可折叠触摸屏电极结构、触摸屏以及触摸显示装置的制作方法

1.本实用新型涉及触摸屏领域，特别涉及一种可折叠触摸屏电极结构、触摸屏以及触摸显示装置。


背景技术：

2.可折叠触摸屏中，在玻璃基板上镀铜制作金属网格触摸屏，直接使用溅射方式也是无法达到折叠需要的粘结力，即所产生的粘结力无法达到百格刀测试》5b的条件。


技术实现要素：

3.本实用新型的主要目的是提供一种可折叠触摸屏电极结构、触摸屏以及触摸显示装置，旨在解决现有技术中金属网格层与可折叠玻璃基板粘接力不足的技术问题。
4.为实现上述目的，第一方面，本实用新型提出的一种可折叠触摸屏电极结构，包括：
5.玻璃基板，所述玻璃基板的表面具有氧化物层；
6.粘结层；以及
7.金属网格层，所述金属网格层通过所述粘结层粘接于所述氧化物层。
8.可选的，所述粘结层为金属氧化物层或者金属氮化物层，所述金属氧化物层或者金属氮化物层均通过反应溅镀工艺或反应蒸镀工艺获得，反应溅镀工艺或反应蒸镀工艺中的金属靶材包括铜、镍、铬、钛中的任一种。。
9.可选的，所述金属网格层的金属材质为铜。
10.可选的，所述粘结层的厚度为1nm-100nm。
11.可选的，所述粘结层的厚度为20-40nm。
12.可选的，所述粘结层消光系数小于5，透过可折叠玻璃测量反射率《40％。
13.可选的，所述粘结层消光系数小于3，透过可折叠玻璃测量反射率《30％。
14.可选的，所述粘结层透过可折叠玻璃测量反射率《8％。
15.第二方面，本实用新型还提供了一种可折叠触摸屏，包括如前所述的可折叠触摸屏电极结构。
16.第三方面，本实用新型还提供了一种触摸显示装置，所述触摸显示装置包括可折叠触摸屏。
17.本实用新型技术方案通过在金属网格层与玻璃基板之间使用粘结层来粘接金属网格层与玻璃基板，从而可提供金属网格铜层线路在可折叠玻璃上优异的粘结力，以满足可折叠的需求。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅
是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
19.图1为本实用新型可折叠触摸屏电极结构一实施例的结构示意图。
20.附图标号说明：
21.标号名称标号名称100玻璃基板101氧化物层200粘结层300金属网格层
22.本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
25.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
26.另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“a和/或b”为例，包括a方案、或b方案、或a和b同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
27.参阅图1，本实用新型一实施例中，一种可折叠触摸屏电极结构，用制作可折叠触摸屏。该可折叠触摸屏电极结构包括：
28.玻璃基板100，玻璃基板100的表面具有氧化物层101；
29.粘结层200；以及，
30.金属网格层300，金属网格层300通过粘结层200粘接于氧化物层101。
31.具体而言，玻璃基板100为触摸屏的基本部件，本实施例中，玻璃基板100为可折叠玻璃(flex-glass)。玻璃基板100的一侧侧壁为玻璃基板100的厚度方向上的侧壁。该侧壁上的氧化物层101为使用高浓度氢氧化钠/高浓度氢氧化钾/氢氟酸等或氧电浆法进行表面微粗化或者增加氧自由基的方式进行表面处理得到。
32.金属网格层300用于导电以起到触摸驱动和感应的作用。金属网格层300的金属可以是铜。金属网格层300通过粘结层200粘接于玻璃基板100的一侧表面上。且金属网格层300中的网格线通过常规的溅镀工艺或者蒸镀工艺或者电镀工艺在粘结层200上得到。
33.容易理解的，可折叠触摸屏一直都是触摸屏的发展路径之一，而要达到可折叠，一个很重要的考量就是复合多层材料在界面的粘结层材料所提供的接着强度。因为在触摸屏反覆折叠中会在界面处产生弯折应力。且在可折叠触摸屏领域中，欲在玻璃上镀铜制作金属网格触摸屏，直接使用溅射方式是无法达到折叠需要的粘结力。
34.本实施例中，通过在金属网格层与玻璃基板之间使用粘结层来粘接金属网格层与玻璃基板，从而可提供金属网格铜层线路在可折叠玻璃上优异的粘结力，以满足可折叠的需求。
35.在一实施例中，粘结层200通过反应溅镀工艺或反应蒸镀工艺获得，反应溅镀工艺或反应蒸镀工艺中添加的活性气体为氧气和/或氮气，金属靶材包括铜、镍、铬、钛中的至少一种。
36.本实施例中，粘结层200通过现有的反应溅镀工艺或反应蒸镀工艺在玻璃基板100上获得。该工艺中金属靶材包括铜、镍、铬、钛中的至少一种，即金属靶材可以是铜合金、镍合金、铬合金或者钛合金或者上述4种金属的二元合金或者三元合金。反应溅射工艺是指在惰性氩气中添加活性气体氮气或者氧气，在溅射金属靶材时，金属靶材会与活性气体反应，在惰性气体溅射化合物靶材时使得获得动能的靶材原子与氧气或者氮气反应在氧化物层101上形成化合物，如氮化物或氧化物。该粘结层200与玻璃板表面的氧化物形成稳定的键结。反应蒸镀工艺是将活性气体氧气或者氮气导入真空室，使氧气或者氮气和蒸发的金属原子，例如铜、镍、铬、钛在玻璃基板100的氧化物层101表面沉积过程中发生反应，形成氧化物或者氮化物。
