准分子激光器环境监测和报警的控制方法及装置与流程

1.本发明涉及准分子激光器领域，具体而言，涉及一种准分子激光器环境监测和报警的控制方法及装置。


背景技术：

2.激光器的出光原理为一些物质(如惰性气体)利用高压使得与其他原子结合成一个不稳定的分子。当该受激准分子从激发态跃迁回基态时，通过受激辐射和谐振放大作用就会有激光发出。
3.准分子激光器作为光刻机光源，最常见的气体物质为氟化氩、氟化氪等，这些气体对人体都具有危害性，再者激光器在曝光的时候，由于能量的产生，也会导致腔内气体温度升高，会影响光源的质量。
4.为了保证准分子激光器在出现一些非正常的状态，如温度过高、气体泄漏等情况能够及时的发现，需要有一个实时的监控系统对激光器的参数进行记录和监测以保证操作人员和设备的安全。


技术实现要素：

5.本发明实施例提供了一种准分子激光器环境监测和报警的控制方法及装置，以至少保证准分子激光器出现一些非正常状态能够被及时处理。
6.根据本发明的一实施例，提供了一种准分子激光器环境监测和报警的控制方法，包括以下步骤：
7.对准分子激光器参数在特定工作范围的特定值进行初始化；
8.对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，确保配置表以及错误码表存在以及正确；
9.启动两个线程分别对准分子激光器参数进行采集和监控，包括参数采集线程和参数监控线程；参数采集线程负责间隔固定时间从底层采集准分子激光器的参数，参数监控线程负责在准分子激光器运行的不同时刻，检查每一个参数是否都在特定工作范围之内；
10.若出现有任一参数不在特定工作范围之内的情况，则进行报警输出。
11.进一步地，该方法还包括：
12.在运行过程中发生错误时，参数监控线程负责查询是否有匹配的错误码，如果有匹配的错误码，记录该错误同时发出相应的错误警报；如果没有匹配的错误码，则在错误记录的同时发出最高级别的报警，并控制准分子激光器回到待机状态。
13.进一步地，在本监控模式下，将报警线程和参数采集线程的优先级设定高于其他任务，确保错误发生时，第一时间报警。
14.进一步地，对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，确保配置表以及错误码表存在以及正确包括：
15.若配置表以及错误码表中任一表格检查失败，则初始化失败，需检查配置表以及
错误码表是否存在以及表格正确性，若不存在或表格不正确，则返回重新设置配置表以及错误码表。
16.进一步地，报警分为四个级别：正常状态：没有错误发生；警告状态：准分子激光器参数即将超过设定值限制；一般错误状态：激光器参数超过设定值限制；严重错误状态：硬件报错发生，准分子激光器被强制进入待机状态。
17.进一步地，准分子激光器的参数包括：环境温度、水流量，腔体温度、气体压力、水流量。
18.根据本发明的另一实施例，提供了一种准分子激光器环境监测和报警的控制装置，包括：
19.参数初始化单元，用于对准分子激光器参数在特定工作范围的特定值进行初始化；
20.检查单元，用于对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，确保配置表以及错误码表存在以及正确；
21.线程启动单元，用于启动两个线程分别对准分子激光器参数进行采集和监控，包括参数采集线程和参数监控线程；参数采集线程负责间隔固定时间从底层采集准分子激光器的参数，参数监控线程负责在准分子激光器运行的不同时刻，检查每一个参数是否都在特定工作范围之内；
22.报警单元，用于若出现有任一参数不在特定工作范围之内的情况，则进行报警输出。
23.进一步地，该装置还包括：
24.错误码查询单元，用于在运行过程中发生错误时，参数监控线程负责查询是否有匹配的错误码，如果有匹配的错误码，记录该错误同时发出相应的错误警报；如果没有匹配的错误码，则在错误记录的同时发出最高级别的报警，并控制准分子激光器回到待机状态。
25.一种存储介质，该存储介质存储有能够实现如上任意一项准分子激光器环境监测和报警的控制方法的程序文件。
26.一种处理器，该处理器用于运行程序，其中，该程序运行时执行如上任意一项准分子激光器环境监测和报警的控制方法。
27.本发明实施例中的准分子激光器环境监测和报警的控制方法及装置，首先对准分子激光器参数进行初始化，并对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，同时启动两个线程分别对准分子激光器参数进行采集和监控，若出现有任一参数不在特定工作范围之内的情况，则进行报警输出，为后续的研发提供数据支持，同时保证操作人员安全。
附图说明
28.此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本技术的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
