技术特征：
技术总结
本申请实施例提供了一种电子设备、超声波指纹识别装置及其制造方法，该方法包括：在基底层顶部形成水平分布且彼此隔离的第一压电层和第二压电层；第一压电层具有特定压电应变常数，第二压电层具有特定压电电压常数；在第一压电层及第二压电层的顶部形成第一平面电极；在基底层上形成谐振空腔，并在谐振空腔内形成彼此绝缘隔离的第二平面电极和第三平面电极，以形成第一器件；第一平面电极、第一压电层和第二平面电极用于实现超声波发射，第一平面电极、第二压电层和第三平面电极用于实现超声波接收；将第一器件与配合的半导体器件进行集成，以形成超声波指纹识别装置。本申请实施例可提高超声波指纹识别装置的回路效率和识别灵敏度。
技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：上海思立微电子科技有限公司
技术研发日：2017.05.18
技术公布日：2017.09.22