主要服务器架构连网布置及其方法

专利名称：主要服务器架构连网布置及其方法
主要服务器架构连网布置及其方法
背景技术：
等离子处理的进步为半导体工业的增长做好了准备。随着制 造商试图在半导体工业中保持竟争力，等离子处理持续发展。为了 具有竟争力，制造商必须访问海量数据以保养和维护其工具和/或查 找可能出现的问题。在处理期间，可以收集数据(如，气体类型、温度、处理时 间、电压、压力等)。通常，为每个^皮处理的基片收集的ft据可以 先存储在工具层面。由于工具只具有有限的存^f诸能力，所以这些数 据要转送到服务器进行存储。这些数据可以一直存储在服务器直到 需要这些数据进行分析。在通常半导体环境中，制造商可具有多个连接到多个服务器 的工具，如图1所示。对于这个半导体环境，由每个工具(工具l、 工具2、工具3、工具4、工具5和工具6)收集的lt据可以存^f诸在月良 务器104或服务器106上。在一个示例中，服务器104可与工具组合 108关联。工具组合108可包括工具1、工具2和工具3。类似地，月良务 器106可与工具组合110关Jf关，其可包纟舌工具4、工具5和工具6。服务器104和服务器106可具有各种各样用来存储和/或检索 数据的才莫块，如图2所示。在一个示例中，基片处理期间由工具组 合108的工具1收集的数据可转送到服务器104。月良务器104中，数据 可首先存储在存储器206 (如，磁盘存储器，等)中。然后编索引
7应用禾呈序204 (如，Lam AutoArchiver)可对存4诸在存4诸器206的凄丈 据々文索引并且将加索引的数据存储在凄t据库208中。在另 一示例中，在基片处理期间由工具《且合110的工具6收集 的数据可转送到服务器106。服务器106中，这些数据首先存储在存 4诸器222 (如，》兹盘存4诸器，等)。然后编索引应用程序220 (如， Lam AutoArchiver )可对存储在存储器222的数据做索引并将力。索引 的数据存储在数据库224中。^t据库208和224是完整的凝:据库管理系统的示例(如， Microsoft SQL Server, Oracle,等)，能够处J里基片处理^月间收集到 的不同类型的数据。数据库208和224可分别对存储在服务器104和 106的凄丈据估夂索引。图3示出为数据库208做索引的示例。数据文件(其可存储在 本地存储器206中)可包括多个数据文件，包括数据文件302a、 302b、 302c 等 。文 4牛 ^各 4至 308 ,侈'J ^口
引存储在数据库208中。在这个示例中，模块可称为工具模块(如， 处理模块，转移纟莫块等)。并且，类型可包括，例如，数据批号(lot) 文件、批号历史文件、光谱文件等。除了对文件路径308做索引，存储在每个数据文件中的数据 也可以编索引并且存^f诸在数据库208中。在一个示例中，凄t据库208 还可对下列事项编索引模块310(如，处理才莫块、转移模块等)， 工具312 (工具的名称和/或工具的识别号)，制法314 (用来处理基 片的制法)，批号编号316 (已经处理过的基片的批号的编号)，开 始时间318 (处理开始时间)，基片ID320 (基片的编号)等。
8[9]回头参照图2，为了用户能够检索数据文件，用户必需能够
定位数据文件的存储位置。 一种用户能够定位^:据文件的方法是记 住数据文件存储在哪里。然而，如图3所示，^t据文件的^各径^艮长 并且难以记忆。因此，依靠用户的记忆来定位数据文件是不现实的， 尤其是如果数据是在几个星期甚至几个月之前存储的。并且，需要 数据的用户可能与存储数据的不是同 一人。为了 <更于查4戈过禾呈，4欠4牛(廿口 Lam DataExplorer ， Lam Research Corporation, Fremont, California )可用来查找该数据文件。 即使利用软件(如Lam DataExplorer ),用户仍然需要在每个服务器 上挖掘大量的数据文件以找到该用户为了进行分析所需要的确切 的tt据文件。