一种基于实时派工系统的晶圆批次派工方法与流程

1.本发明涉及半导体生产领域，尤其涉及一种基于实时派工系统的晶圆 批次派工方法。


背景技术：

2.目前，绝大多数的晶圆制造工厂都已经采用了实时派货系统(realtime dispatch，简称：rtd)来负责线上的派工。如图1-4所示，实时派货 系统7可以通过内置的算法对线上的预约晶圆批次3制定较为合理的预约 信息(reserve info)，自动化系统(mes)1透过实时派货系统7取得预 约信息，并依照预约信息将预约晶圆批次(lot)3与机台(eqp)4的第 二载台(load port)52进行预约(reserve)，并在预约完成后自动化系统 1对预约晶圆批次3所在的晶舟(foup)2下达传送到机台4的第二载台 52的传送指令(transfer command)。传送指令是在自动预约成功时生成的， 且其是一次性的，当传送被无法预期的因素中断时，传送系统会将晶舟2 放置在当下最近的储存站(stocker)6中并结束传送(请参见图1)。由于 传送指令不管传送成功与否都会消失，加上预约晶圆批次3当下的状态为 [预约]，并不符合实时派货系统7的派货条件，因此，无法透过自动预约再 次生成将晶舟2传送到机台4的第二载台52的传送指令，且机台4的第二 载台52也因为之前的预约而被锁定，无法再被其他的晶圆批次预约，导 致该机台4的第二载台52闲置。此外，当发生此问题时，操作员(user) 必须透过自动化系统1人工操作手动取消此笔预约(请参见图2)，以使得 预约晶圆批次3的状态从[预约]改为[闲置]，同时取消机台4的第二载台52 的锁定后，实时派货系统7才能再次对预约晶圆批次3执行自动预约并生 成传送指令(请参见图3)，此时，若生成的传送指令无意外发生，则该次 传送将会成功将晶舟传到机台4的第二载台52上(请参见图4)，若还是 遇到意外发生则送入最近的储存站中。
[0003]
专利twi246108b公开了在制品自动分派运输系统及方法以及计算机 可读取储存媒体，在制品自动分派运输系统包括处理数据库、状态存储器、 筛选法则库、分派控制单元；在制品自动分派运输方法中，异常晶圆批次 的先前状态记录在状态存储器，指定中断状态记录在筛选法则库中，分派 控制单元开始处理的异常晶圆批次记录在处理数据库。由分派控制单元筛 选异常晶圆批次并执行分派，其筛选条件为：1.异常晶圆批次当下状态必 须为[等待]，2.先前状态必须为指定中断状态。具有异常晶圆批次最大发派 数量限制，以避免大量异常晶圆批次同时传输造成传输通路堵塞，需要筛 选条件复杂。透过额外的机台分派法则决定异常晶圆批次分派的目的地， 该专利所需的系统和方法均较为复杂。
[0004]
因此，我们需要提供一种基于实时派工系统的晶圆批次派工方法，其 所需的系统结构简单、无需另外储存信息的在状态存储器，并且异常晶圆 批次当下状态无需改变即为[预约]，无需对先前状态查验的规则与步骤，还 没有最大发派数量限制，全交由传送系统控制传输权重，以及异常晶圆批 次的目的地只有与异常晶圆批次预约绑定的制造机台。


技术实现要素：

[0005]
本发明的目的在于，提供一种基于实时派工系统的晶圆批次派工方法， 可以防止机台因传送失败而闲置，从而有效降低机台的载台的闲置时间， 同时无需人工处理置于储存站的晶圆批次的状态。
[0006]
为了解决上述问题，本发明提供一种基于实时派工系统的晶圆批次派 工方法，包括以下步骤：
[0007]
s10：利用自动化系统的背景程序，周期性扫描所有机台的载台信息， 以确认是否存在需要补传送的预约晶圆批次；
[0008]
s20：对需要补传送的所述预约晶圆批次进行补传送前的检测，以确认 所述预约晶圆批次是否满足补传送条件；以及
[0009]
s30：对满足补传送条件的所述预约晶圆批次，所述自动化系统生成将 所述预约晶圆批次重新传送到机台的载台的传送指令，并根据所述传送指 令将所述预约晶圆批次传送至所述机台的载台。
[0010]
可选的，s10具体包括：
[0011]
利用自动化系统的背景程序，根据预设时间周期性扫描所有机台的载 台信息，以确认是否存在需要补传送的预约晶圆批次。
[0012]
进一步的，所述预设时间不大于15分钟。
[0013]
进一步的，所述预设时间不大于90秒。
[0014]
可选的，所述条件包括：机台的载台信息中有预约信息，以及所述机 台的载台信息中没有预约晶圆批次所在的晶舟的信息。
[0015]
可选的，补传送前的检测项目包括：机台的载台信息中没有存在任何 传送指令；所述预约晶圆批次所在的晶舟没有存在任何传送指令；所述预 约晶圆批次所在的晶舟的目前位置在储存站中；所述预约晶圆批次为预约 的状态，且所述预约晶圆批次的预约信息中的机台的载台与需补传送的机 台的载台一致。
