双向OCR识别设备的制作方法

双向ocr识别设备
技术领域
1.本实用新型一般涉及ocr(optical character recognition，光学字符识别)快速识别的技术领域，具体涉及一种双向ocr识别设备。


背景技术：

2.晶圆的正面和/或背面具有激光打码形成的编号信息，用于管理晶圆以及获取晶圆的信息。在半导体芯片制造过程中，在分片、换晶圆盒和处理可能为传错片的报警时，都需要对晶圆的编号信息进行读取和识别。现有技术中晶圆读取设备设置在晶圆的正面(或背面)，只能够读取晶圆正面(或背面)的编号信息；如果需要识别晶圆的编号信息，则需要配置两个晶圆读取设备，成本较高。


技术实现要素：

3.鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种双向ocr识别设备。
4.本实用新型实施例提供一种双向ocr识别设备，包括支撑架，所述支撑架上设置有ocr装置和光路转换装置，所述光路转换装置包括可转动的反射镜片、第一反射组件和第二反射组件；
5.所述反射镜片用于将所述ocr装置发射来的光线进行方向转换后传输至所述第一反射组件或所述第二反射组件；
6.所述第一反射组件用于将其接收到的光线传输至待读取晶圆的第一面，所述第二反射组件用于将其接收到的光线传输至所述待读取晶圆的第二面，所述第一面和所述第二面其一为所述待读取晶圆的正面，另一为所述待读取晶圆的背面。
7.优选的，所述反射镜片在第一位置和第二位置之间可转动；
8.所述反射镜片处于所述第一位置时将所述ocr装置发射来的光线传输至所述第一反射组件；
9.所述反射镜片处于所述第二位置时将所述ocr装置发射来的光线传输至所述第二反射组件；
10.所述ocr装置包括ocr镜头，所述反射镜片处于所述第一位置或所述第二位置时，所述反射镜片的法线方向与所述ocr镜头的轴线方向之间呈45
°
。
11.进一步的，所述第一反射组件包括第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜用于将其接收的光线反射至第二反射镜，所述第二反射镜用于将其接收的光线反射后垂直射到所述待读取晶圆的第一面；
12.所述第二反射组件包括第三反射镜和第四反射镜，所述第三反射镜用于将其接收的光线反射至第四反射镜，所述第四反射镜用于将其接收的光线反射后垂直射到所述待读取晶圆的第二面。
13.进一步的，当所述反射镜片处于所述第一位置时，所述第一反射镜与所述反射镜片平行，所述第二反射镜片的法线方向与所述第一反射镜片的法线方向垂直；
14.当所述反射镜片处于所述第二位置时，所述第三反射镜与所述反射镜片平行，所述第四反射镜片的法线方向与所述第三反射镜片的法线方向垂直。
15.进一步的，所述第一位置和所述第二位置关于第一平面对称，所述第一反射组件和所述第二反射组件关于所述第一平面对称设置。
16.优选的，所述双向ocr识别设备还包括驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述反射镜片正反转。
17.进一步的，所述驱动机构包括驱动电机和联动部件，所述联动部件包括与所述驱动电机的转动轴相连的第一齿轮、用于连接所述反射镜片的转轴以及安装在所述转轴上的第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮相啮合。
18.进一步的，所述驱动电机为步进电机。
19.优选的，所述的双向ocr识别设备还包括限位机构，所述限位机构用于将所述反射镜片限位于所述第一位置或所述第二位置。
20.进一步的，所述限位机构为限位块，所述限位块设置在所述第一位置和所述第二位置之间，所述限位块位于所述ocr镜头的轴线方向上，所述反射镜片位于所述限位块与所述ocr镜头之间。
21.本实用新型的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：
22.本实用新型实施例提供的双向ocr识别设备中，通过光电转换装置改变ocr装置发射出的光线的传输方向，使ocr装置发出的光线到达待读取晶圆的正面，也可以使ocr装置发出的光线到达待读取晶圆的背面，该设备中设置一个ocr装置就能够读取晶圆正反面上的编码信息，有效降低成本。