考虑这种情况，其中，例如，工具6在2006年6月IO处理期 间，收集多个数据并且存储在服务器106上。两个月后，发现问题 并要分析这个问题，就需要检索工具6的2006年6月10日的数据。为 了检索数据，操作计算机102的用户必须辨明数据的存储位置。首先，用户可在服务器104上查找所需的数据文件。为了查 找该数据文件，用户可用开方文数据库连接(ODBC)应用程序才莫块 214作为接口来把关于存储在数据库208上的数据的索引信息查找 一遍。如果数据存储在本地存储器206上，那么用户能够通过FTP 服务器216从存储器2064企索该数据文件216。在这个示例中，该数 据文件没有存储在服务器104上。由于该数据文件没有存储在服务器104上，那么用户可接着 查找l艮务器106。类似地，为了查找该数据文件，用户可用ODBC 应用程序才莫块232作为接口来4巴关于存储在数据库224上的数据的 索引信息查找一遍。如果数据存储在本地存储器222上，那么用户 能够通过FTP服务器230从存储器222检索该数据文件。
9[14]服务器104和服务器106还可包括额外的模块。这些模块使 得用户能够操作web浏览器计算机202 (如，Lam ReportBrowser,
操作web浏览器计算机202的用户想检索数据文件。用户可使用Web 应用程序218访问存储在可/人web访问的(web-prepared )凄史据库212
数据库208提取并且由导入应用程序210转变为web格式。类似地， 服务器106可包括web应用程序234、可乂人web访问的数据库228和导 入应用程序226。现有的存储和检索数据的架构布置有几个缺点。在一个示 例中，用户要跟踪该数据文件的位置。如果用户不能够这样做，那 么用户必须花费相当多的时间来4巴每个月良务器上的太多的凄t据文 件查找一遍，以定位和检索所需的数据文件。这个定位凄t据文件的 方法太^^时间并且如果用户在大型并且复杂的环境中工作会^f艮沮 丧。
fl6]并且，运行完全的数据库管理系统的成本也变得非常贵。 第一，需要支付昂贵的许可证费。并且，必须提供昂贵的具有足够 处理能力的计算4几石更件以1更适应完全的数据库管理系统所要求类 型的处理。在现有的架构布置中，每个服务器必须运行它自己的完 全数据库管理系统。因此，在多个服务器上运4亍多个数据库的成本 又亍于拥有具有多个月良务器的网纟各基础"i殳施(network infrastructure ) 的公司来说会快速增长。

发明内容
在一个实施例中，本发明涉及一种用于执行数据收集和分 析中至少一个的布置，该凄t据来自配置为处理一组基片的工具组 合。该布置包括多个工具。该多个工具中至少一个工具具有用于处理该组基片中至少一个的室。该布置还包^:多个次级月良务器，配置
为收集来自该多个工具的传感器数据。该多个次级服务器的每个配 置为执行数据编索引应用程序。该布置进一步包括主要服务器，与 该多个次级服务器可通信连接。该主要服务器是配置为执行数据库 管理系统。在转送至该主要月良务器以由该数据库管理系统4吏用之 前，使用该多个次级月良务器上的多个编索引应用程序将该传感器凄史 据编索引。编索引传感器数据项目配置为至少将该传感器数据项目 与该传感器数据项目所存储的服务器标识相关写关。在另一实施例中，本发明涉及一种^U亍数据收集和分析中
至少一个的方法，该凄t据来自配置为处理一组基片的工具组合。该 方法包括从多个工具收集传感器数据。该多个工具中至少一个工具 具有用于处理该组基片中至少一个的室。该方法还包4舌爿寻该传感器 数据发送至多个次级服务器。该方法进一步包4舌通过利用在该多个 次级服务器上的多个编索引应用程序对该传感器数据编索引以获 得加索引的数据。对传感器数据项目编索引配置为至少将该传感器 数据项目与该传感器数据项目所存储的服务器的标识相关联。该方 法又包括将该加索51的数据转送至主要服务器，其配置为与该多个 次级服务器可通信连接并且配置为执行凄t据库管理系统。在又一实施例中，本发明涉及一种冲丸行数据收集和分析中 至少一个的计算机实现的方法，该数据来自配置为处理一组基片的 工具组合。该计算机实现的方法包括收集来自多个工具的传感器数 」據。该多个工具中至少一个工具具有用于处理该组基片中至少一个 的室。该计算机实现的方法还包括将该传感器数据传送至多个次级 服务器。该计算机实现的方法进一 步包括在该多个次级月良务器存储 该传感器lt据。该计算才几实现的方法还进一步包括通过应用在该多 个次级月良务器上的多个编索引应用程序对该传感器数据编索引。对 传感器ft据项目编索引配置为至少将该传感器tt据项目与该传感
