测量图像尺寸的系统、测量方法、计算机设备及存储介质与流程

测量图像尺寸的系统、测量方法、计算机设备及存储介质
【技术领域】
1.本发明涉及计算光刻图像测量技术领域，具体涉及一种测量图像尺寸的系统、测量方法、计算机设备及存储介质。


背景技术：

2.计算光刻可以在较大程度上反映实际光刻的进程，计算光刻的成像质量也直接反映着芯片器件的实际光刻成像质量。因此，在进行计算模拟光刻进程后，计算光刻的成像图像需要和晶圆(wafer)上的目标图像进行逐一对比，主要比较二者图像的(内部宽度)width，(间隙宽度)space，(曝光轮廓尺寸)contour cd等数值。计算光刻模拟的图像与目标wafer上的图像对比差值越小，光刻工艺质量越好。
3.目前，对于计算光刻成像图像的width，space，contour cd等数据测量主要由人工完成，测量人员首先需要判断图像的width，space类别、在图像上标记两个点、测量两点之间的距离、记录测量结果、然后再将此测量结果和wafer上的相应的目标图像进行对比。这样的测量操作需要由人工完成，每次只能测量一个图像，测量效率低；同时，通过标记两个点测量长度的方式，很难保证两个点在同一水平或者竖直方向上，或许会造成测量结果存在错误；除此之外测量结果的记录格式也相对混乱，不利于规范化，不能形成有效的测量评价体系。


技术实现要素：

4.为解决现有技术中测量光刻成像的图像测量效率低及精确度低的技术问题，本发明提供了一种测量图像尺寸的系统、测量方法、计算机设备及存储介质。
5.为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是提供一种测量图像尺寸的系统，用于自动测量计算光刻成像的图像的尺寸信息，所述测量图像尺寸的系统包括
6.第一输入部，用于输入gds版图文件；
7.选择部，连接所述第一输入部，用于选择所述gds版图文件的版图层信息；
8.第二输入部，用于输入至少一个测量点的坐标信息及测量方向信息；
9.定位部，连接所述选择部及所述第二输入部，用于基于所述选择部选择的版图层信息及所述第二输入部输入的测量点的坐标信息定位待测量图像；
10.测量部，连接所述第二输入部及所述定位部，用于基于所述第二输入部输入的所述测量方向信息测量所述待测量图像的尺寸信息；
11.输出部，连接所述测量部，用于输出所述测量部测量的尺寸信息。
12.优选地，所述坐标信息为所述待测量图像内边界或外边界的任意位置的横坐标信息和纵坐标信息。
13.优选地，所述测量方向信息为0
°
～360
°
。
14.优选地，所述第二输入部输入的文件格式为csv。
15.优选地，所述版图层信息包括设计图层、遮光板层、曝光轮廓层中的一种或多种的
组合。
16.优选地，所述测量图像尺寸的系统还包括显示部，连接所述输出部，用于显示所述输出部输出的尺寸信息。
17.优选地，所述第二输入部还被用于输入所述测量点的位置信息的单位信息。
18.本发明解决上述技术问题的又一技术方案是提供一种测量图像尺寸的方法，应用于上述的测量图像尺寸的系统，所述测量图像尺寸的方法包括以下步骤：
19.输入gds版图文件；
20.选择所述gds版图文件的版图层信息；
21.输入至少一个测量点的坐标信息及测量方向信息；
22.基于选择的所述版图层信息及输入的所述测量点的坐标信息定位待测量图像；
23.基于输入的所述测量方向信息测量所述待测量图像的尺寸信息；
24.输出所述待测量图像的尺寸信息。
25.本发明解决上述技术问题的又一技术方案是提供一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，所述处理器执行上述计算机程序以实现上述的一种测量图像尺寸的方法的步骤。
26.本发明解决上述技术问题的又一技术方案是提供一种存储介质，包括处理器，所述存储介质被处理器执行时实现上述的一种测量图像尺寸的方法。
27.与现有技术相比，本发明提供的一种测量图像尺寸的系统具有以下优点：
28.1、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的系统，第一输入部用于输入gds版图文件，由于第一输入部输入的gds版图文件里面包含有不同版图层信息，而不同的版图层信息又包括有不同的图像，因此通过选择部的设计使得用户可以实际需求进行选定需要测量的版图层信息的图像，从而使得本发明的测量图像尺寸的系统可以测量gds版图文件一种或多种版图层信息下的图像。第二输入部用于输入至少一个测量点的坐标信息及测量方向信息，由于同一版图层下待测量的图像有很多，因此需要根据测量点的坐标信息去确定待测量图像的具体位置，而输入的测量方向信息能够方便后续在该方向去测量待测量图像的尺寸信息。