版图图形的透过率赋值方法、装置、设备和存储介质与流程

1.本技术涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种版图图形的透过率赋值方法、装置、设备和存储介质。


背景技术：

2.在半导体制造业中，集成电路版图的数据通常存储为gdsii文件，gdsii文件中，版图图形的形状数据通常包含图形所包含的多边形的顶点信息。
3.参考图1，其示出了相关技术中提供的一个集成电路版图的局部示意图，如图1所示，该版图包括图形100，其具有四个顶点a1、b1、c1、d1，其对应的gdsii文件包括{[a1,b1,c1,d1,a1]}{[(0,0),(1,0),(1,10),(10,0),(0,0)]}，即，gdsii文件中，图形的形状特征是绕封闭图形一周顺次的顶点信息(顶点以及其对应的坐标)，且首位相接。
[0004]
在光刻仿真过程中，需要根据版图数据对仿真的二维网格进行透过率赋值(又被称为版图数据的“光栅化”)，即根据版图数据得到图形的二维网格，对该二维网格中每个格点的透过率进行赋值。
[0005]
然而，由于在gdsii文件中，图形的形状是其所包含的多边形的顶点信息，因此难以通过顶点信息判断顶点所围绕的局部图形是在图形内还是在图形外，从而降低了仿真的准确度。


技术实现要素：

[0006]
本技术提供了一种版图图形的透过率赋值方法、装置、设备和存储介质，可以解决相关技术中提供的版图图形的透过率赋值方法仿真的准确度较低的问题。
[0007]
一方面，本技术实施例提供了一种版图图形的透过率赋值方法，包括：
[0008]
对目标图形的顶点构成的点阵进行剖分得到至少两个三角形，所述目标图形是所述版图图形中需要进行透过率赋值的图形，所述三角形由三个所述顶点构成，任一三角形的外接圆的区域内不包含其它的顶点；
[0009]
根据所述三角形的重心确定所述三角形中的第一类三角形和第二类三角形，所述第一类三角形是在所述目标图形所在的区域内的三角形，所述第二类三角形是在所述目标图形所在的区域外的三角形；
[0010]
根据所述三角形所属的类型对所述目标图形进行透过率赋值。
[0011]
可选的，所述根据所述三角形的重心确定所述三角形中的第一类三角形和第二类三角形，包括：
[0012]
对于任一重心，计算所述重心与每个所述顶点中任意两个连续的顶点构成的矢量角度；
[0013]
对所述矢量角度进行矢量求和，得到所述重心的矢量角度和；
[0014]
当所述矢量角度和为零时，确定所述重心对应的三角形为所述第二类三角形。
[0015]
可选的，还包括：
[0016]
当所述矢量角度和不为零时，确定所述重心对应的三角形为所述第一类三角形。
[0017]
可选的，所述对目标图形的顶点构成的点阵进行剖分得到至少两个三角形，包括：
[0018]
对所述点阵通过delaunay三角剖分算法进行所述剖分得到所述三角形。
[0019]
可选的，所述根据所述三角形所属的类型对所述目标图形进行透过率赋值，包括：
[0020]
根据预设的精度生成所述目标图形所在图层的二维网格；
[0021]
对所述第一类三角形所在的区域的网格进行透过率赋值；
[0022]
对所述二维网格中其它区域的网格进行透过率赋值。
[0023]
可选的，所述第一类型三角形所在的区域中存在透过率不同的区域。
[0024]
可选的，所述其它区域的透过率相同。
[0025]
另一方面，本技术实施例提供了一种版图图形的透过率赋值装置，包括：
[0026]
识别模块，用于对目标图形的顶点构成的点阵进行剖分得到至少两个三角形，所述目标图形是所述版图图形中需要进行透过率赋值的图形，所述三角形由三个所述顶点构成，任一三角形的外接圆的区域内不包含其它的顶点；根据所述三角形的重心确定所述三角形中的第一类三角形和第二类三角形，所述第一类三角形是在所述目标图形所在的区域内的三角形，所述第二类三角形是在所述目标图形所在的区域外的三角形；
[0027]
赋值模块，用于根据所述三角形所属的类型对所述目标图形进行透过率赋值。
[0028]
另一方面，本技术实施例提供了一种计算机设备，包括处理器和存储器，所述存储器中存储有至少一条指令或程序，所述指令或程序由所述处理器加载并执行以实现如上任一所述的版图图形的透过率赋值方法。