ii器数据项目所存储的服务器的标识相关联。该计算机实现的方法又 进一步包括将该传感器数据的索引转送到主要服务器，其配置为与 该多个次级月l务器可通信连4妄并且配置为寺丸4亍^t据库管理系统。上面的概述4又涉及这里公开的本发明许多实施例的 一个并 且不是为了限制本发明的范围，在这里该范围在权利要求中阐述。 本发明的这些和其他特征将在下面的具体描述中结合附图更详细
地说明。


在附图中，本发明作为示例而不是作为限制来说明，其中 类似的参考标号指出相似的元件，其中图1示出现有技术的架构布置，其中多个工具可连接到多个
服务器。图2示出一个服务器上可以存在不同模块的现有技术示例。 [20]图3示出编索引的现有才支术示例。图4示出本发明的一个实施例中的架构网络布置，其中主要 服务器连接到多个次级服务器。图5示出，在一个实施例中，可位于每个服务器中的不同模 i夹的示例。图6示出，在本发明的一个实施例中，解释主要服务器架构 网络布置的索引凄t据库的示例。
12[24]图7示出，在本发明的一个实施例中，说明在主要服务器架 构连网布置中检索数据文件的步骤的简化流程图。
具体实施方式
[29]现在将4艮据其如在附图中i兌明的几个实施方式来具体描述 本发明。在下面的描述中，阐述许多具体细节以^提供对本发明的彻 底理解。然而，对于本4页i或」技术人员，显然，本发明可不利用这些 具体细节的一些或者全部而实施。在有的情况下，7>知的工艺步骤 和/或结构没有说明，以避免不必要的混淆本发明。[30]这里描述了各种实施例，包括方法和l支术。应当记住，本 发明还覆盖包括计算机可读介质的制造品，在该介质上存储有用于 实施该创新性技术的实施例的计算机可读指令。该计算机可读介质 可包括，例如，半导体、光磁、光学或其他形式的用于存储计算机 可读代码的计算才几可读介质。进而，本发明还^隻盖净丸行本发明的i殳 备或系统。这种设备包括专用和/或可编程电路以执行与本发明实施 例有关的操作。这种设备的示例包括适当编程的通用目的计算机和 /或专用计算装置，并且包括计算机/计算装置和适于与本发明实施 例有关的各种操作的专用/可编程电路的组合。[31]按照本发明一个方面，这里发明人实现了不必用多个数据 库管理系统来管理可能位于多个服务器上的多个数据文件。而是， 发明人通过》f改索引-数据库和通过重新配置该网络基础设施来实 现它，可以建立更简单的、更灵活的和处理能力更强的网络布置， 其可以简化查找过程、更加友好并且降^氐总的成本。[32]按照本发明的实施例，主要服务器架构连网布置提供在包 括主要服务器和多个次级服务器的网络基础设施中。本发明的实施 例包括在多个服务器上存储多个数据文件，以及对这些H据文件编13索引，然后将加索引的数据保存在位于该主要服务器的索引数据 库。本发明的实施例^是供通过在单个用户界面输入一个或多个4叟索 条件来4企索该ft据文件的方法。[33]在本发明的一个实施例中，该主要服务器包括数据库管理 系统(如，Microsoft SQL Server, Oracle,等)，其可以配置为管理 存储在多个服务器上的该多个数据文件的加索引的数据。该主要月良 务器可连接到多个次级服务器。[34]在本发明的一个实施例中，该主要和该次级服务器包括用 于存储多个数据文件的存储器，这些文件从多个工具转送来。在一 个实施例中，该多个工具和该多个服务器之间的关系通过总编索可I 应用程序配置和管理，该程序可位于主要服务器上。 一旦建立该关 系，将该关系转送到多个乂人编索引应用程序。