一种流体填充与抽取系统与方法与流程

本发明是关于半导体制程的技术领域，尤指一种流体填充与抽取系统与方法，应用于协助集成电路制造厂(icfoundry)的操作人员能够在后端的中央监控系统的监控下完成化学品容置槽(chemicalcontainingtank)的填充与回收抽取作业。

背景技术：

半导体集成电路的制程包括薄膜沈积、扩散、微影蚀刻、离子植入等基本半导体制程；并且，在制作半导体集成电路的过程中，必须使用到大量的化学品来满足制程的需求。特别说明的是，半导体集成电路的制造必须时时刻刻保持生产流程不中断，因此，这些化学品的供应也必须被维持不中断。基于这样的理由，集成电路制造厂在进行厂区规划时，便会特别地规画至少一特定化学槽厂区，以作为设置各种大型化学品容置槽使用。

目前，化学品供货商是利用大型化学品槽车装载完成制作的各种化学品。可想而知，集成电路制造厂于进行各类化学品的补充的时候，是令化学品槽车直接驶至化学槽厂区，进而直接地将化学品补充至指定的大型化学品容置槽之中，完成化学品的补充作业。然而，半导体制程所使用的化学品通常具有可燃性、毒性、氧化、腐蚀性等高危险性质，一旦在进行化学品补充作业的过程中发生操作人员的作业疏忽或系统故障等情况，则极有可能造成化学品泄漏或相异化学品之间产生化学反应，所引发之后果不仅是庞大的财务损失，更有可能造成作业人员的伤亡与环境污染。

由上述说明可知，槽车作业的操作安全具有极高的危险性，因此，对于集成电路制造厂而言，将大型化学品槽的填充与抽取作业进行同步电子化是非常重要的。如此，集成电路制造厂的厂管便能够通过中心控制系统而完整、全面性地监控大型化学品槽的填充与抽取作业的过程是否正确以及操作人员是否具备相关执行权限。有鉴于此，本案的发明人极力加以研究创作，而终于研发完成本发明的一种流体填充与抽取系统与方法

技术实现要素：

本发明的主要目的在于提供一种流体填充与抽取系统，包括：至少一第一身分信息携载单元、至少一第二身分信息携载单元、至少一料品信息携载单元、至少一槽区信息携载单元、至少一容置槽信息携载单元、以及至少一可携式电子装置。特别地，在所述可携式电子装置以其读取单元读取所述多个信息携载单元所携载的基础信息之后，后端的中央监控系统便可以在确认操作人员是否具有执行流体填充作业与/或抽取(回收)作业的操作权限以及所述料品容置器3(即，化学品槽车)所盛装的料品的资处信息是否符合无误之后，允许操作人员执行流体填充作业与/或抽取(回收)作业。如此方式，是能够确保填充作业与抽取作业与相关纪录皆在电子化的系统管理下进行，免除任何的纸本记录，是以能够有效避免任何人为操作异常或者以非符合标准作业程序的方式完成相关作业。

为了达成上述本发明的主要目的，本案发明人提供所述流体填充与抽取系统的一实施例，包括：

至少一第一身分信息携载单元，是设置于至少一操作人员身分卡之上；

至少一料品信息携载单元，是设置于至少一料品容置器之上，且所述料品容置器是容置有一特定料品；

至少一槽区信息携载单元，是设置于至少一槽区管制门之上；

至少一容置槽信息携载单元，是设置于至少一流体容置槽之上，且所述至少一流体容置槽是设置在位于所述槽区管制门后方的至少一流体容置槽区之中；以及

至少一可携式电子装置，是具有一读取单元；

其特征在于，通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述料品信息携载单元的方式确认是否所述料品容置器所容置的所述特定料品需要被执行一填充作业，以将所述特定料品自所述料品容置器填充至特定的所述流体容置槽区与特定的所述流体容置槽；

通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述槽区信息携载单元与所述容置槽信息携载单元的方式确认是否所述流体容置槽所容置的所述特定料品需要执行一抽取作业；

通过所述读取单元，所述可携式电子装置可通过读取所述第一身分信息携载单元的方式确认持有所述操作人员身分卡的一操作人员是否具有执行所述填充作业与所述抽取作业的权限。

所述的流体填充与抽取系统，其中，更包括：至少一第二身分信息携载单元，是设置于所述料品容置器的至少一运送人员身分卡之上；以及至少一槽阀信息携载单元，是设置于至少一切换阀单元之上，且所述切换阀单元是用以切换所述流体容置槽的流体输入与流体出入。