[0029]
另一方面，本技术实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述存储介质中存储有至少一条指令，所述指令由处理器加载并执行以实现如上任一所述的版图图形的透过率赋值方法。
[0030]
本技术技术方案，至少包括如下优点：
[0031]
通过对目标图形的顶点构成的点阵进行剖分得到至少两个三角形，根据三角形的重心判断三角形是否是位于目标图形所在的区域内，从而分别对位于目标图形所在的区域内外的三角形进行透过率赋值，解决了相关技术中提供的赋值方法难以判断顶点环绕的区域是否在图形的区域内所导致的赋值准确率较低的问题，提高了透过率赋值的准确度。
附图说明
[0032]
为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0033]
图1是相关技术中提供的一个集成电路版图的局部示意图；
[0034]
图2是本技术一个示例性实施例提供的版图图形的透过率赋值方法的流程图；
[0035]
图3是本技术一个示例性实施例提供的版图图形的透过率赋值方法中，根据点阵剖分得到的三角形的示意图；
[0036]
图4是本技术一个示例性实施例提供的版图图形的透过率赋值方法的流程图；
[0037]
图5是计算得到的三角形的重心的示意图；
[0038]
图6是一个重心所对应的矢量角度的示意图；
[0039]
图7是目标图形所在的局部区域的二维网格的示意图；
[0040]
图8是本技术一个示例性实施例提供的版图图形的透过率赋值装置的框图；
[0041]
图9是本技术一个示例性实施例提供的计算机设备的框图。
具体实施方式
[0042]
下面将结合附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0043]
在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0044]
在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电气连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0045]
此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0046]
参考图2，其示出了本技术一个示例性实施例提供的版图图形的透过率赋值方法的流程图，该方法可由计算机设备执行，如图2所示，该方法包括：
[0047]
步骤201，对目标图形的顶点构成的点阵进行剖分得到至少两个三角形。
[0048]
其中，目标图形是版图图形中需要进行透过率赋值的图形，三角形由三个顶点构成，任一三角形的外接圆的区域内不包含其它的顶点。
[0049]
参考图3，其示出了根据点阵剖分得到的三角形的示意图。示例性的，如图3所示，以目标图形为z字型图形为例进行说明，z字型的目标图形具有8个顶点300，顶点300构成的点阵根据上述规则进行剖分，得到三角形1、2、3、4、5、6、7、8，这些三角形中任一三角形的外接圆的区域内不包含其它的顶点。其中，可通过delaunay三角剖分算法对点阵进行剖分得到所需的三角形。
[0050]
需要说明的，本技术实施例中，选择delaunay三角剖分算法对点阵进行剖分的有益效果在于：通过该算法对点阵进行剖分，其不会因为选点起点的不同对结果有影响，从而提高了剖分的准确度。
[0051]
步骤202，根据三角形的重心确定三角形中的第一类三角形和第二类三角形，第一类三角形是在目标图形所在的区域内的三角形，第二类三角形是在目标图形所在的区域外的三角形。
[0052]
由于根据上述规则进行剖分得到的三角形为凸包图形，因此三角形的重心在三角
形的内部，因此可通过判断三角形的重心是否在目标图形所在的区域内确定该重心所对应的三角形是否在目标图形所在的区域内，进而实现对三角形的类型进行判断。
[0053]
步骤203，根据三角形所属的类型对目标图形进行透过率赋值。
[0054]
通常，在目标图形所在的区域内外的透过率不同，可通过预设的数值分别对第一类型的三角形所在的区域进行透过率赋值，以及其它区域进行透过率赋值，进而实现了对目标图形进行透过率赋值。