这个主-从索引布置能 够将该多个服务器的多个工具的配置统一在单个月良务器上而不是 分布在该网络基础设施中各种不同的服务器上。结果，可在单个位 置管理增加或取出服务器/工具的过程。[35]在本发明的一个实施例中，在该多个工具收集的多个数据 文件可转送到多个服务器。 一旦将数据文件存储在服务器上，本地 编索引应用程序可对这些^:据文件内的凄丈据编索引。与现有才支术不 同，加索引的数据不是存储在本地数据库管理系统。而是，该加索 1的数据转送到位于主要服务器的集中的数据库管理系统。[36]通过将该凄t据库管理系统设在该主要服务器而不是每个服 务器上，可以实现成本节约。在一个示例中，这个^^司可能没有购 买在每个服务器上提供数据库的许可。并且，大多数服务器只需要 有低级別处理器，因为次级服务器并不部署密集的数据库管理系统。[37]在本发明的一个实施例中，web服务器部署在该主要服务器 架构布置中。因此，又可以实现额外的成本降4氐，因为从web访问 加索引的^:据现在可以集中而不是在多个月良务器上分布(如图2的 现有技术所示)。[38]在本发明的一个实施例中，提供用以定位和/或检索数据文 件的方法。考虑这种情况，其中，例如，用户想4金索关于工具1在5 个月前处理的基片的凄t据文件。现有冲支术中，定位所需l丈据文件的 任务需要很长时间并且是费劲的任务，需要用户投入相当多的时间 来查找多个服务器以便定位该数据文件。与现有4支术不同，该创新 性的主要服务器架构连网布置使得用户能够只是输入一组搜索条 件。利用这些搜索条件，该主要服务器可访问加索引的数据库以找 到该数据文件的位置(如，文件数据路径和服务器名称)。 一旦辨 明该数据文件的位置，那么用户就很容易检索该数据文件。在一个 实施例中，查找和一企索该数据文件的过程可以是自动的。[39]利用该主要月良务器架构连网布置，不再需要用户记住或者 理解该网络基础设施以定位所需的数据文件。因此，该多个工具和 该多个服务器之间的关系现在可对用户透明。[40]参照下面的附图和讨论，将更好地理解本发明的特征和优点。[41]图4示出，在本发明的一个实施例中， 一种架构网络布置， 其中一个主要服务器连接到多个次级服务器。在这个架构网络布置 中， 一个主要月良务器404连接到多个次级月良务器(406和408)。在一 个实施例中，主要月良务器404与多个次级月良务器(406和408)的一 个或多个i殳在相同位置。在一个实施例中，主要月良务器404i也理上 远离该多个次级服务器(406和408)。在一个示例中，主要服务器 404设在制造商的总部，而该多个次级服务器(406和408)设在工15厂。在一个实施例中，主要服务器404和多个次级服务器(406和408)通过互Jf关网互相作用。[42]类似现有技术，每个服务器(主要和次级服务器)可包括 用于存^f诸由这些工具(如，工具l、工具2、工具3、工具4、工具5、 工具6、工具7、工具8、工具9等)收集的^:据文件的存^f诸空间。在 一个示例中，由工具组合410 (工具l、工具2和工具3)收集的凄t才居 (如，传感器数据)可存储在服务器406上，工具组合412(工具4、 工具5和工具6)收集的数据可储存在主要服务器404,以及工具组 合414 (工具7、工具8和工具9)收集的数据可存储在服务器408上。 注意，工具组合中的每个工具不必将它的数据存储在同 一服务器 上。并且，工具不必一直将其数据文件存储在同一服务器上。[43]然而，与现有才支术不同，该完全数据库管理系统不是部署 在所有的服务器上。而是，在一个实施例中，该完全数据库管理系 统由主要服务器404部署。考虑这种情况其中，例如，操作计算机 402的用户想定位由工具1在2006年8月9日处理的基片04的数据文 件。不是查找每个服务器直到定位该数据文件，而是操作计算机402 的用户先连接主要服务器404以查找该数据文件。主要服务器404会 查找其索？ 1数据库以找到该数据文件的文件路径。利用这个文件路 径，该用户可以快速定4立所需的凝::悟文件。[44]主要服务器404以及次级服务器406和408包括能够使这些服务器彼此交互以存储数据和检索数据的不同模块。