定位部用于基于选择部选择的版图层信息及第二输入部输入的测量点的坐标信息定位待测量图像，由前所述，因为不同的版图层下包括的图像不同，也即是同样的坐标信息在不同的版图层下定位部定位的测量图像不同，因此通过定位部的设计能够基于选择部选择的版图层及第二输入部输入的测量点的坐标信息快速精准地定位待测量的图像，方便后续的测量。测量部用于基于测量点的位置信息沿测量方向信息去测量待测量图像的尺寸信息，通过输入测量点的一组坐标信息以及规定测量方向，能够自动定位待测量图像的具体位置及自动测量在给定的测量方向上的尺寸信息。可见，这样的测量方式比较自动化，也极大减轻了相关测试工作人员的工作量，也降低了人力成本。
29.2、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的系统，通过坐标信息为待测量图像内边界或外边界的任意位置的横坐标信息和纵坐标信息的设计，使得本发明的测量部测量的尺寸信息更加多样性且解决了现有的测量方式局限性较大的技术问题。
30.3、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的系统，测量方向信息为0
°
～360
°
。通过此设计，使得用户可以从任意方向去测量待测量图像的尺寸信息，进而使得本发明的测量图像尺寸的系统实用性更强。
31.4、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的系统，第二输入部输入的文件格式为csv。通过此设计，由于csv文件格式本身的特性，csv格式的文件可以用excel和wps等表格工具以表格的形式打开，便于用户查看和编辑，从而提高了本发明的测量图像尺寸的系统的实用性。
32.5、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的系统，版图层信息包括设计图层、遮光板层、曝光轮廓层中的一种或多种的组合。通过此设计，通过选择不同的版图层从而能够定位不同的待测量图像，进而能够提高本发明的测量图像尺寸的系统的多样性及实用性。
33.6、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的系统，测量图像尺寸的系统还包括显示部，被用于显示输出部输出的尺寸信息。通过显示部的设计，能够方便用户更加直观地观察输出部输出的尺寸信息。
34.7、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的方法，具有与测量图像尺寸的系统相同的有益效果，在此不再赘述。
35.8、本发明的实施例提供的计算机设备，具有与测量图像尺寸的系统相同的有益效果，在此不再赘述。
36.9、本发明的实施例提供的存储介质，具有与测量图像尺寸的系统相同的有益效果，在此不再赘述。
【附图说明】
37.图1是本发明的第一实施例的测量图像尺寸的系统之系统框图示意图一；
38.图2是本发明的第一实施例的测量图像尺寸的系统之系统框图示意图二；
39.图3是本发明的第一实施例的测量图像尺寸的系统之操作界面示意图一；
40.图4是本发明的第一实施例的测量图像尺寸的系统之操作界面示意图二；
41.图5是本发明的第一实施例的测量图像尺寸的系统之测量部执行测量的示意图一；
42.图6是本发明的第一实施例的测量图像尺寸的系统之测量部执行测量的示意图二；
43.图7是本发明的第一实施例的测量图像尺寸的系统之操作界面示意图三；
44.图8是本发明的第二实施例的测量图像尺寸的方法的流程示意图。
45.附图标识说明：
46.1、测量图像尺寸的系统；2、测量图像尺寸的方法；
47.11、第一输入部；12、选择部；13、定位部；14、第二输入部；15、测量部；16、输出部；17、显示部。
【具体实施方式】
48.为了使本发明的目的，技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施实例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
49.所谓gds，即图形数据流文件(graphic data stream)，是于集成电路版图设计后生成的一种文件格式。gds文件是一种包括集成电路布局的二进制文件，是业界公认的半导
体物理版图存储格式。