附图说明
23.通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
24.图1为本实用新型实施例提供的双向ocr识别设备的结构示意图；
25.图2为本实用新型实施例提供的驱动机构的结构示意图；
26.图3为本实用新型实施例提供的限位机构的结构示意图；
27.图4为本实用新型实施例提供的支撑架的分解结构示意图。
具体实施方式
28.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。
29.需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
30.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装
置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
31.本实用新型采用第一、第二等来描述各种信息，但这些信息不应局限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如在不脱离本实用新型范围的情况下，第一信息也可以被称为第二信息，类似地，第二信息也可以被称为第一信息。
32.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
33.晶圆上设有编号信息，方便厂家在使用晶圆的过程中，通过晶圆读取设备及时获取晶圆信息。本实用新型实施例提供一种双向ocr识别设备来读取晶圆的编号信息。
34.如图1所示，本实用新型实施例提供的双向ocr识别设备包括支撑架1，支撑架1上设置有ocr装置2和光路转换装置3，光路转换装置3包括可转动的反射镜片31、第一反射组件和第二反射组件；
35.反射镜片31用于将ocr装置2发射来的光线进行方向转换后传输至第一反射组件或第二反射组件；
36.第一反射组件用于将其接收到的光线传输至待读取晶圆的第一面，第二反射组件用于将其接收到的光线传输至待读取晶圆的第二面，第一面和第二面其一为待读取晶圆的正面，另一为待读取晶圆的背面。
37.参阅图1，wafer示意待读取晶圆。
38.该实施例提供的双向ocr识别设备中，光路转换装置3用于改变ocr装置2发出的光线的传播方向，既能够使ocr装置2发出的光线能够到达待读取晶圆的正面，又能够使ocr装置2发出的光线到达待读取晶圆的背面，在仅设置一个ocr装置的情况便于识别晶圆的编号信息，能够有效降低成本。
39.进一步的，反射镜片31在第一位置aa和第二位置bb之间可转动；
40.反射镜片31处于第一位置a时将ocr装置2发射来的光线传输至第一反射组件；
41.反射镜片31处于第二位置b时将ocr装置2发射来的光线传输至第二反射组件；
42.ocr装置2包括ocr镜头，反射镜片31处于第一位置a或第二位置b时，反射镜片31的法线方向与ocr镜头的轴线方向之间呈45
°
。
43.结合图1，反射镜片31在第一位置a时，反射镜片31将ocr装置2发出的光线向第一方向(例如向上的方向)反射；反射镜片31在第二位置b时，反射镜片31将ocr装置2发出的光线向第二方向(例如向下的方向)反射，第一方向和第二方向相反，使得ocr装置发出的光线在不同的传播方向下可到达待读取晶圆的正面或背面。
44.作为一种可选的实施方式，第一反射组件包括第一反射镜32和第二反射镜33，第一反射镜32用于将其接收的光线反射至第二反射镜33，第二反射镜33用于将其接收的光线反射后垂直射到待读取晶圆的第一面，参照图1，本实施例中优选第一面为待读取晶圆的正面；
45.第二反射组件包括第三反射镜34和第四反射镜35，第三反射镜34用于将其接收的
光线反射至第四反射镜35，第四反射镜35用于将其接收的光线反射后垂直射到待读取晶圆的第二面，参照图1，本实施例中优选第二面为待读取晶圆的背面。
46.进一步的，当反射镜片31处于第一位置a时，第一反射镜32与反射镜片31平行，第二反射镜33片的法线方向与第一反射镜32片的法线方向垂直，如此设计使得第一反射组件的结构简单，且能够确保ocr装置发出的光线几乎全部到达待读取晶圆的正面；