所述的流体填充与抽取系统，其中，更包括：至少一阀门保护装置，是装设于所述至少一切换阀单元之上；以及一中央监控系统，是通过一收发装置与所述可携式电子装置沟通，并通过一控制装置监视与控制所述槽区管制门的门禁管理，并用以通过所述控制装置启用或解除所述阀门保护装置的启用与解除。

所述的流体填充与抽取系统，其中，所述特定料品为一化学流体，所述料品容置器为一化学品槽车，且所述流体容置槽为一化学品容置槽或一化学废品容置槽。

所述的流体填充与抽取系统，其中，所述第一身分信息携载单元、所述第二身分信息携载单元、所述槽阀信息携载单元、所述料品信息携载单元、所述槽区信息携载单元、与所述容置槽信息携载单元皆可为下列任一者：图形、文字、字母、数字、一维条形码(1dbarcode)、二维条形码(2dbarcode)、汉信码(chinese-sensiblecode)、qr码、矩阵条形码(maxicode)、rfid卷标、nfc卷标、上述任两者的组合、或上述任两者以上的组合。

所述的流体填充与抽取系统，其中，所述可携式电子装置可为下列任一者：智能型手机、个人数字助理、笔记本电脑、平板计算机、智能眼镜、或智慧手表；所述读取单元51可为下列任一者：rfid卷标读取器、nfc卷标读取器、影像辨识器、一维条形码读取器、二维条形码读取器、汉信码读取器、qr码读取器、或矩阵条形码读取器。

所述的流体填充与抽取系统，其中，所述读取单元为一影像撷取器，且所述可携式电子装置更具有一影像辨识单元；通过配合使用所述读取单元与所述影像辨识单元，所述可携式电子装置可完成所述第一身分信息携载单元、所述第二身分信息携载单元、所述槽阀信息携载单元、所述料品信息携载单元、所述槽区信息携载单元、与/或所述容置槽信息携载单元的读取。

所述的流体填充与抽取系统，其中，由所述料品信息携载单元所携载的所述多个基础信息包括：品名、批号、料号、运送工具编号、有效日期、与序号，且相邻两个基础信息之间插入有一信息分隔符(centralseperatingcharacter)。

所述的流体填充与抽取系统，其中，所述化学流体可为下列任一者：化学液体或化学气体。

所述的流体填充与抽取系统，其中，所述信息分隔符可为下列任一者：％、$、/、～、！、@、#、^、&、*、(、)、-、_、|、{、}、？、<、>、\、[、]或+。

附图说明

图1是显示本发明的一种流体填充与抽取系统的第一实施例的架构图；

图2是显示可携式电子装置的立体图；

图3a与图3b是显示执行流体填充作业的时候所述可携式电子装置的屏幕的正视图；

图4a与图4b是显示执行流体抽取(回收)作业的时候所述可携式电子装置的屏幕的正视图；

图5是显示本发明一种流体填充与抽取系统的第二实施例的架构图；

图6a与图6b是显示执行流体填充作业的时候所述可携式电子装置的屏幕的正视图；

图7是显示本发明一种流体填充与抽取系统的第三实施例的架构图；以及

图8a与图8b是显示执行流体抽取(回收)作业的时候所述可携式电子装置的屏幕的正视图。

附图标记:

<本发明>

21第一身分信息携载单元

81第二身分信息携载单元

31料品信息携载单元

41槽区信息携载单元

61容置槽信息携载单元

5可携式电子装置

csrc中央监控系统

2操作人员身分卡

8运送人员身分卡

3料品容置器

4槽区管制门

6流体容置槽

5可携式电子装置

51读取单元

r收发装置

7可编程控装置

8电子权杖单元

9切换阀单元

91槽阀信息携载单元

<公知>

无

具体实施方式

为了能够更清楚地描述本发明所提出一种流体填充与抽取系统与方法，以下将配合图式，详尽说明本发明的较佳实施例。

半导体集成电路的制程会使用许多化学品，其通常为化学流体，包括：化学液体(或纯液)与化学气体。常见的化学品整理如下表(1)所示。

表(1)