图5示出，在 一个实施例中，可在每个服务器中设置的不同才莫块的示例。[45]为了将每个工具连接至服务器，每个服务器必须配置为接 受来自每个工具的信息。将每个工具单独地配置至一个或多个服务器的过程是时间长并且单调的过程。为了简化这个过程，可在一个 实施例中实现主-从编索引布置，。在主-从编索引布置中，在主要服16务器404的编索引应用程序526设为主才莫式，而其他编索引应用程序 510和528设为从模式。也就是说，总编索引应用程序526可以配置 每个工具如何与每个服务器关联。 一旦在总编索引应用程序526上 建立该配置，那么这些工具和这些月良务器之间的关系将转送至该乂人 编索引应用禾呈序510和528。[46]如前所述，每个服务器(主要服务器404、次级服务器406 和408 )可包括存储位置(存储器550、存储器552和存储器554 ),其可用来存储由工具转送来的数据文件。接受这些数据文件后，该 编索引应用考呈序(如，Lam AutoArchiver )可对该凄史才居文ff编索引。 在一个示例中，在基片处理期间由工具组合410的工具1收集的数据 可转送到服务器406以存储在存储器550上(如，磁盘存储器，等)。 编索引应用程序510然后可对该凄t据文件编索引。 一旦完成对该数 据文件编索引，该加索引的数据将转送至位于主要服务器404的索 引数据库522。[47]与现有4支术不同，完全^:据库管理系统(如索引^t据库522 ) 不必在每个服务器上部署。而是，该数据文件可由本地编索引应用 程序编索引，该信息可发送至集中式数据库。在一个实施例中，该 主要服务器架构连网布置使得单个完全数据库管理系统能够支持 多个服务器和多个工具。因此，可以降低部署完全凄t据库管理系统 的成本，因为公司不必支持多个完全数据库管理系统。进而，由于 该主要服务器架构连网布置中的大多数服务器不必部署完全数据 库管理系统，所以也可以大大降低硬件的成本，因为大多数服务器 可以不用配置具有强大处理能力的昂贵的计算枳^更件。[48]图6示出，在本发明的一个实施例中，主要月良务器架构网络 布置的索引数据库的示例。[49]数据文件，其可以存储在服务器406和服务器408上，可以 包括多个数据文件，包括数据文件602a、 602b、 602c、 604a、 604b、 604c 等 。文 件 路 径 608 ， 如引存储在数据库522中。在这个示例中，才莫块称为工具才莫块(如， 处理模块，转移模块，等)。并且，类型可包括，例如，数据批号 文件、批号历史文件、光i普文件等。除了文件^各径608,该索引翁: 据库还可包括力良务器606列。这个列的目的是识别哪个力良务器可存 储该数据文件。[50]类似于现有技术，存储在每个数据文件中的数据还可编索 引并且存^诸在索引^t据库522中。在一个示例中，索引tt据库522也 可以对下面事项编索引^t块610(如，处理才莫块，转移才莫块，等)、 工具612 (该工具的名称和/或该工具编号)，制法614 (用来处理该 基片的制法)，批编号616 (已经处理过的一批基片的编号)，开始 时间618 (处理开始时间)，基片ID620 (该基片的编号)等。[51]回头参照图5，在一个实施例中，该主要月l务器架构网络布 置可简化检索数据文件的过程。考虑这种情况其中，例如，操作计 算才几402的用户想^r索具体的凄t据文件。现有4支术中，该用户要么 必须知道该数据文件的准确位置，要么该用户必须查找每个服务器 直到定位该数据文件。与现有技术不同，检索数据文件的工作简化 为提供一个或多个搜索条件(如，数据文件名称，批ID,基片ID, 处理时间，工具，才莫块，等)。在一个示例中，该用户可采用统一 的访问用户界面(如ODBC应用程序才莫块514)以在索引数据库522 查找文件^各径和力良务器名称作为该数据文件的位置。利用该文件^各 径和月艮务器名称，然后可以通过ftp服务器(508、 516和530)才全索 所需的凄史据文件。在一个实施例中，该用户可采用一旦才是供该文件 路径和力良务器名称就可以自动一全索该lt据文件的软件。