47.当反射镜片31处于第二位置b时，第三反射镜34与反射镜片31平行，第四反射镜35片的法线方向与第三反射镜34片的法线方向垂直，如此设计使得第二反射组件的结构简单，且能够确保ocr装置发出的光线几乎全部到达待读取晶圆的背面。
48.进一步的，第一位置a和第二位置b关于第一平面对称，第一反射组件和第二反射组件关于第一平面对称设置。优选的，第一平面为水平面，如此可以合理布置光线转换装置的空间。
49.参照图2，作为一种可选的实施方式，双向ocr识别设备还包括驱动机构4，驱动机构4用于驱动反射镜片31正反转。
50.进一步的，驱动机构4包括驱动电机41和联动部件，联动部件包括与驱动电机41的转动轴相连的第一齿轮42、用于连接反射镜片31的转轴43以及安装在转轴43上的第二齿轮44，第二齿轮44与第一齿轮42相啮合。经驱动电机41和联动部件带动反射镜片31正反转。
51.进一步的，驱动电机41为步进电机，可以很好的控制转动速度和角度，随时启停。
52.参照图3，作为一种可选的实施方式，双向ocr识别设备还包括限位机构5，限位机构5用于将反射镜片31限位于第一位置a或第二位置b。
53.进一步的，限位机构5为限位块，限位块设置在第一位置a和第二位置b之间，限位块位于ocr镜头的轴线方向上，反射镜片31位于限位块与ocr镜头之间。
54.具体的，联动部件中的转轴43的轴线平行于反射镜片31，结合图2，转轴43与反射镜片31的中部相连，反射镜片31随转轴43转动；反射镜片31在第一位置a处或第二位置b处均能够抵接限位机构5，限位机构5能够在驱动机构故障的情况下防止反射镜片31旋转超出设定的位置，起到防呆的效果。
55.本实施例中，光电转换装置3具有一壳体，反射镜片31、第一反射组件和第二反射组件均设置在壳体内，驱动机构4中的转轴41可穿过壳体与反射镜片31相连，或者驱动机构4也位于该壳体内；
56.壳体具有第一开口和第二开口，ocr装置2发出的光线可经第一开口到达反射镜片31，第二开口可以为狭缝形，待读取晶圆的编号所在的区域经第二开口伸入壳体内，可供ocr装置读取编号信息。
57.在上述实施例中，ocr装置还包括字符识别装置，由ocr镜头对晶圆上的编号进行图像采集并将图像传输给字符识别装置，由字符识别装置解析出编号信息。
58.参照图4，作为一种可选的实施方式，支撑架1包括底座11、设置在底座11上的支撑柱12、与支撑柱12相连的第一支撑座13以及用于支撑待读取晶圆的第二支撑座14，第二支撑座14设置在底座11上；
59.底座11包括底边部分和侧边部分，支撑柱12可上下移动的连接于底座11的侧边部分，第一支撑座13可水平移动的连接于支撑柱12，支撑架1包括支撑ocr装置2的第一水平部分和用于支撑光电转换装置的第二水平部分以及连接第一水平部分和第二水平部分的竖
直部分，第二水平部分相比于第一水平部分靠近底边部分。
60.在一种具体的实施方式中，底座的侧边部分设有两列定位孔，支撑柱12的下部设有两个第一连接孔，通过螺钉穿过第一连接孔、定位孔将支撑柱12与底座相连，连接不同高度的定位孔可以调整支撑柱12的高度；
61.支撑柱12的中部设有两个水平排列的第二连接孔，第一支撑座13设有相应的第三连接孔，经螺钉将第一支撑座13与支撑柱12相连，第一支撑座的第三连接孔呈腰形孔，腰形孔的长度方向沿水平方向，从而可沿水平方向调整第一支撑座13的位置。
62.当然，本实用新型中实现第一支撑座13水平移动、支撑柱12上下移动的结构包括但不局限于如上示例。
63.以上描述仅为本实用新型的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本实用新型中所涉及的实用新型范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离实用新型构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本实用新型中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。