SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理方法及装置与流程

本发明涉及半导体器件制造领域，特别是涉及一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理方法及装置。

背景技术：

目前，在芯片制造过程中，离子注入是十分重要的工艺环节。但是，该工艺无法像其他工艺一样用膜厚、关键性尺寸等手段进行在线监控，一旦程式有误，到电性测试时才能发现，会造成重大损失。所以，业界通行做法为：在程式建立后，安排工程师对程式进行复检，以在使用程式前修正程式错误。但是，鉴于离子注入程式参数众多和机台软件的复杂性，工程师复检也难以100％检出错误。

技术实现要素：

为克服上述现有技术存在的不足，本发明之目的在于提供一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理方法及装置，其可以自动对SEN机台程式进行正确性检查，不仅节省人工检查时的人力，而且更能保证100％检出程式错误，将错误扼杀在跑货前，避免程式错误造成的损失。

为达上述及其它目的，本发明提出一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置，包括：

接收单元，用于接收用户的选择操作，以选择目标机台服务器；

请求下载单元，以于该接收单元接收到用户的选择操作后，根据用户的选择操作从目标机台服务器下载待检查程式；

待检查参数收集单元，采用导弹攻击方法对每个程式收集待检查参数，生 成待检查参数报表；

程式正确性检查单元，对程式及待检查参数进行正确性检查，输出检查结果。

进一步地，该待检查参数收集单元包括：

数组定义模块，用于定义待收集参数名数组和待收集参数数组；

遍历模块，用于逐行遍历待检查程式；

判断模块，用于判断当前行的参数名是否位于待收集参数名数组中；

处理模块，于该判断模块的判断结果为“是”时，将当前行的参数值置于待收集参数数组对应位置，否则令遍历模块转到程式下一行。

进一步地，该程式正确性检查单元采用模块化检查规则管理方式，自动检查程式及参数是否正确，并利用绿红黄白四色标识不同参数。

进一步地，该程式正确性检查单元通过如下步骤对程式及待检查参数进行正确性检查：

检查程式名；

如果程式为非标准命名，用白色标识该程式，并转到下一程式；

如果程式为标准命名但命名有误，用黄色标识该程式，并转到下一程式；

如果程式为标准命名且命名无误，则从程式名析出参数目标值，检查实际设置值与之是否相符，以及检查程式名未列出但需要监控的参数是否正确：

如果都正确，则用绿色标识待检查参数及程式名；否则，用绿色标识正确参数，用红色标识错误参数和程式名。

进一步地，该装置设置于客户端，与机台服务器采用分布式C/S结构，该客户端采用FTP技术连接机台服务器。

为达到上述目的，本发明还提供一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理方法，包括如下步骤：

步骤一，接收用户的选择操作，选择目标机台服务器；

步骤二，于接收到用户的选择操作后，根据用户的选择操作从目标机台服 务器下载待检查程式；

步骤三，采用导弹攻击方法对每个程式收集待检查参数，生成待检查参数报表；

步骤四，对程式及待检查参数进行正确性检查，输出检查结果。

进一步地，步骤三进一步包括：

定义待收集参数名数组和待收集参数数组；

逐行遍历待检查程式，判断当前行的参数名是否位于待收集参数名数组中；

如果是，则将当前行的参数值置于待收集参数数组对应位置；如果否，则转到程式下一行。

进一步地，于步骤四中，采用模块化检查规则管理方式，自动检查程式及参数是否正确，并利用绿红黄白四色标识不同参数。

进一步地，步骤四进一步包括：

检查程式名；

如果程式为非标准命名，用白色标识该程式，然后转到下一程式；

如果程式为标准命名但命名有误，用黄色标识该程式，然后转到下一程式；

如果程式为标准命名且命名无误，则从程式名析出参数目标值，检查实际设置值与之是否相符，以及检查程式名未列出但需要监控的参数是否正确：

如果都正确，则用绿色标识待检查参数及程式名；否则，用绿色标识正确参数，用红色标识错误参数和程式名。

进一步地，该方法应用于客户端，该客户端与机台服务器采用分布式C/S结构，采用FTP技术连接机台服务器。

与现有技术相比，综上所述，本发明一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置及方法通过在客户端设置自动化程式正确性管理装置，将程式从SEN机台分布式服务器下载到客户端，并采用“导弹攻击”方法将程式中的待检查参数收集到软件中，然后根据程式命名规则及用户定义规则检查参数的正确性，用醒目颜色区分参数的正确与错误，能自动对SEN机台程式进行正确 性检查，不仅节省了人工检查时的人力，而且更能保证100％检出程式错误，将错误扼杀在跑货前，避免程式错误造成的损失。

