一种GaNHEMT器件阈值电压及漏极电流模型的建立方法

一种gan hemt器件阈值电压及漏极电流模型的建立方法
技术领域
1.本发明涉及半导体器件技术领域，具体涉及一种gan hemt器件阈值电压及漏极电流模型建立方法。


背景技术：

2.随着智能手机、新能源汽车、人工智能等新兴应用的发展，全球能源和环境危机突出，能源利用趋向低功耗和精细管理，第一、二代半导体材料已经无法满足需求。以氮化镓为代表的第三代宽禁带半导体材料禁带宽度大，热导率高，具有更高的开关速度、更高的阻断电压、更低的导通损耗、以及更高的工作温度使得氮化镓器件在快充、激光雷达、数据中心等高频、高电压、高功率密度领域发展迅速，市场份额逐年扩大。
3.gan hemt在高频、高电压开关电路中，器件的表面陷阱、缓冲层体陷阱等陷阱在器件在关态高栅漏电压下对沟道载流子的捕获而在氮化镓器件在转换至开态时未能及时释放，导致沟道内电子或空穴数量的降低，从而引发的器件的阈值电压漂移与电流崩塌。目前，主流的gan hemt器件模型在不同开关频率和不同漏源电压下对器件阈值电压及漏极电流的仿真值均保持一致，无法预测器件阈值电压漂移与电流崩塌现象，这阻碍了高开关频率、高漏源电压氮化镓集成电路的设计。