29.图1为本发明准分子激光器环境监测和报警的控制方法的流程图；
30.图2为本发明准分子激光器环境监测和报警的控制方法的优选流程图；
31.图3为本发明准分子激光器环境监测和报警的控制装置的模块图；
32.图4为本发明准分子激光器环境监测和报警的控制装置的优选模块图；
33.图5为本发明准分子激光器环境监测和报警的控制装置的模块连接示意图。
具体实施方式
34.为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
35.需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
36.本发明提出了一种准分子激光器环境监测和报警的控制方法及装置，该方法及装置旨在能够时刻监测准分子激光器的状态，保证其运行在合适的状态。一旦准分子激光器参数出现问题，立即报警并记录，为后续的研发提供数据支持，同时保证操作人员安全。
37.本发明为准分子激光器提供了一种新参数监控和报警模式，利用任务优先级实现错误的及时发现，然后设定不同的报警级别并在出现错误发生报警时，以报警灯的形式通知相关人员，进行响应操作，将报警信息进行记录以便后期错误追踪，且为准分子激光器的光源和环境参数关系提供了数据而且保障了操作人员的安全。同时也可查看在准分子激光器曝光过程中，是否有一些参数变量发生变化而影响光源的质量。
38.实施例1
39.根据本发明一实施例，提供了一种准分子激光器环境监测和报警的控制方法，参见图1，包括以下步骤：
40.s100:对准分子激光器参数在特定工作范围的特定值进行初始化；
41.s200:对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，确保配置表以及错误码表存在以及正确；
42.s300:启动两个线程分别对准分子激光器参数进行采集和监控，包括参数采集线程和参数监控线程；参数采集线程负责间隔固定时间从底层采集准分子激光器的参数，参数监控线程负责在准分子激光器运行的不同时刻，检查每一个参数是否都在特定工作范围之内；
43.s400:若出现有任一参数不在特定工作范围之内的情况，则进行报警输出。
44.本发明实施例中的准分子激光器环境监测和报警的控制方法，首先对准分子激光器参数进行初始化，并对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，同时启动两个线程分别对准分子激光器参数进行采集和监控，若出现有任一参数不在特定工作范围之内的情况，则进行报警输出，为后续的研发提供数据支持，同时保证操作人员安全。
45.其中，参见图2，该方法还包括：
46.s500:在运行过程中发生错误时，参数监控线程负责查询是否有匹配的错误码，如果有匹配的错误码，记录该错误同时发出相应的错误警报；如果没有匹配的错误码，则在错误记录的同时发出最高级别的报警，并控制准分子激光器回到待机状态。
47.其中，在本监控模式下，将报警线程和参数采集线程的优先级设定高于其他任务，确保错误发生时，第一时间报警。
48.其中，对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，确保配置表以及错误码表存在以及正确包括：
49.若配置表以及错误码表中任一表格检查失败，则初始化失败，需检查配置表以及错误码表是否存在以及表格正确性，若不存在或表格不正确，则返回重新设置配置表以及错误码表。
50.其中，报警分为四个级别：正常状态：没有错误发生；警告状态：准分子激光器参数即将超过设定值限制；一般错误状态：激光器参数超过设定值限制；严重错误状态：硬件报错发生，准分子激光器被强制进入待机状态。
51.其中，准分子激光器的参数包括：环境温度、水流量，腔体温度、气体压力、水流量。
52.下面以具体的实施例，对本发明准分子激光器环境监测和报警的控制方法进行详细描述。
53.在准分子激光器初始化阶段，完成所有准分子激光器参数在特定工作范围的特定值初始化以及配置表或者错误码表的检查。如果配置表或者错误码表中任一表格检查失败，则初始化失败，需在数据库中检查表格是否存在以及表格正确性。然后启动两个线程分别对参数进行监控和采集。参数采集线程负责间隔固定时间从底层采集准分子激光器的参数，比如环境温度、水流量，腔体温度、气体压力、水流量等等，然后保存到数据库中。参数监控线程主要负责在准分子激光器运行的不同时刻，检查每一个参数是否都在合理的范围之内。在实时操作系统中，可以对任务进行优先级设定，在本监控模式下，将报警线程和参数采集线程的优先级设定高于其他任务，确保错误发生时，第一时间报警。
54.在运行过程中，一旦错误发生，参数监控线程负责到数据库中查询是否有匹配的错误码，如果有，记录该错误同时通知报警灯控制i/o卡发出相应的错误警报通知操作人员和光刻机。如果查询没有相应的错误码，则认为该错误是最高级别的错误，在错误记录的同时，报警灯发出最高级别的报警。同时，准分子激光器要回到待机状态，即停止一切硬件设备的运行。