附图说明

图1为本发明一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置的系统架构图；

图2为现有技术中采用“炸弹攻击”算法的流程示意图；

图3为本发明较佳实施例中待检查参数收集单元的细部结构图；

图4为本发明一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理方法的步骤流程图；

图5为本发明具体实施例中用户选择待检查程式所在机台服务器的界面示意图；

图6为本发明具体实施例中采用的导弹攻击方法的步骤流程图；

图7为本发明具体实施例中程式正确性检查的流程图。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例并结合附图说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其它优点与功效。本发明亦可通过其它不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本发明的精神下进行各种修饰与变更。

图1为本发明一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置的系统架构图。如图1所示，本发明一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置，包括：接收单元101、请求下载单元102、待检查参数收集单元103以及程式正确性检查单元104。

其中，接收单元101，用于接收用户的选择操作，以选择目标机台服务器，以从目标机台服务器下载程式；请求下载单元102，以于接收单元101接收到用 户的选择操作后，根据用户的选择操作从目标机台服务器下载程式；待检查参数收集单元103采用导弹攻击方法对每个程式收集待检查参数，生成待检查参数报表；程式正确性检查单元104对程式及待检查参数采用模块化检查规则管理方式进行正确性检查，输出检查结果。

具体地说，本发明一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置设置于客户端，其与机台服务器采用分布式C/S(客户端/服务器)结构，该客户端采用FTP技术连接机台服务器，实现用户选择机台下载程式，以避免用户直接操作服务器文件可能造成的危害，接收单元101提供并接收用户选择待检查程式所在机台服务器(称之为目标机台服务器)，在本发明较佳实施例中，提供一操作界面以供用户选择目标机台服务器，用户只需在界面中选择待检查程式所在机台服务器，点击“检查”，请求下载单元可自动从所选机台服务器下载待检查程式。

目前SEN离子注入机台的自动化程式的数据收集过程通常使用“炸弹攻击”算法，像轰炸机投放炸弹一样，只能炸固定目标，无法炸移动目标。例如，现需要收集程式的能量、剂量、源种，分别对应程式第3、5、8行，那么只需要按顺序取每个程式的第3、5、8行即可得到能量、剂量、源种，这是半导体行业EAP(事件分析程序)的标准算法。但是，如果在程式原第二行与原第三行之间新增一项参数，那么能量、剂量、源种三项将分别对应新版本程式第4、6、9行。如果按照原算法，取到的参数将不是能量、剂量、源种，所以此时应修改程序，取程式第4、6、9行，所以该算法有参数位置敏感、维护频繁、易错报据等缺点，其具体算法流程如图2所示。而本发明提出并采用导弹攻击方法，即像攻击机发射导弹一样，可以攻击移动目标，图3为本发明较佳实施例中待检查参数收集单元的细部结构图，具体地说，待检查参数收集单元103进一步包括：数组定义模块301、遍历模块302、判断模块303以及处理模块304，其中数组定义模块301用于定义待收集参数名数组和待收集参数数组，遍历模块302用于逐行遍历待检查程式，判断模块303用于判断当前行的参数名是否位于 待收集参数名数组中，处理模块304于判断模块303的判断结果为“是”时，将当前行的参数值置于待收集参数数组对应位置，否则令遍历模块转到程式下一行，这样，即使目标参数位置变化，待检查参数收集单元103不需任何修改也能准确地取到目标参数。