本发明的流体填充与抽取系统即应用于管理这些化学品的填充与抽取(回收)。特别说明的是，所述“化学品填充”是指，令化学品槽车驶至指定的化学槽厂区，并将化学品补充至指定的大型化学品容置槽之中。所述“化学品抽取(回收)”是指，令化学品槽车驶至指定的化学槽厂区，并将化学品废液或化学气体自指定的大型化学废品容置槽抽取而出(回收)。

第一实施例

请参阅图1，是显示本发明一种流体填充与抽取系统的第一实施例的架构图。如图1所示，本发明的流体填充与抽取系统是于架构组成上主要包括：至少一第一身分信息携载单元21、至少一第二身分信息携载单元81、至少一料品信息携载单元31、至少一槽区信息携载单元41、至少一容置槽信息携载单元61、至少一可携式电子装置5、与一中央监控系统csrc。根据本发明的设计，所述第一身分信息携载单元21是设置于一操作人员身分卡2之上，且所述第二身分信息携载单元81是设置于所述料品容置器3的至少一运送人员身分卡8之上，例如:化学品槽车的司机。可想而知，此处所称料品容置器3即为如图1所示的化学品槽车。补充说明的是，第一身分信息携载单元21用以携载持有所述操作人员身分卡2的一操作人员的基本资料，包括：姓名、工号、所属单元、职级、与是否完成化学品的补充(填充)作业与废液抽取(回收)作业的资格考(qualify)。当然，完成资格考的操作人员才会被允许进行相关行操作。

另一方面，所述料品信息携载单元31被设置于化学品槽车(即，料品容置器3)之上，用以携载所述化学品槽车所运送的一特定料品的多个基础信息，包括：品名(或料号)、批号、运送工具编号(即，化学品槽车的编号)、有效日期、与序号。举例而言，所述品名可用以显示所述特定料品为化学液体或化学气体。另一方面，由上表(1)可知集成电路制造厂(icfoundry)使用的化学液体与化学气体的种类繁多，因此，本发明特别地以至少一槽区信息携载单元41设置于至少一槽区管制门4之上。可想而知，所述槽区管制门4后方是规划有至少一流体容置槽区，且所述流体容置槽区之中通常是依照化学品的种类所其应用制程而设置有不同的流体容置槽6。于本发明之中，又将至少一容置槽信息携载单元61设置于至少一流体容置槽6之上。

由上述说明可知，单位“至少一”是用以表示所述五种信息携载单元(21,81,31,41,61)的数量为一个或多个。换句话说，这五种信息携载单元(21,81,31,41,61)的数量的确实数量是决定于所述操作人员身分卡2、所述运送人员身分卡8、所述料品容置器3(即，化学品槽车)、所述槽区管制门4、与所述流体容置槽6的数量。另一方面，所述可携式电子装置5是具有一读取单元51。通过所述读取单元51，所述可携式电子装置5可通过读取所述料品信息携载单元31的方式确认是否所述料品容置器3所容置的所述特定料品需要被执行一填充作业，以将所述特定料品自所述料品容置器3填充至特定的所述流体容置槽区与特定的所述流体容置槽6。此外，通过所述读取单元51，所述可携式电子装置5可通过读取所述槽区信息携载单元41与所述容置槽信息携载单元61的方式确认是否所述流体容置槽6所容置的所述特定料品需要执行一抽取作业。当然，在执行化学品的填充作业或抽取(回收)作业之前，必须先以可携式电子装置5可通过读取所述第一身分信息携载单元21的方式，加以确认持有所述操作人员身分卡2的操作人员是否具有执行所述填充作业与所述抽取作业的权限。

并且，如图1所示，可携式电子装置5是通过一收发装置r而与一中央监控系统csrc相互沟通，收发装置r与可携式电子装置5间的通讯协议可以是无线通信网络，包含wifi、3g、4g、蓝芽、zigbee等，收发装置r与中央监控系统csrc间的通讯协议可以是无线通信网络或有线通讯网络，其特征在于无线通信网络包含wifi、3g、4g、蓝芽、zigbee等。且所述中央监控系统csrc则通过一控制装置7监视与控制所述槽区管制门4的门禁管理，藉以防止厂务人员、操作人员、或化学品槽车的司机(亦即，化学品运送人员)恣意地开启槽区管制门4，其特征在于控制装置7包含可编过程控制装置(programmablelogiccontroller,plc)或直接数字控制器(directdigitalcontroller,ddc)或对象链接与嵌入装置(objectlinkingandembedding,ole)或用于流程控制的ole装置(oleforprocesscontrol,opc)其中之一。可想而知，在完成所述槽区信息携载单元41与所述料品信息携载单元31的读取之后，可携式电子装置5便可自所述中央监控系统csrc得知所述化学品槽车(亦即，料品容置器3)所运送的特定料品与设置在所述槽区管制门4后方的流体容置槽6所容置的化学品是否皆属相同的化学流体或化学气体。可以推知的，在完成上述确认之后，化学品的运送人员与集成电路制造厂的操作人员才会被允许开始进行下一步的化学品填充作业的后续程序。这样的确认方式是为了防止运送人员与操作人员将槽车所运送化学品误填充至错误的流体容置槽6之中。