37.且在得到金属网格层的溅镀或者蒸镀过程中，粘结层200中的金属氧化物或者氮化物与金属网格层300中的金属，例如铜形成稳定的键结。
38.本实施例中，粘结层200为金属氧化物合作和氮化物或者两者的复合化合物，可与金属网格层300的金属形成稳定的键结，同时与玻璃基板100表面的氧化物层101也可以形成稳定的键结。以提供金属网格铜线路在可折叠玻璃上优异的粘结力。
39.在一实施例中，为了使得粘结层200与玻璃基板100和金属网格层300的粘结力满足百格刀测试》5b，粘结层200的厚度为1nm-100nm。作为本实施例的一种选择，粘结层200的厚度为20-40nm。
40.在一实施例中，为了达到可折叠触摸屏中金属网格层300低反射的需求，粘结层200消光系数小于5，透过可折叠玻璃测量反射率《40％。
41.进一步的，粘结层200消光系数小于3，透过可折叠玻璃测量反射率《30％。
42.进一步的，粘结层200透过可折叠玻璃测量反射率《8％。
43.本实用新型还提出一种可折叠触摸屏，该可折叠触摸屏包括可折叠触摸屏电极结构，该可折叠触摸屏电极结构的具体结构参照上述实施例，由于本可折叠触摸屏电极结构采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。本实施例提供的可折叠金属网格触摸屏具有非常优异的粘结层200材料粘结力，即粘结力百格刀测试》5b，此外，粘结层200为金属氧化物或者氮化
物层，使得还具有耐腐蚀、黑化与低反射的特性，可实现线不可视的效果。
44.本实用新型还提出一种触摸显示装置，触摸显示装置包括可折叠触摸屏。该可折叠触摸屏的具体结构参照上述实施例，由于本可折叠金属网格触摸屏采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
45.下面示出几个具体实施例。
46.对比例
47.本实施例中，可折叠触摸屏电极结构包括可折叠玻璃基板100以及金属网格层300。其中，金属网格层300中的铜直接通过溅镀工艺在可折叠玻璃基板100(flex-glass)上获得。即在真空室中，使用惰性氩气(ar gas)加速轰击铜合金靶材，使得铜合金靶材中的cu原子在可折叠玻璃基板100的表面上形成金属网格层300。
48.本实施例获得的可折叠触摸屏电极结构，金属网格层300与可折叠玻璃(flex-glass)粘结力百格刀测试《5b，从玻璃面测试反射率》60％。
49.参阅图1，实施例1
50.本实施例中，可折叠触摸屏电极结构包括可折叠玻璃基板100、粘结层200以及金属网格层300，金属网格层300的金属材质为铜，粘结层200为铜的氮化物，金属网格层300通过粘结层200粘接于可折叠玻璃基板100的氧化物层101上。
51.该可折叠触摸屏电极结构的制备工艺为：
52.步骤s101：通过高浓度氢氧化钠对可折叠玻璃基板100的表面进行微粗化得到氧化物层101。
53.步骤s102：将可折叠玻璃基板100移至真空室中，使用常规反应溅镀工艺对氧化物层101处理得到粘结层200。即使用添加有氮气(n2)的惰性氩气(ar gas)加速轰击铜合金靶材，使得铜合金靶材中获得动能的cu与n2反应，在可折叠玻璃基板100的氧化物层101上形成铜的氮化物。此时，铜的氮化物与可折叠玻璃基板100上的氧化物层101形成稳定的键结。在此过程中，通过控制ar gas中n2的含量，使得铜的氮化物可表示为cu3n。
54.步骤s103：在真空室中，使用常规反应溅镀工艺对粘结层200处理得到金属网格层300。即再通过惰性氩气(ar gas)加速轰击铜合金靶材，使得铜合金靶材中的cu原子在粘结层200上形成金属网格层300。粘结层200内的氮化物cu3n与金属铜形成稳定的键结。
55.本实施例获得的可折叠触摸屏电极结构，金属网格层300与可折叠玻璃(flex-glass)粘结力百格刀测试＞5b，从玻璃面测试反射率为24％。
56.实施例2
57.参阅图1，本实施例中，可折叠触摸屏电极结构包括可折叠玻璃基板100、粘结层200以及金属网格层300，金属网格层300的金属材质为铜，粘结层200为铜的氧化物，金属网格层300通过粘结层200粘接于可折叠玻璃基板100的氧化物层101上。
58.该可折叠触摸屏电极结构的制备工艺为：
59.步骤s201：通过高浓度氢氧化钠对可折叠玻璃基板100的表面进行微粗化得到氧化物层101。
60.步骤s202：将可折叠玻璃基板100移至真空室中，使用常规反应溅镀工艺得到粘结层200。即使用添加有氧气(o2)的惰性氩气(ar gas)加速轰击铜合金靶材，使得铜合金靶材
中获得动能的cu与o2反应，在可折叠玻璃基板100的氧化物层101上形成铜的氧化物。此时，铜的氧化物与可折叠玻璃基板100上的氧化物层101形成稳定的键结。在此过程中，通过控制ar gas中o2的含量，使得铜的氧化物可表示为cuo
1.5
。
61.步骤s203：在真空室中，使用常规反应溅镀工艺得到金属网格层300。即再通过惰性氩气(ar gas)加速轰击铜合金靶材，使得铜合金靶材中的cu原子在粘结层200上形成金属网格层300。粘结层200内的氧化物cuo
1.5
与金属铜形成稳定的键结。
62.本实施例获得的可折叠触摸屏电极结构，金属网格层300与可折叠玻璃(flex-glass)粘结力百格刀测试＞5b，从玻璃面测试反射率为16％。
63.以上所述仅为本实用新型的可选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。