[0016]
可选的，s30具体包括：
[0017]
对满足补传送条件的所述预约晶圆批次，经所述背景程序触发，所述 自动化系统生成将所述预约晶圆批次重新传送到机台的载台的传送指令；
[0018]
传货系统根据所述传送指令将所述预约晶圆批次所在的晶舟传送到对 应的机台。
[0019]
进一步的，所述预约晶圆批次在步骤s10之前接收过第一次传送指令， 在步骤s30中接收第二次传送指令。
[0020]
进一步的，所述第一次传送指令是透过实时派货系统自动系统生成， 所述第二次传送指令是透过所述自动化系统的背景程序生成。
[0021]
进一步的，所述第一次传送指令和第二次传送指令的目的地相同。
[0022]
与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
[0023]
本发明提供一种基于实时派工系统的晶圆批次派工方法，包括以下步 骤：s10：利用自动化系统的背景程序，周期性扫描所有机台的载台信息， 以确认是否存在需要补传送的预约晶圆批次；s20：对需要补传送的所述预 约晶圆批次进行补传送前的检测，以确认所述预约晶圆批次是否满足补传 送条件；以及s30：对满足补传送条件的所述预约晶圆批次，
所述自动化 系统生成将所述预约晶圆批次重新传送到机台的载台的传送指令，并根据 所述传送指令将所述预约晶圆批次传送至所述机台的载台，以防止机台因 传送失败而闲置，同时无需人工处理置于储存站的晶圆批次的状态，从而 提高自动化，还有效降低机台的载台的闲置时间，提高产能。
附图说明
[0024]
图1-4为一种基于实时派工系统的晶圆批次派工方法的各步骤的简易 结构示意图；
[0025]
图5为本发明一实施例的一种基于实时派工系统的晶圆批次派工方法 的流程示意图；
[0026]
图6-8为本发明一实施例的基于实时派工系统的晶圆批次派工方法的 各步骤的简易结构示意图。
[0027]
附图标记说明：
[0028]
1-自动化系统；11-背景程序；2-晶舟；3-预约晶圆批次；4-机台；5
‑ꢀ
载台；51-第一载台；52-第二载台；53-第三载台；6-储存站；7-实时派货系 统。
具体实施方式
[0029]
如背景技术所述，现有的基于实时派工系统的晶圆批次派工方法中， 如图1所示，首先，自动化系统1与机台4的第二载台52预约完成后，自 动化系统1对预约晶圆批次3所在的晶舟2下达传送到机台4的第二载台 52的传送指令，由于传送被无法预期的因素中断，预约晶圆批次3所在的 晶舟2被放置在当下最近的储存站6中；如图2所示，接着，在机台4的 第二载台52闲置约15分钟后，操作员发现了第二载台52闲置，约5分钟 后，操作员人工透过自动化系统1手动取消此笔预约，以使得预约晶圆批 次3的状态从[预约]改为[闲置]，同时取消对第二载台52的锁定；如图3-4 所示，接着，实时派货系统7对预约晶圆批次3执行自动预约并生成传送 指令，此时，预约晶圆批次3所在的晶舟2与机台4的第二载台52重新建 立预约关系，并在预约成功后，自动化系统1透过实时派货系统7重新取 得预约信息，并对预约晶圆批次3所在的晶舟2下达传送到机台4的第二 载台52的传送指令，最后预约晶圆批次3所在的晶舟2传送至机台4的第 二载台52。在上述过程中，由于传送中断造成的机台闲置时间较长，影响 产能。
[0030]
基于以上分析，本发明提供一种基于实时派工系统的晶圆批次派工方 法，包括以下步骤：s10：利用自动化系统的背景程序，周期性扫描所有机 台的载台信息，以确认是否存在需要补传送的预约晶圆批次；s20：对需要 补传送的所述预约晶圆批次进行补传送前的检测，以确认所述预约晶圆批 次是否满足补传送条件；以及s30：对满足补传送条件的所述预约晶圆批 次，所述自动化系统生成将所述预约晶圆批次重新传送到机台的载台的传 送指令，并根据所述传送指令将所述预约晶圆批次传送至所述机台的载台， 以防止机台因传送失败而闲置，同时无需人工处理置于储存站的晶圆批次 的状态，从而提高自动化，还有效降低机台的载台闲置时间，提高产能。
[0031]
以下将对本发明的一种基于实时派工系统的晶圆批次派工方法作进一 步的详细描述。下面将参照附图对本发明进行更详细的描述，其中表示了 本发明的优选实施例，应
该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发 明而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领 域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
[0032]