值得特别说明的是，虽然图1是显示所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元81、所述料品信息携载单元31、所述槽区信息携载单元41、与所述容置槽信息携载单元61皆为一维条形码(1dbarcode)，然而不应以此限制所述信息携载单元(21,31,41,61)的实施态样。于实际应用本发明的时候，所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元81、所述料品信息携载单元31、所述槽区信息携载单元41、与所述容置槽信息携载单元61可为下列任一者：图形、文字、字母、数字、一维条形码(1dbarcode)、二维条形码(2dbarcode)、汉信码(chinese-sensiblecode)、qr码、矩阵条形码(maxicode)、rfid卷标、nfc卷标、上述任两者的组合、或上述任两者以上的组合。以一维条形码(1dbarcode)为例，所述料品信息携载单元31可利用code39条形码产生器制作，并使其携载所述料品容置器3所盛装的所述特定料品的品名(料号)、批号、有效日期、与序号。值得特别说明的是，为了利于可携式电子装置5对于品名(料号)、批号、运送工具编号、有效日期、与序号的清楚读取，制作料品信息携载单元31的一维条形码的时候，必须于相邻两个基础信息之间插入有一信息分隔符(centralseperatingcharacter)，例如:％、$、/、～、！、@、#、^、&、*、(、)、-、_、|、{、}、？、<、>、\、[、]或+。

可想而知，对应于不同实施态样的信息携载单元(21,81,31,41,61)，可携式电子装置5的读取单元51可为下列任一者：rfid卷标读取器、nfc卷标读取器、影像辨识器、一维条形码读取器、二维条形码读取器、汉信码读取器、qr码读取器、矩阵条形码读取器、或影像撷取器。若可携式电子装置5为智能型手机、个人数字助理、笔记本电脑、平板计算机、智能眼镜、或智慧手表，则可直接以可携式电子装置5内建的影像撷取模块作为所述读取单元51；如此，于所述可携式电子装置5安装一影像(或条形码)辨识软件之后，便能够通过配合使用所述读取单元51与所述影像辨识单元的方式，令可携式电子装置5完成所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元81、所述料品信息携载单元31、所述槽区信息携载单元41、与/或所述容置槽信息携载单元61的读取。然而，有鉴于大部分的集成电路制造厂皆禁止于厂内使用任何类型的智能型电子装置，搭载有条形码扫描仪(即，读取单元51)的个人数字助理(digitalpersonalassistant,pda)便成为所述可携式电子装置5的最佳实施态样。

继续地参阅图1，并请同时参阅图2，是显示可携式电子装置的立体图。值得注意的是，虽然可携式电子装置5可以通过读取第一身分信息携载单元21的方式确认持有所述操作人员身分卡2的操作人员是否具有进行化学品的填充作业与抽取作业的操作权限，但是考虑到低职级的操作人员有可能借用高职级的厂长或工程师的操作人员身分卡2而妄加恣意地进行相关操作，本发明又于流体填充与抽取系统之中增设所谓的电子权杖单元(electronictokenunit)8。如图2所示，所述电子权杖单元8之中是储存有一次性认证码(one-timepassword,otp)。特别地，于所述可携式电子装置5完成所述第一身分信息携载单元21的读取之后，中央监控系统csrc可通过可携式电子装置5要求操作人员提供与电子权杖单元8；之后，可携式电子装置5可通过存取所述一次性认证码的方式，重复确认持有所述操作人员身分卡2的所述操作人员是否具有进行化学品的填充作业与抽取作业的操作权限，避免高职级的厂长或工程师的操作人员身分卡2被拿来妄加恣意地进行相关操作。本发明并不限制电子权杖单元8的实施态样，如图2所示，电子权杖单元8可以是：蓝牙电子装置、usb电子装置、nfc卷标、或rfid卷标。并且，在可携式电子装置5自所述电子权杖单元8之中完成所述一次性认证码的存取之后，可携式电子装置5内部的一令牌码产生单元(未图标)会重新生成一组一次性认证码，并写入所述电子权杖单元8之中，藉此方式提高第一机台4与第二机台6的操作权限。

