot — ID)与站点(Ope—No)当作主键(Primary Key)。在每一笔数 据中，批号(Lot —ID)中存放的是实际分批后的子批号。部分工艺处理系统 的数据库设计会利用反正规化的技术再加上前一站的批号来执行追踪处理， 但因为每一站点会产生近千笔数据，故无法在单一笔数据中记录所有分批的批号。
如图3所示，批量历史数据表格100显示目前晶片处理的批号与站点， 其定义了 一批量关键号(Lot—Key—No )与一前 一 批量关键号 (PRE—Lot—Key—No )。该前一批量关4建号为一反向指标(Backward Pointer )， 用以指向该批量关键号，当要查询某一子批量时，则必须根据该前一批量关 键号指向的该批量关键号，往前一批量历史数据表格搜寻。
另外，如图4所示，包括一主要(Master )批量表格210与一从属(Slave ) 批量表格220,其是显示目前晶片处理的批号与站点，且在从属批量表格220 中定义了一批号(Lot-ID)与一终端批号(TERMINALLOT-ID)。该批号指向 该终端批号，用以表示目前批量(对应该批号的批量)的子批量(对应该终 端批号的批量)。同样地，当要查询某一子批量时，则必须根据该批号与该 终端批号，往前一批量历史数据表格搜寻。
因此，每当在查询凄史净居库中的完整分杀匕记录时，必须用递归(Recursive ) 的方式重复读取前一站的批号， 一直查询到源头数据为止，使得当要查询其 中一笔分批记录时，可能需要查询近千次才可取得所欲数据。上述查询方式 既复杂且緩慢，影响线上控制与分析效率甚巨。
因此，本发明提出了一种半导体制造中利用数据仓储的子母分批追踪的 方法，可快速且详细地查询到所需的生产数据。
发明内容
基于上述目的，本发明实施例披露了一种数据追踪方法。读取一晶片批 量的分批历史数据，并且判断是否读取到该晶片批量的分批数据尾端。若未 读取到该晶片批量的分批数据尾端，则决定该晶片批量在执行一分批处理时 所需的一最大分批次数。根据该最大分批次数与目前分批次数决定目前站点 所需建立的虚拟子批数，并且根据该所需建立的虚拟子批数建立一目前站点 的至少一虚拟子批。复制该虚拟子批的源头批量的工艺数据，以及当建立完 该站点的该虚拟子批后，继续建立下一站点的虚拟子批。
本发明实施例还披露了 一种数据追踪系统，包括一批数计算单元与一虚 拟子批建立单元。该批数计算单元读取一晶片批量的分批历史数据，并且判 断是否读取到该晶片批量的分批数据尾端。若未读取到该晶片批量的分批数 据尾端，则决定该晶片批量在执行一分批处理时所需的一最大分批次数。该 虛拟子批建立单元根据该所需建立的虚拟子批数建立一目前站点的至少一 虚拟子批，并且复制该虚拟子批的源头批量的工艺数据。
图1显示本发明实施例的数据追踪方法的步骤流程图。 图2显示本发明实施例的数据追踪系统的步骤流程图。 图3显示批量历史数据表格100。
图4显示主要(Master )批量表格210与一从属(Slave )批量表格220。 图5显示本发明实施例的虚拟批量历史数据表樹Virtual Reality ( VR )
Lot History Table) 320。以及
图6显示本发明实施例的三角形410中的批量历史数据和三角形420中
的批量历史数据。
附图符号说明
500 -数据追踪系统 510-批数计算单元 520 -虚拟子批建立单元
具体实施例方式
为了使本发明的目的、特征、及优点能更明显易懂，下文特举较佳实施 例，并结合附1~图6，做详细的说明。本发明说明书提供不同的实施 例来说明本发明不同实施方式的技术特征。其中，实施例中的各组件的配置 是为说明之用，并非用以限制本发明。且实施例中附图标号的部分重复，是 为了简化说明，并非意指不同实施例之间的关联性。
本发明实施例披露了 一种半导体制造的数据追踪方法与系统。