技术实现要素：

4.针对上述问题，本发明提供一种形式简洁、物理概念清晰的gan hemt器件阈值电压及漏极电流模型建立方法，解决目前主流模型在电路仿真平台中无法对gan hemt器件在不同开关频率不同漏源电压下的阈值电压漂移与电流崩塌现象的精确预测，提升了模型对阈值电压及漏极电流的预测精度。为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
5.首先本发明以薛定谔泊松方程、费米狄拉克统计以及陷阱中心对沟道载流子的捕获与释放效应，建立的gan hemt器件阈值电压及漏极电流模型解析表达式如下
[0006][0007][0008][0009]
利用氮化镓器件特性表征仪器，测量gan hemt器件静态下以及不同开关频率、不同漏源电压下阈值电压与输出特性。使用本方法gan hemt器件阈值电压及漏极电流模型对氮化镓器件测量阈值电压和器件输出特性曲线进行模型拟合，提取出与陷阱能级、陷阱数量相关系数k、b、c、d，阈值电压频率拟合因子m1、m2、n1、n2，载流子饱和漂移速度vsat，低场迁移率u0，迁移率退化系数ua、ub，实现在不同频率不同漏源电压下对gan hemt器件阈值电
压漂移与电流崩塌现象的精确预测。
附图说明
[0010]
图1为本发明以陷阱能级捕获电子建立的电路模型示意图；
[0011]
图2为本发明阈值电压及漏极电流模型建立流程示意图；
[0012]
图3为本发明氮化镓hemt器件动态应力测试示意图；
[0013]
图4为本发明不同频率下模型预测阈值电压与器件阈值电压对比关系图，其中实线为模型预测结果，符号为器件测量结果；
[0014]
图5为本发明不同关态应力下模型预测阈值电压与器件阈值电压对比关系图，其中实线为模型预测结果，符号为器件测量结果；
[0015]
图6为本发明不同频率下模型预测输出特性与器件输出特性对比关系图，其中实线为模型预测结果，符号为器件测量结果；
[0016]
图7为本发明不同关态应力下模型预测输出特性与器件输出特性对比关系图，其中实线为模型预测结果，符号为器件测量结果；
具体实施方式
[0017]
下面结合附图，详细描述本发明的技术方案：
[0018]
本发明使用如图2所示的阈值电压及漏极电流模型建立流程示意图，以薛定谔泊松方程、费米狄拉克统计为基础，考虑ganhemt器件高频、高漏源电压开关条件下阈值电压漂移，基于陷阱中心对沟道载流子的捕获与释放效应，将器件阈值电压漂移模型构建为与器件漏源电压和器件开关频率相关，结合并最终构建出可适用于不同漏源电压和开关频率下氮化镓高电子迁移率晶体管阈值电压及漏极电流，具体计算方法如下：
[0019]
在氮化镓基高电子迁移率晶体管中，将势垒层与gan层形成的势阱近似成三角形电势分布，通过求解薛定谔方程，可得式(1)
[0020][0021]ns
表示单位面积二维电子气密度；d表示导带状态密度；v
t
表示热电压(vt＝kt/q)，k为玻尔兹曼常数，t是温度，q表示电子电荷量，e0、e1表示两个次能级，其与沟道二维电子气浓度之间的关系为式(2)
[0022]e0,1
＝γ
0,1ns2/3
(2)
[0023]
γ
0,1
为实验拟合参数。
[0024]
对于氮化镓hemt器件，假设algan层全耗尽，通过解泊松方程可获得式(3)
[0025][0026]
式(3)中ε表示氮化镓器件介质层介电系数，t
bar
表示algan层厚度，v
off
表示理想稳态下氮化镓器件阈值电压，vc表示沟道势。
[0027]
沟道势与氮化镓hemt器件表面势关系为
[0028][0029]ef
表示相较于导带底的费米能级。
[0030]
联立式(1)、(2)、(3)和(4)，忽略沟道势变化并假设其为0，可以得到单位面积电子密度ns[0031][0032]vg0
＝v
g-v
off
(6)
[0033]
根据缓变沟道近似下的漂移扩散模型，氮化镓hemt器件的沟道漏极电流为
[0034][0035]
μ为载流子理想迁移率。沿着栅下沟道对式(8)进行积分，得栅下沟道漏极电流公式
[0036][0037]
w表示栅宽，l表示栅长，分别为
[0038][0039]
表示栅下靠近漏端一侧的表面势，表示栅下靠近源端一侧的表面势。
[0040]
当氮化镓hemt器件工作在高频、高漏极电压开关条件下时，依据费米狄拉克统计，定义陷阱能级为e
x
，定义陷阱能级从导带捕获电子速率为r
cn
，电子从陷阱能级释放进入导带速率为r
en
，定义陷阱能级从价带捕获空穴速率为r
cp
，空穴从陷阱能级释放进入价带速率为r
ep
，定义n
x
为陷阱中心已捕获电子载流子浓度，p
x
为陷阱中心已捕获空穴载流子浓度，陷阱中心能级单位体积电子的积累速率。
[0041]
dn
x
/dt＝u
n-u
p
(10)
[0042]
un＝r
cn-r
en
(11)
[0043]up
＝r
cp-r
ep
(12)
[0044]
un＝en[p
x
exp(φn)-n
x
](13)
[0045]en
是电子发射的特征频率。在陷阱中心可被捕获的电子表示为其中φn＝(f
n-e
x
)/kt，fn为电子准费米能级。
[0046]