如此，上述说明已完整、清楚地介绍说明本发明的一种流体填充与抽取系统。接着，下文将继续介绍说明本发明的一种流体填充与抽取系统的作业流程。请重复参阅图1，并请同时参阅图3a与图3b，是显示执行流体填充作业的时候所述可携式电子装置的屏幕的正视图。如图1与图3a所示，执行流体填充作业时，首先将至少一第一身分信息携载单元21设置于至少一操作人员身分卡2之上，将至少一第二身分信息携载单元81设置于至少一运送人员身分卡8之上，将至少一料品信息携载单元31设置于至少一料品容置器3之上，将至少一槽区信息携载单元41设置于至少一槽区管制门4之上，并将至少一容置槽信息携载单元61设置于至少一流体容置槽6之上；其特征在于，所述料品容置器3容置有一特定化学品(例如:化学液体或化学气体)，所述流体容置槽6则用以容置储放所述化学品，且所述料品容置器3为运送所述化学品的化学品槽车。

进一步地，提供至少一可携式电子装置5，且所述可携式电子装置5具有一读取单元51(例如:条形码扫描仪)。于流体填充作业的实际操作流程上，如图3a的(a)图所示，需要通过所述可携式电子装置5选择执行一流体填充作业。接着，如图3a的(b)图所示，若化学品槽车所运送的化学品为化学流体(或纯液)，则操作人员必须进一步地于所述可携式电子装置5的一操作接口上选择“化学液体槽车”。继续地，如图3a的(c)图所示，操作人员必须进一步地于所述可携式电子装置5的一操作接口上选择“填充作业开始”，这个动作是通过可携式电子装置5通知后方的中央监控系统csrc，令其监控人员确知目前在特定的槽区管制门4处以准备开始进行流体填充作业。

将化学品补充至指定的大型化学品容置槽以前，如图3a的(d)图所示，必须先以可携式电子装置5读取所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元81、所述料品信息携载单元31、与所述槽区信息携载单元41，以确知操作人员条形码、驾驶条形码、槽车条形码及料品条形码、与槽区条形码。继续地，如图3b的(a)图所示，中央监控系统csrc所述可携式电子装置5要求操作人员输入欲进行填充作业的化学品的基本信息。此基本信息的输入可以通过所述可携式电子装置5读取所述料品信息携载单元31的方式快速完成。同时，如图3b的(b)图所示，操作人员还须以可携式电子装置5读取所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元81、所述槽区信息携载单元41、与所述容置槽信息携载单元61，以令后端的中央监控系统csrc可以重复确认执行化学填充作业的操作人员与运送人员的资本资料。同时，中央监控系统csrc也可以重复确认欲进行化学填充作业的化学品(即，化学品槽车所运送的特定料品)、流体容置槽6与所述流体容置槽6所属的流体容置槽区。

在完成操作人员、运送人员、化学品槽车所运送的特定料品、流体容置槽区、与流体容置槽6的重复确认之后，后端的中央监控系统csrc会打开所述槽区管制门4的门锁，令操作人员与运送人员可以着手将化学品槽车驶至指定的化学槽厂区，并将化学品补充至指定的大型化学品容置槽之中，完成化学品的填充作业。之后，如图3b的(c)图所示，在通过所述可携式电子装置5选择一填充作业结束的选项后，系统会再要求操作人员重复以可携式电子装置5读取所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元81、所述料品信息携载单元31、与所述槽区信息携载单元41(如图3b的(d)图所示)。如此，后端的中央监控系统csrc便可得知所述化学品填充作业已经完成，进而启用所述槽区管制门4的门锁。