参考图5,在本发明实施中，除了原本的批量历史数据表格(Lot History Table)310,另外设计了 一个虚拟批量历史数据表格(Virtual Reality ( VR ) Lot History Table) 320。以下先说明每一表格中的参数
分批历史数据(Split—History)包括分批后批号(Cur—Lot_ID)、分 批前批号(Prev—Lot —ID)与分批时间(Claim—Time)等参数。
批量历史数据表格310是存放每一批晶片在每一工艺站执行的历史数据 (Lot —History ),其定义了批号(Lot —ID)、站点(0pe_No )、该站完成 时间(Move—Out—Time )与当时批量(Move_0ut_Waf er—Cnt )等参数，并且 包括其它相关生产历史数据(例如执行机台、批量、员工代号、生产参数... 等等)。
虚拟批量历史数据表格320定义了批号(Lot — ID)、站点(Ope—No)、 对应执4亍站点该站完成时间(Move—Out-Time)、对应IM亍站点当时的原始 批号(0rg—Lot — ID )、对应执行站点当时的批号的批量(Move—Out-Wafer-Cnt) 等参数，并且包括其它相关生产历史数据(如执行机台、批量、员工代号、 生产参数…等等)。
虚拟批量历史数据表格320内的数据会在每次执行分批作业时，复制此 一子批在分批当站之前所有站点的详细作业数据，并附上原始的批号 (Org—LoUlD),而事实上该子批并未在之前的站点执行过。
再参考图6,三角形410中的批量历史数据表示某一批晶片从第一站 第七站(Stepl St印7),在经过分批作业后所得的实际生产历史数据 (Lot—History)。三角形420中的批量历史数据表示对应实际生产数据所 产生的虛拟生产数据(VR—Lot-History),其中每一虚拟子批数据附加一源 头批量代号，表示站实际执行时的批号。举例来说，在第一站时，实际作业 时是以批量A操作，故其子批批量A. 1及A. 2为虚拟子批，且虚拟子批的批 量数据与批量A相同。并附加一源头批量代号A,即表示该站实际执行时是 以批量A操作，批量A. 1及A. 2并未操作该站。另外，在第3站时，批量A 已分批产生批量A. 1，故其子批批量A. 2为虚拟子批，且批量A. 2的批量数 据与批量A. l相同。批量A. 2附加一源头批量代号A. 1,即表示该站实际执 行时是以批量A. l操作。以此类推，即可在查询时，快速地找到每一子/母 批完整的历史数据。
此外，如前文所述，除了分批处理外，晶片批量亦在分批后执行并批处 理，而其虚拟子批的产生与上述流程相同。
图1显示本发明实施例的数据追踪方法的步骤流程图。
首先，读取某一晶片批量的分批历史数据(Split—History)(步骤S1 )， 然后判断是否读取到该晶片批量的分批数据尾端(End of File, EOF)(步 骤S2)。若是，表示该晶片批量并未执行分批处理，则结束本流程。若否， 则决定该晶片批量在执行一分批处理时所需的最大分批次数(步骤S3 )。举 例来说，如图6所示，该晶片批量在七个站点执行了七道工艺，其最大分批 次数为2,故虚拟晶片子批最多只需建立至A. 2即可。
接下来，根据该最大分批次数与目前分批次数决定目前站点所需建立的 虚拟子批数(步骤S4)。举例来说，如图6所示，在第四站中，批量A已具 有一子批A. 1，故其只需再建立一虛拟子批。接着，根据该所需建立的虚拟 子批数建立目前站点的虛拟子批(步骤S5 ),并且复制该虚拟子批的一源头 批量的工艺数据(步骤S6)。举例来说，如图6所示，在第四站中，若晶片 批量A原本有25片晶片，子批A. 1经由分批取得15片晶片，则虚拟子批A. 2 亦为15片晶片且具有与子批A. 1相同的工艺信息。当建立完该站点的虚拟 子批后，回到步骤S1继续建立下一站点的虚拟子批。
图2显示本发明实施例的数据追踪系统的步骤流程图。