当氮化镓器件沟道电子由于高频、高电压开关应力跃迁至陷阱能级，定义电子跃迁前，陷阱能级已捕获电子为n
x
，nj表示跃迁的电子浓度，跃迁产生的电流in＝vnqa
x
nj，a
x
表示电子注入陷阱能级的横截面积，vn表示电子漂移速度。
[0047]
则在高频、高电压开关应力后，陷阱能级电子浓度为
[0048]
n＝n
x
+nj(14)
[0049][0050][0051]
为将物理公式与电路仿真相结合，本发明以陷阱能级捕获电子建立电路模型如图一所示：
[0052]
图一中c
x
表示单位体积的陷阱电容，v
x
表示陷阱势。
[0053]cx
＝(-q)n
x
/v
x
(17)
[0054]
由电路模型，由陷阱中心对沟道电子的捕获与释放产生的电流
[0055]ix
＝i
cn-i
en
＝-qun＝-qen[p
x
exp(φn)-n
x
](18)
[0056]
当陷阱能级全部被电子占据时，定义此时的陷阱势为v
x
，陷阱中心电子浓度为n
x
。则
[0057]nx
＝n
x
+p
x
(19)
[0058]
p
x
表示单位体积中陷阱能级中未被电子占据数。
[0059]
当氮化镓hemt器件由由于高频、高电压开关应力引发的电子跃迁达到稳定时，跃迁电流为0，此时的陷阱势定义为即
[0060]ix
＝0(20)
[0061][0062]
针对某一具体gan器件，器件在陷阱能级全部由电子占据时陷阱势v
x
为一固定值，将其视作常数a。
[0063]
注入到陷阱中心的电流是由通道中的电子组成的电流，这些电子通过隧穿过程注入到陷阱中心，因此与器件电压呈指数依赖关系
[0064]in
＝i0exp(av
gsq
+bv
dsq
)(22)
[0065]
其中i0、a和b都是与陷阱能级、陷阱数量及氮化镓hemt器件开关频率相关的常数。测量结果表明，对栅电位的依赖性可以忽略不计，因此我们可以设置a＝0。结合前式in表达式，
[0066]
φn＝ln[exp(bv
dsq
+c)+d](23)
[0067]
其中c＝ln(αni0)，
[0068]
综上
[0069][0070]
则在某一固定开关频率下、高漏极电压开关应力引发的电子跃迁达到稳定后，器件的阈值电压
[0071][0072]
voff表示电子跃迁之前的阈值电压。
[0073]
上式求解出氮化镓hemt器件在一固定漏极电压固定开关频率下其阈值电压漂移量。当氮化镓hemt器件改变其工作开关频率或其关态漏极电压时，陷阱能级释放捕获电子与沟道载流子跃迁至陷阱能级的平衡被打破，其b、c、d均为与陷阱能级、陷阱数量及氮化镓hemt器件开关频率相关的常数。所以，对于高频、高漏极电压开关应力下稳态陷阱势为
[0074][0075]
考虑器件垂直电场引起的载流子散射而导致的载流子迁移率退化，与理想的低场迁移率相比，迁移率可建模为
[0076][0077]
u0表示低场迁移率，ua、ub是可通过测试数据提取的拟合参数，e
y,eff
表示有效垂直电场。
[0078]
当器件工作在较高漏源电压情况下，器件横向存在强电场，使二维电子气速度达到饱和，根据载流子迁移率与速度关系，高场迁移率与低场迁移率相比会下降。高场迁移率
可表示为
[0079][0080]
vsat表示载流子饱和速度，e
x
指横向电场，可表示为
[0081]
随着漏压增大并大于饱和电压时，有效沟道长度逐步变短，考虑器件短沟道效应，用下式表示
[0082]
l
eff
＝l-δl＝l/(1+λv
ds
)(29)
[0083]
考虑以上因素后，氮化镓hemt器件的阈值电压及漏极电流模型分别为式(30)和式(32)
[0084][0085][0086][0087]
本发明以薛定谔泊松方程、费米狄拉克统计为基础，考虑ganhemt器件高频、高漏源电压开关条件下阈值电压漂移，基于陷阱中心对沟道载流子的捕获与释放效应，将器件阈值电压漂移模型构建为与器件漏源电压和器件开关频率相关，并基于此构建出可适用于不同漏源电压和开关频率下氮化镓高电子迁移率晶体管阈值电压及漏极电流模型。本方法建立的计算模型形式简洁、物理概念清晰，为高频、高漏源电压氮化镓集成电路设计提供了更全面的仿真模型。
[0088]
为验证本发明阈值电压及漏极电流模型的有效性及精确性，使用图3的测试方案对氮化镓hemt器件施加开关应力，再测量应力后氮化镓器件的稳态阈值电压和器件输出特性。
[0089]
使用本方法氮化镓器件计算模型对氮化镓器件测量阈值电压和器件输出特性曲线进行模型拟合和参数提取，不同频率、不同关态漏极电压下计算模型预测氮化镓器件阈值电压及输出特性与器件实际测量特性对比如图4、5、6、7所示。实际应用中，本发明可以针对不同的开关频率、不同的关态漏极电压，根据图2的模型建立流程，可以非常方便得到相关结果。
[0090]
图4、5、6、7所提取模型参数如下：栅宽w＝5mm，栅长l＝1um，低场迁移率u0＝0.1922m2/(v*s)，迁移率退化系数ua＝3.77e-9v-1
，ub＝1.011e-18v-2
，饱和漂移速度vsat＝5551m/s，阈值电压漂移系数b＝0.15v-1
，c＝-3.6，d＝0.02732，k＝1.09095v，m1＝0.5529，n1＝3.179e-7s，m2＝-0.5515，n2＝-1.443e-5s。