请再重复参阅图1，并请同时参阅图4a与图4b，是显示执行流体填充抽取(回收)作业的时候所述可携式电子装置的屏幕的正视图。于流体抽取作业的实际操作流程上，如图4a的(a)图所示，需要通过所述可携式电子装置5选择执行一流体抽取作业。接着，如图4a的(b)图所示，若欲进行抽取作业的化学流体为化学废液，则操作人员必须进一步地于所述可携式电子装置5的一操作接口上选择“化学废液槽车”。继续地，如图4a的(c)图所示，操作人员必须进一步地于所述可携式电子装置5的一操作接口上选择“抽取作业开始”，这个动作是通过可携式电子装置5通知后方的中央监控系统csrc，令其监控人员确知目前在特定的槽区管制门4处以准备开始进行流体抽取作业。

将化学废液槽车移动至指定的大型化学品容置槽以前，如图4a的(d)图所示，必须先以可携式电子装置5读取所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元81、所述料品信息携载单元31、与所述槽区信息携载单元41，以确知操作人员条形码、驾驶条形码、槽车条形码及料品条形码、与槽区条形码。继续地，后端的中央监控系统csrc会打开所述槽区管制门4的门锁，令操作人员与运送人员可以着手将化学品槽车驶至指定的化学槽厂区，并将化学废液自(化学废液)流体容置槽6之中抽出，并灌充至化学废液朝槽车内。完成化学品的填充作业之后，如图4b的(a)图所示，操作人员必须通过所述可携式电子装置5选择一抽取作业结束的选项；之后，如图4b的(b)图所示，系统会再要求操作人员重复以可携式电子装置5读取所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元81、所述料品信息携载单元31、与所述槽区信息携载单元41。之后，后端的中央监控系统csrc便可得知所述化学品填充作业已经完成，进而启用所述槽区管制门4的门锁。

第二实施例

显然地，图1、图3a、图3b、与上述说明是描述了如何使用本发明的流体填充与抽取系统完成化学液体的填充作业与抽取(回收)作业。继续地，下文将继续描述如何使用本发明的流体填充与抽取系统完成化学气体的填充作业。请参阅图5，是显示本发明的一种流体填充与抽取系统的第二实施例的架构图。特别说明的是，于第二实施例中，所述中央监控系统csrc除了通过控制装置7监视与控制所述槽区管制门4的门禁管理之外，还同时通过所述控制装置7启用或解除一阀门保护装置ad的启用与解除。所述阀门保护装置ad被业界称为autoguard，用以防止气体阀门在未经中央监控系统csrc的核准下被任意打开。主要原因在于，半导体制程所使用的化学气体，例如:nh3或sih4，因此，执行化学气体的填充作业或抽取作业，都必须在中央监控系统csrc解除阀门保护装置ad之后，始得以开始进行。

请重复参阅图5，并请同时参阅图6a与图6b，是显示执行流体填充作业的时后所述可携式电子装置的屏幕的正视图。此处进行流体填充作业的特定料品是为化学气体。于(化学气体)流体填充作业的实际操作流程上，如图6a的(a)图所示，需要通过所述可携式电子装置5选择执行一流体填充作业。接着，如图6a的(b)图所示，由于化学品槽车所运送的化学品为化学气体，因此操作人员必须进一步地于所述可携式电子装置5的一操作接口上选择“化学气体槽车”。继续地，如图6a的(c)图所示，操作人员必须进一步地于所述可携式电子装置5的一操作接口上选择“填充作业开始”，这个动作是通过可携式电子装置5通知后方的中央监控系统csrc，令其监控人员确知目前在特定的槽区管制门4处以准备开始进行流体填充作业。

将化学气体灌充至指定的大型化学品容置槽以前，如图6a的(d)图所示，必须先以可携式电子装置5读取所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元81、所述料品信息携载单元31、与所述槽区信息携载单元41，以确知操作人员条形码、驾驶条形码、槽车条形码及料品条形码、与槽区条形码。后端的中央监控系统csrc在确认执行化学填充作业的操作人员与运送人员的资本资料无误之后，便会打开所述槽区管制门4，令操作人员与运送人员可以着手将化学品槽车驶至指定的化学槽厂区。进一步地，在后端的中央监控系统csrc解除所述阀门保护装置ad(autoguard)之后，操作人员与运送人员便可以开始将化学气体灌充至指定的大型化学品容置槽中，完成化学品的填充作业。之后，如图6b的(a)图与(b)图所示，在通过所述可携式电子装置5选择一填充作业结束的选项后，系统会再要求操作人员重复以可携式电子装置5读取所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元81、所述料品信息携载单元31、与所述槽区信息携载单元41。如此，后端的中央监控系统csrc便可得知所述化学品填充作业已经完成，进而启用所述阀门保护装置ad(autoguard)与槽区管制门4的门锁。