本发明实施例的数据追踪系统500具有一批数计算单元510与一虚拟子
批建立单元520。
批数计算单元510读取某一晶片批量的分批历史数据，然后判断是否读 取到该晶片批量的分批数据尾端。若是，表示该晶片批量并未执行分批处理， 则结束本流程。若否，则决定该晶片批量在执行一分批处理时所需的最大分 批次数。接下来，根据该最大分批次数与目前分批次数决定目前站点所需建
立的虚拟子批数。虚拟子批建立单元520根据该所需建立的虚拟子批数建立 目前站点的虛拟子批，并且复制该虚拟子批的一源头批量的工艺数据。
本发明实施例的数据追踪方法建立对应实际晶片批量的虚拟子批量，并 且每一子批量复制其源头批量的工艺相关信息，以详细追踪并控制所有子母 批的生产数据，并且可节省大量的查询时间。
虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然其并非用以限定本发明，本领 域的技术人员在不脱离本发明的精神和范围的前提下可作各种的更动与润 饰，因此本发明的保护范围以本发明的权利要求为准。
权利要求
1.一种数据追踪方法，包括下列步骤读取一晶片批量的分批历史数据；判断是否读取到该晶片批量的分批数据尾端；若否，根据该所需建立的虚拟子批数建立一目前站点的至少一虚拟子批；复制该虚拟子批的源头批量的工艺数据；以及当建立完该站点的该虚拟子批后，继续建立下一站点的虚拟子批。
2. 如权利要求1所述的数据追踪方法，其还包括若未读取到该晶片批量 的分批数据尾端，则决定该晶片批量在执行一分批处理时所需的一最大分批 次数。
3. 如权利要求2所述的数据追踪方法，其还包括根据该最大分批次数与 目前分批次数决定目前站点所需建立的虚拟子批数。
4. 一种凄t据追踪系统，包括一批数计算单元，其读取一晶片批量的分批历史数据，并且判断是否读 取到该晶片批量的分批数据尾端；以及一虛拟子批建立单元，若未读取到该晶片批量的分批数据尾端，其根据 该所需建立的虚拟子批数建立一目前站点的至少一虚拟子批，并且复制该虚 拟子批的源头批量的工艺数据。
5. 如权利要求4所述的数据追踪系统，其中，若未读取到该晶片批量的 分批数据尾端，该批数计算单元还决定该晶片批量在执行一分批处理时所需 的一最大分批次数。
6. 如权利要求5所述的数据追踪系统，其中该批数计算单元还根据该最 大分批次数与目前分批次数决定目前站点所需建立的虚拟子批数。
7. —种储存媒体，用以储存一计算机程序，上述计算机程序包括多个程 序代码，其用以加载至一计算机系统中并且使得上述计算机系统执行一种数 据追踪方法，包括下列步骤读取一晶片批量的分批历史数据； 判断是否读取到该晶片批量的分批数据尾端；若否，根据该所需建立的虚拟子批数建立一目前站点的至少一虚拟子 批；复制该虚拟子批的源头批量的工艺数据；以及 当建立完该站点的该虛拟子批后，继续建立下一站点的虚拟子批。
8. 如权利要求7所述的储存媒体，其还包括若未读取到该晶片批量的分 批数据尾端，则决定该晶片批量在执行一分批处理时所需的 一最大分批次数。
9. 如权利要求8所述的储存媒体，其还包括根据该最大分批次数与目前 分批次数决定目前站点所需建立的虚拟子批数。
全文摘要
一种数据追踪方法。读取一晶片批量的分批历史数据，并且判断是否读取到该晶片批量的分批数据尾端。若未读取到该晶片批量的分批数据尾端，则决定该晶片批量在执行一分批处理时所需的一最大分批次数。根据该最大分批次数与目前分批次数决定目前站点所需建立的虚拟子批数，并且根据该所需建立的虚拟子批数建立一目前站点的至少一虚拟子批。复制该虚拟子批的源头批量的工艺数据，以及当建立完该站点的该虚拟子批后，继续建立下一站点的虚拟子批。
文档编号G06Q10/00GK101118617SQ20061010840
公开日2008年2月6日 申请日期2006年8月2日 优先权日2006年8月2日
发明者何煜文, 刘姿秀 申请人:力晶半导体股份有限公司