50.请参阅图1，本发明的第一实施例提供一种测量图像尺寸的系统1，用于自动测量计算光刻成像的图像的尺寸信息，包括第一输入部11，用于输入gds版图文件；选择部12，连接第一输入部11，用于选择gds版图文件的版图层信息；第二输入部14，用于输入至少一个测量点的坐标信息及测量方向信息；定位部13，连接选择部12及第二输入部14，用于基于选择部12选择的版图层信息及第二输入部输入的测量点的坐标信息定位待测量图像；测量部15，连接第二输入部14及定位部13，用于基于第二输入部144输入的测量方向信息测量待测量图像的尺寸信息；输出部16，连接测量部15，用于输出测量部15测量的尺寸信息。
51.可以理解地，由于第一输入部11输入的gds版图文件里面包含有不同版图层信息，而不同的版图层信息又包括有不同的图像，因此通过选择部12的设计使得用户可以实际需求进行选定需要测量的版图层信息的图像，从而使得本发明的测量图像尺寸的系统1可以测量gds版图文件一种或多种版图层信息下的图像。第二输入部14用于输入至少一个测量点的坐标信息及测量方向信息，由于同一版图层下待测量的图像有很多，因此需要根据测量点的坐标信息去确定待测量图像的具体位置，而输入的测量方向信息能够方便后续在该方向去测量待测量图像的尺寸信息。定位部13用于基于选择部12选择的版图层信息及第二输入部14输入的测量点的坐标信息定位待测量图像；由前所述，因为不同的版图层下包括的图像不同，也即是同样的坐标信息在不同的版图层下定位部13定位的测量图像不同，因此通过定位部13的设计能够基于选择部12选择的版图层及第二输入部14输入的测量点的坐标信息快速精准地定位待测量的图像，方便后续的测量。测量部15用于基于测量点的位置信息沿测量方向信息去测量待测量图像的尺寸信息，通过输入测量点的一组坐标信息以及规定测量方向，能够自动定位待测量图像的具体位置及自动测量在给定的测量方向上的尺寸信息。可见，这样的测量方式比较自动化，也极大减轻了相关测试工作人员的工作量，也降低了人力成本。
52.而且人工测量需要手动去定位待测量图像的具体位置以及很难保证测量方向一直保持水平或垂直的方式，相比于由人工去测量的方式，本发明的测量图像尺寸的系统1能够通过输入的测量点的位置信息及给定的测量方向去自动测量待测量图像的尺寸信息，更加智能化且测量的结果的精准度较高。同时，该测量图像尺寸的系统1支持同时输入多个测量点的位置信息用于测量多组待测量的图像，这也极大地提升了工作测量效率，且输出部16的设计能够将测量部15测量的尺寸信息输出，方便后续与晶圆上的目标图像进行逐一对比，从而提高本系统的实用性。
53.进一步地，测量点的坐标信息为待测量图像内边界或外边界的任意位置的横坐标信息和纵坐标信息。
54.需要说明的是，本发明实施例所说的内边界指的是以待测量图像的轮廓为界线，测量点的坐标可以在待测量图像的轮廓外也可以在内待测量图像的轮廓外。
55.可以理解地，通过此设计，使得本发明的测量部15能够测量的待测量的图像尺寸信息更加多样性，且解决了现有的测量方式只能在固定测量范围内去测量待测量图像尺寸的问题。
56.具体地，当输入的测量点的坐标信息在待测量图像的外边界时，那么输出部16输出测量部15测量出的尺寸信息为外部尺寸信息；当输入的测量点的坐标信息在待测量图像
的内边界时，那么输出部16输出测量部15测量出的尺寸信息为内部尺寸信息。通过此设计，方便后续输出部16对测量部15测量的结果做出区分，从而进一步地提高了本发明的测量图像尺寸的系统1测量结果的精准度及一致性。
57.可选地，在本发明的第一实施例中，第二输入部14还被用于输入测量点的位置信息的单位信息。
58.可以理解地，通过此设计，选择第二输入部14的测量点的位置信息的不同单位信息，其定位到待测量的图像的具体位置也不相同，因此通过此设计能够使得本发明的系统可选择范围更广，从而使得用户可以根据实际需求去确定测量点的位置，进而定位待测量图像的具体位置。由此可见，通过此设计更进一步地提高了本发明的测量图像尺寸的系统1实用性及用户的便捷性。
59.可选地，单位信息可以为微米或纳米。
60.优选地，测量方向信息为0
°
～360
°
。
61.可以理解地，通过此设计，使得用户可以从任意方向去测量待测量图像的尺寸信息，进而使得本发明的测量图像尺寸的系统1实用性更强。
62.具体地，测量方向可以为但不限制于0
°
、30
°
、45
°
、60
°
、90
°
、120
°
、135
°
、180
°
、225
°
、240
°
、270
°
或360
°
。且本发明的测量方向可精准支持到小数点后两位，例如可以以11.23
°
的测量方向去测量待测量图像的尺寸信息。可见，本发明的测量图像尺寸的系统1适用范围更加广泛且便捷性更佳。
63.示例性的，在本发明实施例中，垂直方向用大写字母y和小写字母y表示，水平方向用大写字母x和小写字母x表示，可以根据实际需求进行设计。
64.优选地，第二输入部14输入的文件格式为csv。