第三实施例

显然地，图5、图6a、图6b、与上述说明是描述了如何使用本发明的流体填充与抽取系统完成化学气体的填充作业。继续地，下文将继续描述如何使用本发明的流体填充与抽取系统完成化学气体的抽取(回收)作业。请参阅图7，是显示本发明一种流体填充与抽取系统的第三实施例的架构图。特别说明的是，于第三实施例之中，至少一槽阀信息携载单元91同时被设置于至少一切换阀单元9之上，且所述切换阀单元9是用以切换所述流体容置槽6的流体输入与流体出入。同时，所述中央监控系统csrc除了通过控制装置7监视与控制所述槽区管制门4的门禁管理之外，还同时通过所述控制装置7启用或解除一阀门保护装置ad的启用与解除。

请再重复参阅图7，并请同时参阅图8a与图8b，是显示执行流体填充抽取(回收)作业的时候所述可携式电子装置的屏幕的正视图。于(化学气体)流体抽取作业的实际操作流程上，如图8a的(a)图所示，需要通过所述可携式电子装置5选择执行一流体抽取作业。接着，如图8a的(b)图所示，若欲进行抽取作业的化学品为化学气体，则操作人员必须进一步地于所述可携式电子装置5的一操作接口上选择“化学气体槽车”。继续地，如图8a的(c)图所示，操作人员必须进一步地于所述可携式电子装置5的一操作接口上选择“抽取作业开始”，这个动作是通过可携式电子装置5通知后方的中央监控系统csrc，令其监控人员确知目前在特定的槽区管制门4处以准备开始进行流体抽取作业。

将化学气体槽车移动至指定的大型化学品容置槽以前，如图8a的(d)图所示，必须先以可携式电子装置5读取所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元81、所述料品信息携载单元31、与所述槽区信息携载单元41，以确知操作人员条形码、驾驶条形码、槽车条形码及料品条形码、与槽区条形码。后端的中央监控系统csrc在确认执行化学品抽取作业的操作人员与运送人员的资本资料无误之后，便会打开所述槽区管制门4，令操作人员与运送人员可以着手将化学气体槽车驶至指定的化学槽厂区。进一步地，在后端的中央监控系统csrc解除所述阀门保护装置ad(autoguard)之后，操作人员与运送人员便可以开始将流体容置槽6内的化学气体抽出，进而灌充至化学气体槽车之中。完成化学品的抽取(回收)作业之后，如图8b的(a)图与(b)图所示，在通过所述可携式电子装置5选择一填充作业结束的选项后，系统会再要求操作人员重复以可携式电子装置5读取所述第一身分信息携载单元21、所述第二身分信息携载单元81、所述料品信息携载单元31、与所述槽区信息携载单元41。如此，后端的中央监控系统csrc便可得知所述化学品填充作业已经完成，进而启用所述阀门保护装置ad(autoguard)与槽区管制门4的门锁。

如此，上述已完整且清楚地说明本发明一种流体填充与抽取系统与方法；并且，通过上述可知本发明具有下列的优点：

(1)本发明提出一种流体填充与抽取系统，包括：至少一第一身分信息携载单元21、至少一第二身分信息携载单元81、至少一料品信息携载单元31、至少一槽区信息携载单元41、至少一容置槽信息携载单元61、以及至少一可携式电子装置5。特别地，在所述可携式电子装置5以其读取单元51读取所述多个信息携载单元(21,81,31,41,61)所携载的基础信息之后，后端的中央监控系统csrc便可以在确认操作人员是否具有执行流体填充作业与/或抽取(回收)作业的操作权限以及所述料品容置器3(即，化学品槽车)所盛装的料品的资处信息是否符合无误之后，允许操作人员执行流体填充作业与/或抽取(回收)作业。如此方式，是能够确保填充作业与抽取作业与相关纪录皆在电子化的系统管理下进行，免除任何的纸本记录，是以能够有效避免任何人为操作异常或者以非符合标准作业程序的方式完成相关作业。

必须加以强调的是，上述的详细说明是针对本发明可行实施例的具体说明，但是所述实施例并非用以限制本发明的专利范围，凡未脱离本发明技艺精神所为的等效实施或变更，均应包含于本案的专利范围中。