为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描 述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应 当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者 的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为 另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的， 但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0033]
为使本发明的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本发明的具体 实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均 使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
[0034]
图5为本实施例的一种基于实时派工系统的晶圆批次派工方法的流程 示意图。如图5所示，本实施例提供一种基于实时派工系统的晶圆批次派 工方法，包括以下步骤：
[0035]
s10：利用自动化系统的背景程序，周期性扫描所有机台的载台信息， 以确认是否存在需要补传送的预约晶圆批次；
[0036]
s20：对需要补传送的所述预约晶圆批次进行补传送前的检测，以确认 所述预约晶圆批次是否满足补传送条件；以及
[0037]
s30：对满足补传送条件的所述预约晶圆批次，所述自动化系统生成将 所述预约晶圆批次重新传送到机台的载台的传送指令，并根据所述传送指 令将所述预约晶圆批次传送至所述机台的载台。
[0038]
以下结合图5和图6-8对本实施例的一种基于实时派工系统的晶圆批 次派工方法进行详细说明。
[0039]
如图6所示，首先执行步骤s10，利用自动化系统1的背景程序11 (watch dog)，根据预设时间周期性扫描所有机台4的载台信息，以确认 是否存在需要补传送的预约晶圆批次。其中，每个机台4包括多个载台5， 多个载台5例如是第一载台51、第二载台52和第三载台53。每个机台的 载台信息包括多个所述载台5(即第一载台51、第二载台52和第三载台 53)的载台信息。
[0040]
本步骤具体包括：利用自动化系统1的背景程序11，根据预设时间周 期性扫描所有机台4的载台信息，扫描获取符合条件的机台4的载台信息， 并对符合条件的所述机台4中的载台信息逐一确认其与预约晶圆批次3所 在的晶舟2之间是否还有传送指令存在，若有，则结束；若没有，则进入 下一步骤。
[0041]
在本步骤中，所述预设时间例如不大于15分钟，例如是14分钟、13 分钟、10分钟、8分钟、6分钟、5分钟、3分钟、90秒、60秒、50秒、 40秒、30秒等扫描一次所有机台4的载台信息。优选的，所述预设时间例 如不大于90秒，例如是1分钟(即60秒)。
[0042]
在本实施例中，利用自动化系统的背景程序，每1分钟扫描所有机台 4的载台信息，扫描获取符合条件的机台4的载台信息，并对符合条件的 所述机台4的所有载台5的载台信息逐一确认其与预约晶圆批次3所在的 晶舟2之间是否还有传送指令存在，若不符合条件，则结束；若符合条件， 则进入下一步骤。本步骤在机台闲置约1分钟时，就可以被背景程序扫描 发现，缩短了从闲置到被发现的时间，有利于提高产能。
[0043]
所述条件包括：所述机台4的载台信息中有预约信息，以及机台4的 载台信息中没
有预约晶圆批次3所在的晶舟2的信息。
[0044]
如图7所示，接着执行步骤s20，对需要补传送的所述预约晶圆批次3 进行补传送前的检测，以确认所述预约晶圆批次3是否满足补传送条件。
[0045]
在本步骤中，补传送前的检测项目包括：机台4的载台信息中没有存 在任何传送指令；预约晶圆批次3所在的晶舟2没有存在任何传送指令， 预约晶圆批次3所在的晶舟2的目前位置在储存站中，即预约晶圆批次3 所在的晶舟2的目前位置没有在机台4的第二载台52，预约晶圆批次3的 状态为[预约]，即约预约晶圆批次3为预约状态；机台4的第二载台52的 载台信息中预约晶圆批次所在的晶舟2的信息与需要补传送的预约晶圆批 次3所在的晶舟2的信息一致，即预约晶圆批次3的预约信息中的机台4 的第二载台52与需补传送的机台4的第二载台52一致，换言之，预约晶 圆批次的作业码(control job id)与机台4的预约信息中的作业码一致。 并在满足上述补传送条件时，则进入下一步骤；在不满足上述补传送条件 时，则结束。
[0046]