65.可以理解地，通过此设计，由于csv文件格式本身的特性，csv格式的文件可以用excel和wps等表格工具以表格的形式打开，便于用户查看和编辑，从而提高了本发明的测量图像尺寸的系统1的实用性。
66.也可以理解地，第二输入部14输入的文件格式还可以为yaml(yet anothermarkup language，另一种标记语言)格式的文件或xml(extensiblemarkup language，可扩展标记语言)格式的文件，只要是采用该文件格式形成的文件可以供使用者直接编辑或查看即可。
67.可选地，版图层信息包括设计图层、遮光板层、曝光轮廓层中的一种或多种的组合。
68.应理解，gds版图文件本身具有很多版图层，而不同的版图层中所展示的图像信息也不同，而同样的测量点及同样的测量方向在测量不同版图层中的图像时，测量部15测量的尺寸信息也是不同的，因此通过此设计，通过选择不同的版图层从而能够定位不同的待测量图像，进而能够提高本发明的测量图像尺寸的系统1的多样性及实用性。
69.可选地，曝光轮廓图层又可以为nc曝光轮廓层、nd3.5曝光轮廓层、nf40曝光轮廓层、pd3.5曝光轮廓层或pf40曝光轮廓层。也可以理解地，版图层信息可以根据实际需求进行设定或选择。
70.进一步地，请参阅图2，测量图像尺寸的系统1还包括显示部17，用于显示输出部16输出的尺寸信息。
71.可以理解地，通过显示部17的设计，能够方便用户更加直观地观察输出部16输出
的尺寸信息，便于后续的测量结果的评价工作，为用户提供更加便捷的自动化服务。
72.综上所述，请结合图3至图7，先通过第一输入部11输入gds版图文件(即此时测量图像尺寸的系统1的操作界面如图3所示)，然后通过选择部12选择gds版图文件的版图层信息，示例性的选择设计图图层并通过定位部13定位相应的待测量图像(即此时测量图像尺寸的系统1的操作界面如图4所示)，然后测量部15基于第二输入部14输入测量点的位置信息及测量方向信息，示例性的，结合图5及图6，假设基于第二输入部14输入的测量点，测量部15定位到需要测量的图像为a和b(即图4中a和b两部分)，测量点分别为图5中的c点及图6中的d点，且测量方向分别为x方向和y方向、x方向和y方向，然后测量部15就会基于确定的测量点及测量方向去测量图像的尺寸，而图5中的测量点属于待测量图像的内边界内，图6中的测量点属于待测量图像的外边界内，两者经测量部15测量的尺寸信息分别为内部尺寸和外部尺寸，最后再依次经输出部16及显示部17显示处理(即如图7所示)。
73.请参阅图8，本发明的第二实施例提供一种测量图像尺寸的方法1，应用于本发明的第一实施例的测量图像尺寸的系统，包括以下步骤：
74.s1：输入gds版图文件；
75.s2：选择gds版图文件的版图层信息；
76.s3：输入至少一个测量点的坐标信息及测量方向信息；
77.s4：基于选择的版图层信息及输入的测量点的坐标信息定位待测量图像；
78.s5：基于输入的测量方向信息测量待测量图像的尺寸信息；
79.s6：输出待测量图像的尺寸信息。
80.可以理解地，本发明的一种测量图像尺寸的方法1具有与本发明的第一实施例的一种测量图像尺寸的系统相同的有益效果，在此不再赘述。
81.本发明的第三实施例提供一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，处理器执行上述计算机程序以实现本发明的第二实施例的一种测量图像尺寸的方法的步骤。
82.可以理解地，本发明的一种计算机设备具有与本发明的第一实施例的一种测量图像尺寸的系统相同的有益效果，在此不再赘述。
83.本发明的第四实施例提供一种存储介质，包括处理器，存储介质被处理器执行时实现本发明的第二实施例的一种测量图像尺寸的方法。
84.可以理解地，本发明的一种存储介质具有与本发明的第一实施例的一种测量图像尺寸的系统相同的有益效果，在此不再赘述。
85.应理解，说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。因此，在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外，这些特定特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于可选实施例，所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必需的。
86.在本发明的各种实施例中，应理解，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的必然先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本发明实施例的实施过程构成任何限定。
