半导体制造装置、半导体制造装置的处理执行方法与流程

本发明涉及半导体制造装置及半导体制造装置的处理执行方法。

背景技术：

1、在专利文献1中公开了一种技术，其在医用诊断装置中在进行了关机操作的情况下，显示是否继续进行关机操作以引起操作者的注意，抑制装置的误操作。在半导体制造工厂内运转着很多半导体制造装置，并且也配置有很多同样型号的机型。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2008-212539号公报。

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、本发明提供一种抑制将应作为操作对象的半导体制造装置搞错的技术。

3、用于解决问题的技术手段

4、鉴于上述问题，本发明的特征在于，具有：执行指示接受部，其接受对半导体制造装置进行的规定处理的执行指示，其中，所述规定处理是关于所述半导体制造装置的运转控制的处理；识别信息接受部，其接受所述半导体制造装置的识别信息的输入；和执行部，在预先设定于所述半导体制造装置中的所述半导体制造装置的识别信息与所述识别信息接受部所接受的所述半导体制造装置的识别信息相同的情况下，响应所述规定处理的执行指示来执行所述规定处理。

5、另外，本发明是一种半导体制造装置，其响应操作员的操作，对半导体制造装置执行关于所述半导体制造装置的运转控制的规定处理，其特征在于，具有：至少两个以上的操作接受单元，其隔开一定距离以上地配置在所述半导体制造装置中；和执行部，其在检测出两个操作接受单元在时间上重复地被操作的情况下，对半导体制造装置执行所述规定处理。

6、另外，本发明的特征在于，具有：执行指示接受部，其接受对半导体制造装置进行的规定处理的执行指示，其中，所述规定处理是关于所述半导体制造装置的运转控制的处理；预约信息存储部，其存储所述规定处理的预约信息；和执行部，其在所述预约信息存储部中保持有所述预约信息的情况下，响应所述规定处理的执行指示，对所述半导体制造装置执行所述规定处理。

7、发明的效果

8、能够抑制将应作为操作对象的半导体制造装置搞错。

技术特征：

1.一种半导体制造装置，其特征在于，具有：

2.一种半导体制造装置，其响应操作员的操作，对半导体制造装置执行关于所述半导体制造装置的运转控制的规定处理，该半导体制造装置的特征在于，具有：

3.如权利要求2所述的半导体制造装置，其特征在于，具有：

4.如权利要求2所述的半导体制造装置，其特征在于，具有：

5.一种半导体制造装置，其特征在于，具有：

6.如权利要求5所述的半导体制造装置，其特征在于，

7.如权利要求5所述的半导体制造装置，其特征在于，

8.如权利要求1～7中任一项所述的半导体制造装置，其特征在于，

9.一种半导体制造装置的处理执行方法，其特征在于，具有：

10.一种半导体制造装置的处理执行方法，其特征在于，

11.一种半导体制造装置的处理执行方法，其特征在于，具有：

技术总结
本发明的目的在于抑制将应作为操作对象的半导体制造装置搞错。本发明提供一种半导体制造装置，其具有：执行指示接受部，其接受对半导体制造装置进行的规定处理的执行指示，其中，所述规定处理是关于所述半导体制造装置的运转控制的处理；识别信息接受部，其接受所述半导体制造装置的识别信息的输入；和执行部，在预先设定于所述半导体制造装置中的所述半导体制造装置的识别信息与所述识别信息接受部所接受的所述半导体制造装置的识别信息相同的情况下，响应所述规定处理的执行指示来执行所述规定处理。

技术研发人员：藤井洋路,国枝誉
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12