在本发明具体实施例中，程式正确性检查单元104采用如下步骤对程式及待检查参数进行正确性检查：首先检查程式名，如果程式为非标准命名，用白色标识该程式，然后转到下一程式；如果程式为标准命名但命名有误，用黄色标识该程式，然后转到下一程式；如果程式为标准命名且命名无误，则从程式名析出参数目标值，检查实际设置值与之是否相符，以及检查程式名未列出但需要监控的参数是否正确：如果都正确，则用绿色标识待检查参数及程式名；否则，用绿色标识正确参数，用红色标识错误参数和程式名。

图4为本发明一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理方法的步骤流程图。如图4所示，本发明一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理方法，包括如下步骤：

步骤401，接收用户的选择操作，选择目标机台服务器。

步骤402，于接收到用户的选择操作后，根据用户的选择操作从目标机台服务器下载程式。

步骤403，采用导弹攻击方法对每个程式收集待检查参数，生成待检查参数报表。具体地，步骤403进一步包括如下步骤：

定义待收集参数名数组和待收集参数数组；

逐行遍历待检查程式，判断当前行的参数名是否位于待收集参数名数组中；

如果是，则将当前行的参数值置于待收集参数数组对应位置；如果否，则转到程式下一行。

步骤404，对程式及待检查参数采用模块化检查规则管理方式进行正确性检查，输出检查结果。具体地，步骤404进一步包括如下步骤：

检查程式名，如果程式为非标准命名，用白色标识该程式，然后转到下一 程式；

如果程式为标准命名但命名有误，用黄色标识该程式，然后转到下一程式；

如果程式为标准命名且命名无误，则从程式名析出参数目标值，检查实际设置值与之是否相符，以及检查程式名未列出但需要监控的参数是否正确：

如果都正确，则用绿色标识待检查参数及程式名；否则，用绿色标识正确参数，用红色标识错误参数和程式名。

以下将通过一具体实施例来进一步说明本发明：

图5为本发明具体实施例中用户选择待检查程式所在机台服务器的界面示意图：点击Check All，可以选中全部机台；点击Uncheck All，可以取消选中全部机台；点击DOUBLE CHECK，运行软件，自动下载已选机台的程式、自动从程式收集待检查参数、自动检查程式正确性。

图6为本发明具体实施例中采用的导弹攻击方法的步骤流程图。定义待收集参数名数组和待收集参数数组(构造数组1及数组2)；逐行遍历待检查程式，判断当前行的参数名是否位于待收集参数名数组中；如果是，则将当前行的参数值置于待收集参数数组对应位置；如果否，则转到程式下一行。

图7为本发明具体实施例中程式正确性检查的流程图。首先检查程式名，如果程式为非标准命名，用白色标识该程式，然后转到下一程式；如果程式为标准命名但命名有误，用黄色标识该程式，然后转到下一程式；如果程式为标准命名且命名无误，则从程式名析出参数目标值，检查实际设置值与之是否相符，以及检查程式名未列出但需要监控的参数是否正确：如果都正确，则用绿色标识待检查参数及程式名；否则，用绿色标识正确参数，用红色标识错误参数和程式名。

综上所述，本发明一种SEN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置及方法通过在客户端设置自动化程式正确性管理装置，将程式从SEN机台分布式服务器下载到客户端，并采用“导弹攻击”方法将程式中的待检查参数收集到软件中，然后根据程式命名规则及用户定义规则检查参数的正确性，用醒目颜 色区分参数的正确与错误，能自动对SEN机台程式进行正确性检查，不仅节省了人工检查时的人力，而且更能保证100％检出程式错误，将错误扼杀在跑货前，避免程式错误造成的损失。

与现有技术相比，本发明具有如下优点：

1.使用FTP技术，连接机台服务器，实现用户选择机台下载程式，以避免用户直接操作服务器文件可能造成的危害

2.采用“导弹攻击”方法收集待检查参数，生成待检查参数报表，能够自动防止程式结构变化造成的误报警、未报警，同时降低维护频度和难度

3.采用模块化检查规则管理方式，自动检查程式参数是否正确，用绿红黄白四色标识不同参数

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰与改变。因此，本发明的权利保护范围，应如权利要求书所列。