18[52]在一个实施例中，主要服务器404可包括便于来自基于web 的应用禾呈序(^口 ， Equipment Information Report, Lam Report Browser, 等)的数据请求的模块。考虑这种情况其中，例如，操作计算机506 的用户想通过互联网检索数据文件。该用户可利用web应用程序模 块518作为接口查找web-索引数据库520。 Web-索引数据库520类似 于索引数据库522,除了数据已经由导入应用程序才莫块524转换为基 于web的应用禾呈序可以处理的才各式。[53]类似于索引数据库522, web-索引数据库520在主要服务器 404部署。因此，还可以实现节省额外的成本，因为/人web访问加索 1的数据现在可以集中而不是分布在多个服务器(如图2中现有技 术所示)。换句话说，多服务器布置不需要web-索引数据库在每个 服务器上部署，节省大量与许可费和硬件成本有关的开支。[54]图7示出，本发明一个实施例，在主要服务器架构连网布置 检索数据文件的步骤的简化流程图。将参考图4和5来讨论图7。[55]在第一步702, 4吏用客户端应用程序(如Lam DataExplorer、 Lam Fab Access 、 Lam ReportBrowser 、 Equipment InformationReporter 等)输入对数据文件的请求。在一个示例中，操作计算机402的用 户输入一个或多个搜索条件。[56]在下 一 步704,该计算才几402中的客户端应用禾呈序可将该4叟 索条件发送至主要服务器404。在一个示例中，ODBC应用程序才莫块 514可作为主要服务器404的接口以接收该搜索条件。[57]在下一步706，主要服务器404利用该搜索条件查找索引数 才居库522以才企索该泰:据文件的4立置。在一个实施例中，该凝:据文件 的位置可包括文件数据^各径和服务器名称。19[58]在下一步708，在该计算机402上的客户端应用程序可利用 该数据文件的位置通过ftp服务器从服务器检索所需的数据文件。[59]从本发明的实施例可以了解，主要服务器架构连网布置提 供更少人工干预的更便宜和更灵活的解决方案。[60]实现主要服务器架构连网布置的成本远远小于现有技术的 布置。在这个创新性的布置中，完全数据库管理系统可4又位于主要 服务器。结果，省去了多许可证费用。并且，因为不是所有的服务 器都部署完全数据库管理系统，所以与具有强大处理能力的高级服 务器有关的成本大大降低。进而，利用最少数量的完全数据库管理 系统，成本会进一步降低，因为需要更少的人工来管理该主要服务 器架构连网布置。'[61]另外，该主要架构布置能够实现单一web月良务。因此，用户 可在中央位置4;U亍凄t据文件的互耳关网查找。因此，对于完全凄t据库 管理系统所节省的同类成本在单一web月良务器布置也可以节省下来。[62]利用主要服务器架构连网布置，将人工干预降低到最小程 度。在一个示例中，用户不需要理解该网络基础设施来定位数据文 件。换句话说，用户不用再在多个不同服务器上执行手动查找以定 位所需数据文件。而是，用户能够通过只是将一个或多个搜索条件 提供给主要服务器而检索该数据文件。[63]利用该主要服务器架构连网布置，网络基础设施的改变会 最低限度地影响用户和/或该索引数据库。在一个示例中，增加新的 服务器仅需要增加新的编号以标示这个新的服务器。用户不必知道 或者理解已经将新的月良务器增加到该架构连网布置中。[64]尽管已经关于若干实施例描述本发明，但是在本发明的范 围内，有多种改变、置换和等同方式。并且，在这里为了方便而提 供主体、概述和摘要，但其在这里不应当用来解释权利要求的范围。进而，在这个申请中， 一组"n"个项目指在该组中有零或者更多 项目。还应当注意，有"i午多实现本发明的方法和i殳备的可选方式。 所以，意图是，下面所附的权利要求解释为包括落入本发明主旨和 范围的所有这样的改变、置换和等同方式。
权利要求