55.在本发明中报警大致分为四个级别：正常状态：没有错误发生；警告状态：准分子激光器参数即将超过设定值限制；一般错误状态：激光器参数超过设定值限制；严重错误状态：硬件报错发生，机台被强制进入待机状态。
56.实施例2
57.根据本发明的另一实施例，提供了一种准分子激光器环境监测和报警的控制装置，参见图3，包括：
58.参数初始化单元201，用于对准分子激光器参数在特定工作范围的特定值进行初始化；
59.检查单元202，用于对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，确保配置表以及错误码表存在以及正确；
60.线程启动单元203，用于启动两个线程分别对准分子激光器参数进行采集和监控，包括参数采集线程和参数监控线程；参数采集线程负责间隔固定时间从底层采集准分子激光器的参数，参数监控线程负责在准分子激光器运行的不同时刻，检查每一个参数是否都在特定工作范围之内；
61.报警单元204，用于若出现有任一参数不在特定工作范围之内的情况，则进行报警输出。
62.本发明实施例中的准分子激光器环境监测和报警的控制装置，首先对准分子激光器参数进行初始化，并对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，同时启动两个线程分别对准分子激光器参数进行采集和监控，若出现有任一参数不在特定工作范围之内的情况，则进行报警输出，为后续的研发提供数据支持，同时保证操作人员安全。
63.其中，参见图4，该装置还包括：
64.错误码查询单元205，用于在运行过程中发生错误时，参数监控线程负责查询是否有匹配的错误码，如果有匹配的错误码，记录该错误同时发出相应的错误警报；如果没有匹配的错误码，则在错误记录的同时发出最高级别的报警，并控制准分子激光器回到待机状态。
65.下面以具体的实施例，对本发明准分子激光器环境监测和报警的控制装置进行详细描述。
66.准分子激光器环境监测和报警的控制装置的模块连接示意图如图5所示。激光器业务内核-laser_kernel为准分子激光器的业务逻辑模块，分别与数据库操作函数库(databaselib库)、数据监控程序库(monitorlib库)连接；数据库操作函数库负责对数据库(database)的读取储存操作进行控制；数据监控程序库负责准分子激光器参数的监控和报警，并连接有i/o卡(i/o card)。在该控制装置的设计中，通过数据监控程序库对准分子激光器中业务逻辑模块的参数监控和对i/o卡的控制实现错误报警。
67.实施例3
68.一种存储介质，该存储介质存储有能够实现如上任意一项准分子激光器环境监测和报警的控制方法的程序文件。
69.实施例4
70.一种处理器，该处理器用于运行程序，其中，该程序运行时执行如上任意一项准分子激光器环境监测和报警的控制方法。
71.上述本发明实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。
72.在本发明的上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。
73.在本技术所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的技术内容，可通过其它的方式实现。其中，以上所描述的系统实施例仅仅是示意性的，例如单元的划分，可以为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，单元或模块的间接耦合或通信连接，可以是电性或其它的形式。
74.作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的
部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
75.另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。
76.集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可为个人计算机、服务器或者网络设备等)执行本发明各个实施例方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：u盘、只读存储器(rom，read-only memory)、随机存取存储器(ram，random access memory)、移动硬盘、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
77.以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。