[0055]
综上所述，本技术实施例中，通过对目标图形的顶点构成的点阵进行剖分得到至少两个三角形，根据三角形的重心判断三角形是否是位于目标图形所在的区域内，从而分别对位于目标图形所在的区域内外的三角形进行透过率赋值，解决了相关技术中提供的赋值方法难以判断顶点环绕的区域是否在图形的区域内所导致的赋值准确率较低的问题，提高了透过率赋值的准确度。
[0056]
参考图4，其示出了本技术一个示例性实施例提供的版图图形的透过率赋值方法的流程图，该方法可以是图2实施例的一种可选的实施方式，其可以由计算机设备执行，如图4所示，该方法包括：
[0057]
步骤401，对目标图形的顶点构成的点阵通过delaunay三角剖分算法进行剖分得到至少两个三角形。
[0058]
示例性的，可获取版图图形的gdsii文件(其包含每个版图图形的精度、结构类型和顶点坐标)，将结构类型(包括版图图形的线条、版图图形包含的多边形(通常为矩形)、多边形的顶点构成的点阵等)转化为填充多边形类型，获取其中目标图形所包含的多边形的顶点坐标，通过delaunay三角剖分算法计算得到每个三角形的顶点坐标。
[0059]
步骤402，计算得到三角形的重心。
[0060]
示例性的，根据每个三角形的顶点坐标计算得到其重心。参考图5，其示出了计算得到的三角形的重心的示意图。如图5所示，根据上述规则进行剖分得到的三角形1至8为凸包图形，因此每个三角形的重心301在其内部。
[0061]
步骤403，对于任一重心，计算重心与每个顶点中任意连续的两个顶点构成的矢量角度。
[0062]
参考图6，其示出了一个重心所对应的矢量角度的示意图。示例性的，如图6所示，以三角形3的重心为例进行说明，可定义顺时针方向为正，负时针方向为负，通过该重心遍历每个顶点，得到该重心与相邻的顶点构成的线段所形成的夹角11、12、13、14、15、16、17、18、19(如图5所示，箭头方向即为角度的方向)，根据定义的方向，得到上述夹角的矢量角度。
[0063]
步骤404，对矢量角度进行矢量求和，得到重心的矢量角度和。
[0064]
通过步骤403，即可得到每个重心所对应的矢量角度，对于每个重心，计算得到其对应的矢量角度，得到每个重心的矢量角度和。
[0065]
步骤405，根据每个重心的矢量角度和确定该重心对应的三角形的类型。
[0066]
当矢量角度和为零时，确定该重心对应的三角形为第二类三角形；当矢量角度和不为零(通常为
±
360
°
)时，确定重心对应的三角形为所述第一类三角形。
[0067]
步骤406，根据预设的精度生成目标图形所在图层的二维网格。
[0068]
步骤407，对第一类三角形所在的区域的网格进行透过率赋值。
[0069]
参考图7，其示出了目标图形所在的局部区域的二维网格的示意图。示例性的，如图7所示，在对目标图形进行透过率赋值时，可去除位于目标图形所在的区域外的第三角形(即第二类型的三角形3、7)，根据预设的数值对第一类三角形所在的区域的网格进行透过率赋值。其中，第一类型三角形所在的区域中可存在透过率不同的区域，例如，图7中，三角形1、2、4、5、6所在的区域具有不同的透过率，可根据预设的数值对三角形1、2、4、5、6所在的区域的网格分别进行透过率赋值。
[0070]
步骤408，对二维网格中其它区域的网格进行透过率赋值。
[0071]
其中，其它区域的透过率相同。可根据预设的数值对二维网格中其它区域的网格进行透过率赋值。
[0072]
参考图8，其示出了本技术一个示例性实施例提供的版图图形的透过率赋值装置的框图，该装置可以通过软件、硬件或者两者的结合实现成为上述实施例中的计算机设备，该装置包括识别模块810和赋值模块820。
[0073]
识别模块810，用于对目标图形的顶点构成的点阵进行剖分得到至少两个三角形，目标图形是版图图形中需要进行透过率赋值的图形，三角形由三个顶点构成，任一三角形的外接圆的区域内不包含其它的顶点；根据三角形的重心确定三角形中的第一类三角形和第二类三角形，第一类三角形是在目标图形所在的区域内的三角形，第二类三角形是在目标图形所在的区域外的三角形。
[0074]