1.一种用于执行数据收集和分析中至少一个的布置，该数据来自配置为处理一组基片的工具组合，所述布置包括多个工具，所述多个工具中至少一个工具具有用于处理该组基片中至少一个的室；多个次级服务器，配置为从所述多个工具收集传感器数据，所述多个次级服务器的每个配置为执行数据编索引应用程序；和主要服务器，与所述多个次级服务器可通信连接，所述主要服务器配置为执行数据库管理系统，其中使用在所述多个次级服务器上的多个编索引应用程序对所述传感器数据编索引，然后传送至所述主要服务器以由所述数据库管理系统使用，其中对传感器数据项目编索引配置为至少将所述传感器数据项目与所述传感器数据项目所存储的服务器的标识相关联。
2. 根据权利要求1所述的布置，其中所述多个编索引应用程序包 括一个总编索引应用程序和多个从编索引应用程序，所述主要 月良务器配置为包括所述总编索引应用程序，所述多个次级服务 器配置为包括所述多个从编索引应用程序，其中所述总编索引 应用程序配置为定义和管理所述多个工具与所述主要月良务器 及所述多个次级月良务器中至少一个之间的关系，所述总编索引 应用程序配置为将所述多个关系转送至所述多个乂人编索引应 用程序。
3. 根据权利要求1所述的布置，其中所述工具组合是等离子处理 组合工具。
4. 才艮据^又利要求1所述的布置，其中所述主要月良务器包4舌a统一 访问用户界面，所述统一访问用户界面配置为接收搜索条件， 其中所述主要服务器配置为将所述搜索条件用来查找所述数 才居库管理系统以识别多个彩:据文4牛中的一个婆t据文件的文件 ^各径，所述数据库管理系统配置为存储关于所述多个数据文件 的多个加索引的翁::據项目。
5. 根据权利要求1所述的布置，其中所述主要服务器包括web 访问用户界面，所述web访问用户界面配置为接收搜索条件， 其中所述主要服务器配置为将所述搜索条件用于查找所述数 据库管理系统以识别多个数据文件的一个数据文件的文件路 径，所述据库管理系统配置为存关于所述多个#t据文件的 多个加索引的彰:才居项目。
6. 根据权利要求1所述的布置，其中所述主要服务器配置为从所 述多个工具收集所述传感器数据，所述主要服务器配置为执行 编索引应用程序以对所述传感器^:据编索引。
7. 根据权利要求1所述的布置，其中所述主要服务器是地理上远 离所述多个次级服务器，所述主要月良务器4吏用互联网连接至所 述多个次级月良务器。
8. —种用于冲丸行数据收集和分析中至少一个的方法，该数据来自 配置为处理一ia基片的工具组合，所述方法包4舌从多个工具收集传感器数据，所述多个工具中至少一个 工具具有用于处理该组基片中至少一个的室；将所述传感器数据发送至多个次级服务器；采用在所述多个次级服务器上的多个编索引应用程序对 所述传感器数据编索引以获得加索引的数据，其中对传感器数据项目编索引配置为至少将所述传感器^:据项目与所述传感 器数据项目所存储的服务器的标识相关联；和将所述加索引的数据转送至主要服务器，所述主要服务 器配置为与所述多个次级服务器可通信连冲妻，所述主要服务器 配置为4丸行凄丈据库管理系统。
9. 根据权利要求8所述的方法，其中所述多个编索引应用程序包 括总编索引应用程序和多个从编索引应用程序，所述主要服务 器配置为包括所述总编索引应用程序，所述多个次级服务器配 置为包括所述多个/人编索引应用程序，其中所述总编索引应用 程序配置为定义和管理所述多个工具与所述主要力良务器及所 述多个次级月l务器中至少一个之间的一组关系，所述总编索引 应用程序配置为将所述多个关系转送至所述多个/人编索引应 用程序。
10. 根据权利要求8所述的方法，其中所述工具组合是等离子处理 组合工具。
11. 根据权利要求8所述的方法，其中所述主要服务器包括统一访 问用户界面，所述统一访问用户界面配置为接收4叟索条件，其 中所述主要服务器配置为将所述搜索条件用于查找所述数据 库管理系统以识别多个凄t据文件中 一个凄丈据文件的文件^各径， 所述数据库管理系统配置为存储关于所述多个数据文件的多 个加索引的数、据项目。
