技术编号:6560427
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体制造的数据追踪方法与系统,特别是涉及一种半 导体制造中利用数据仓储的子母分批追踪的方法与系统。背景技术半导体的晶片制造主要包括产生新批的分批作业(Split Lot)、将母/ 子批或同产品合并的并批作业(Merge Lot)、判定重工流程的重工作业 (Rework Lot)等操作。在分批作业处理中,子母分批追踪方法(Split Lot Tracking)是半导 体厂内生产控制与工艺分析过程中相当基本且重要的工作。现行技术是建立 一个批量...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。