赋值模块820，用于根据三角形所属的类型对目标图形进行透过率赋值。
[0075]
可选的，识别模块810，还用于对于任一重心，计算重心与每个顶点中任意两个连续的顶点构成的矢量角度；对矢量角度进行矢量求和，得到重心的矢量角度和；当矢量角度和为零时，确定重心对应的三角形为第二类三角形。
[0076]
可选的，识别模块810，还用于当矢量角度和不为零时，确定重心对应的三角形为第一类三角形。
[0077]
可选的，识别模块810，还用于对点阵通过delaunay三角剖分算法进行剖分得到三角形。
[0078]
可选的，赋值模块820，还用于根据预设的精度生成目标图形所在图层的二维网格；对第一类三角形所在的区域的网格进行透过率赋值；对二维网格中其它区域的网格进行透过率赋值。
[0079]
可选的，第一类型三角形所在的区域中存在透过率不同的区域。
[0080]
可选的，其它区域的透过率相同。
[0081]
参考图9，其示出了本技术一个示例性的实施例提供的计算机设备的框图。该计算机设备可以是执行上述任一方法实施例的设备，其包括：处理器910以及存储器920。
[0082]
处理器910可以是中央处理器(central processing unit，cpu)，网络处理器(network processor，np)或者cpu和np的组合。处理器910还可以进一步包括硬件芯片。上述硬件芯片可以是专用集成电路(application-specific integrated circuit，asic)，可编程逻辑器件(programmable logic device，pld)或其组合。上述pld可以是复杂可编程逻辑器件(complex programmable logic device，cpld)，现场可编程逻辑门阵列(field-programmable gate array，fpga)，通用阵列逻辑(generic array logic，gal)或其任意组合。
[0083]
存储器920通过总线或其它方式与处理器910相连，存储器920中存储有至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集，上述至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集由处理器910加载并执行以实现如上任一实施例中提供的版图图形的透过率赋值方法。存储器920可以为易失性存储器(volatile memory)，非易失性存储器(non-volatile memory)或者它们的组合。易失性存储器可以为随机存取存储器(random-access memory，ram)，例如静态随机存取存储器(static random access memory，sram)，动态随机存取存储器(dynamic random access memory，dram)。非易失性存储器可以为只读存储器(read only memory image，rom)，例如可编程只读存储器(programmable read only memory，prom)，可擦除可编程只读存储器(erasable programmable read only memory，eprom)，电可擦除可编程只读存储器(electrically erasable programmable read-only memory，eeprom)。非易失性存储器也可以为快闪存储器(flash memory)，磁存储器，例如磁带(magnetic tape)，软盘(floppy disk)，硬盘。非易失性存储器也可以为光盘。
[0084]
本技术还提供一种计算机可读存储介质，该存储介质中存储有至少一条指令、至少一段程序、代码集或指令集，所述至少一条指令、所述至少一段程序、所述代码集或指令集由所述处理器加载并执行以实现如上述任一实施例所述的版图图形的透过率赋值方法。
[0085]
本技术还提供了一种计算机程序产品，当计算机程序产品在计算机上运行时，使得计算机执行上述各个方法实施例提供的版图图形的透过率赋值方法。
[0086]
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本技术创造的保护范围之中。