12. 根据权利要求8所述的方法，其中所述主要服务器包括web 访问用户界面，所述web访问用户界面配置为接收搜索条件， 其中所述主要服务器配置为将所述搜索条件用于查找所述数 据库管理系统以识别多个翁:才居文4牛中 一个凄t据文4牛的文件^各径，所述凄史据库管理系统配置为存^f诸关于所述多个凝:据文件的 多个加索引的凄t据。
13. 根据权利要求8所述的方法，其中所述主要服务器配置为从所 述多个工具收集所述传感器数据，所述主要服务器配置为执行 编索引应用禾呈序以乂于所述传感器凌t据编索引。
14. 根据权利要求8所述的方法，其中所述主要服务器i也理上远离 所述多个次级月良务器，所述主要月良务器使用互联网连接至所述 多个次级服务器。
15. —种用于执行数据收集和分析中至少一个的计算才几实现的方 法，该凄U居来自配置为处理一组基片的工具组合，所述方法包 括从多个工具收集传感器数据，所述多个工具中至少一个工具具有用于处理该组基片中至少一个的室；将所述传感器数据发送至多个次级服务器；将所述传感器数据存储在所述多个次级服务器；利用所述多个次级月良务器上的多个编索引应用程序对所 述传感器数据编索引，其中对传感器数据项目编索引配置为至 少将所述传感器数据项目与所述传感器lt据项目所存储的服 务器的标识相关4关；和将所述传感器数据的索引转送至主要服务器，所述主要 月良务器配置为与所述多个次级服务器可通信连接，所述主要服 务器配置为执行数据库管理系统。
16. 根据权利要求15所述的计算机实现的方法，其中所述多个编 索引应用禾呈序包4舌总编索引应用禾呈序和多个从编索引应用程 序，所述主要力良务器配置为包"^舌所述总编索引应用禾呈序，所述多个次级月艮务器配置为包括所述多个从编索引应用^!序，其中 所述总编索引应用程序配置为定义和管理所述多个工具与所 述主要月良务器及所述多个次级月良务器中至少一个之间的一组 关系，所述总编索引应用程序配置为将所述多个关系转送至所 述多个乂人编索引应用禾呈序。
17. 才艮据;f又利要求15所述的计算才几实^L的方法，其中所述工具组 合是等离子处理组合工具。
18. 根据权利要求15所述的计算机实现的方法，其中所述主要服 务器包括统一访问用户界面，所述统一访问用户界面配置为接 收搜索条件，其中所述主要服务器配置为将所述搜索条件用于 查找所述婆t据库管理系统以识别多个教:才居文件中 一个翁j居文 件的文件^各径，所述数据库管理系统配置为存储关于所述多个 凄丈寺居文件的多个加索引的数据项目。
19. 根据权利要求15所述的计算机实现的方法，其中所述主要服 务器包括web访问用户界面，所述web访问用户界面配置为 接收搜索条件，其中所述主要服务器配置为将所述搜索条件用 于查找所述凄t据库管理系统以识别多个凄t据文件中 一个凄t据 文件的文件^各径，所述^t据库管理系统配置为存4渚关于所述多 个凄t据文件的多个加索引的^t据项目。
20. 根据权利要求15所述的计算机实现的方法，其中所述主要服 务器配置为从所述多个工具收集所述传感器数据，所述主要服 务器配置为执行编索引应用程序以对所述传感器数据编索引。
21. 根据权利要求15所述的计算机实现的方法，其中所述主要服 务器地理上远离所述多个次级月l务器，所述主要月l务器^f吏用互 联网连接至所述多个次级服务器。
全文摘要
提供一种用于执行数据收集和分析中至少一个的布置，该数据来自配置为处理一组基片的工具组合。该布置包括多个工具，其中该多个工具中至少一个工具具有用于处理该组基片中至少一个的室。该布置还包括多个次级服务器，配置为从该多个工具收集传感器数据。该布置进一步包括主要服务器，与该多个次级服务器可通信连接并配置为执行数据库管理系统。使用在该多个次级服务器上的多个编索引应用程序将该传感器数据编索引，然后转送到该主要服务器以由该数据库管理系统使用。编索引包括将传感器数据项目与该传感器数据项目所存储的服务器的标识相关联。
文档编号G06F15/00GK101558399SQ200780046322
公开日2009年10月14日 申请日期2007年12月7日 优先权日2006年12月14日
发明者查德·R·威特曼, 黄忠河 申请人:朗姆研究公司