87.在本发明的附图中的流程图和框图，图示了按照本技术各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或代码的一部分，该模块、程序段或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现方案中，方框中所标注的功能也可以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行的执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，在此基于涉及的功能而确定。需要特别注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
88.与现有技术相比，本发明提供的一种测量图像尺寸的系统具有以下优点：
89.1、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的系统，第一输入部用于输入gds版图文件，由于第一输入部输入的gds版图文件里面包含有不同版图层信息，而不同的版图层信息又包括有不同的图像，因此通过选择部的设计使得用户可以实际需求进行选定需要测量的版图层信息的图像，从而使得本发明的测量图像尺寸的系统可以测量gds版图文件一种或多种版图层信息下的图像。第二输入部用于输入至少一个测量点的坐标信息及测量方向信息，由于同一版图层下待测量的图像有很多，因此需要根据测量点的坐标信息去确定待测量图像的具体位置，而输入的测量方向信息能够方便后续在该方向去测量待测量图像的尺寸信息。定位部用于基于选择部选择的版图层信息及第二输入部输入的测量点的坐标信息定位待测量图像，由前所述，因为不同的版图层下包括的图像不同，也即是同样的坐标信息在不同的版图层下定位部定位的测量图像不同，因此通过定位部的设计能够基于选择部选择的版图层及第二输入部输入的测量点的坐标信息快速精准地定位待测量的图像，方便后续的测量。测量部用于基于测量点的位置信息沿测量方向信息去测量待测量图像的尺寸信息，通过输入测量点的一组坐标信息以及规定测量方向，能够自动定位待测量图像的具体位置及自动测量在给定的测量方向上的尺寸信息。可见，这样的测量方式比较自动化，也极大减轻了相关测试工作人员的工作量，也降低了人力成本。
90.2、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的系统，通过坐标信息为待测量图像内边界或外边界的任意位置的横坐标信息和纵坐标信息的设计，使得本发明的测量部测量的尺寸信息更加多样性且解决了现有的测量方式局限性较大的技术问题。
91.3、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的系统，测量方向信息为0
°
～360
°
。通过此设计，使得用户可以从任意方向去测量待测量图像的尺寸信息，进而使得本发明的测量图像尺寸的系统实用性更强。
92.4、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的系统，第二输入部输入的文件格式为csv。通过此设计，由于csv文件格式本身的特性，csv格式的文件可以用excel和wps等表格工具以表格的形式打开，便于用户查看和编辑，从而提高了本发明的测量图像尺寸的系统的实用性。
93.5、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的系统，版图层信息包括设计图层、遮光板层、曝光轮廓层中的一种或多种的组合。通过此设计，通过选择不同的版图层从而能够定位不同的待测量图像，进而能够提高本发明的测量图像尺寸的系统的多样性及实用性。
94.6、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的系统，测量图像尺寸的系统还包括显示
部，被用于显示输出部输出的尺寸信息。通过显示部的设计，能够方便用户更加直观地观察输出部输出的尺寸信息。
95.7、本发明的实施例提供的测量图像尺寸的方法，具有与测量图像尺寸的系统相同的有益效果，在此不再赘述。
96.8、本发明的实施例提供的计算机设备，具有与测量图像尺寸的系统相同的有益效果，在此不再赘述。
97.9、本发明的实施例提供的存储介质，具有与测量图像尺寸的系统相同的有益效果，在此不再赘述。
98.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的原则之内所做的任何修改，等同替换和改进等均应包含本发明的保护范围之内。