其中，若预约晶圆批次3所在的晶舟2的目前位置在储存站6中，则 说明预约晶圆批次3已经接收过第一次传送指令，并在第一次传送指令执 行时，出现了无法预期的因素，导致传送中断而被直接存入储存站6中。
[0047]
在本实施例中，机台4的第二载台52无任何传送指令，预约晶圆批次 3所在的晶舟2目前位置在储存站6中，预约晶圆批次3所在的晶舟2的 无任何传送指令且存在送至机台4的第二载台52的历史传送指令(即第一 次传送指令)记录。预约晶圆批次3的状态为[预约]，预约晶圆批次3的预 约信息与需补传送的机台4的第二载台52的载台信息对应，因此，直接进 入下一步骤。
[0048]
如图8所示，接着执行步骤s30，对满足补传送条件的所述预约晶圆 批次3，所述自动化系统1生成将所述预约晶圆批次3重新传送到机台4 的载台的传送指令，并根据所述传送指令将所述预约晶圆批次3传送至所 述机台4的第二载台52。
[0049]
本步骤具体包括：
[0050]
首先，对满足补传送条件的所述预约晶圆批次，经背景程序11触发， 自动化系统1生成将所述预约晶圆批次3重新传送到机台4的第二载台52 的传送指令，使得在背景程序11发现约1分钟时间就可也以补发送传送指 令，并使得预约晶圆批次快速重新进入生产流程中，从而提高了产能。
[0051]
在本步骤中，所述预约晶圆批次3所在的晶舟2接收到第二次传送指 令，且预约晶圆批次3所在的晶舟2接收过的第一次传送指令是需要将预 约晶圆批次3所在的晶舟2传送至机台4的第二载台52，预约晶圆批次3 所在的晶舟2接收过的第二次传送指令同样是需要将预约晶圆批次3所在 的晶舟2传送至机台4的第二载台52。第一次传送指令是透过实时派货系 统自动系统生成，第二次传送指令是透过自动化系统1的背景程序生成。
[0052]
接着，传货系统根据所述传送指令将所述预约晶圆批次3所在的晶舟 2传送到对应的机台4的第二载台52。
[0053]
本实施例的基于实时派工系统的晶圆批次派工方法在对传送失败而闲 置的预约晶圆批次的重新派工时，需要的系统结构仅为自动化系统的背景 程序，使得其所需的系统结构简单；周期性扫描所有机台的载台信息时， 仅取用已存在的信息，并不需要另外储存信息；预约晶圆批次的状态从始 至终均为[预约]，其并对预约晶圆批次之前状态查验的规
则及步骤，使得其 步骤简单；对满足补传送条件的所述预约晶圆批次，所述自动化系统生成 将所述预约晶圆批次重新传送到机台的载台的传送指令，并根据所述传送 指令将所述预约晶圆批次传送至所述机台的载台，使得预约晶圆批次没有 最大派发量的限制，整个补传送过程均通过传送系统控制，还使得预约晶 圆批次的第一次传送指令和第二次传送指令均是将其传送至同一个机台上， 即两次传送指令的目的地相同。
[0054]
综上所述，本发明提供一种基于实时派工系统的晶圆批次派工方法， 包括以下步骤：s10：利用自动化系统的背景程序，周期性扫描所有机台的 载台信息，以确认是否存在需要补传送的预约晶圆批次；s20：对需要补传 送的所述预约晶圆批次进行补传送前的检测，以确认所述预约晶圆批次是 否满足补传送条件；以及s30：对满足补传送条件的所述预约晶圆批次， 所述自动化系统生成将所述预约晶圆批次重新传送到机台的载台的传送指 令，并根据所述传送指令将所述预约晶圆批次传送至所述机台的载台，以 防止机台因传送失败而闲置，同时无需人工处理置于储存站的晶圆批次的 状态，从而提高自动化，还有效降低机台的闲置时间，提高产能。
[0055]
此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语
ꢀ“
第一”、“第二”等的描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤 等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系 等。
[0056]
可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施 例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离 本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术 方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此， 凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例 所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的 范围内。