提高OPC运算效率的方法与流程

本发明涉及半导体，特别是涉及一种提高opc运算效率的方法。

背景技术：

1、在光刻工艺中，掩膜版即光罩(mask)上的版图对应的图形结构会通过曝光系统投影到光刻胶中并在光刻胶中形成对应的图形结构，但是，由于曝光过程中的光学原因或者光刻胶的化学反应的原因，在光刻胶中形成的图形结构和掩膜版上的图形结构存在偏差，这种偏差则需要通过opc(光学临近效应修正)预先对掩膜版上的图形结构进行修改，采用opc修正后的掩膜版进行曝光时，在光刻胶中形成的图形结构则会和设计的图形结构相符，并符合工艺生产要求。

2、而对掩膜版进行制备时，产品出版占用的opc硬件资源＝opc层次数量*cpu core数量*dmpl，其中，opc层次数量是由产品的工艺节点和工艺平台决定；dmpl(平均出版一层所需要的天数)与工厂线上跑货速度相关；cpu core(刀片服务器)数量的多少决定产品出版占用的opc硬件资源的多少。

3、然而，现有技术一般是根据工艺节点和工艺平台使用固定的刀片服务器，并未对opc运算效率进行深入研究。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种opc运算效率的方法，用于解决以现有的固定数量的刀片服务器进行掩膜版的出版易导致cpu利用率较低的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种opc运算效率的方法，所述方法包括：

3、根据产品芯片面积计算得到刀片服务器的初始推荐数量；

4、由所述初始推荐数量确定所述刀片服务器的可用数量的范围；

5、在所述可用数量的范围内，根据所述可用数量与opc运行时间确定cpu资源使用量并确定最佳可用数量；

6、其中，所述最佳可用数量与所述opc运行时间相乘所得的结果在满足工厂线上跑货速度的前提下达到最小。

7、可选地，所述产品芯片面积的最大值为858mm2，其中，长为26mm，宽为33mm。

8、可选地，根据产品芯片面积计算得到所述刀片服务器的所述初始推荐数量的计算公式为：

9、num＝a*s+b*s1/2

10、其中，num表示所述初始推荐数量，s表示所述产品芯片面积，a表示第一系数，b表示第二系数。

11、可选地，利用第一产品芯片及第二产品芯片确定所述第一系数及所述第二系数，其中，所述第一产品芯片的面积比所述第二产品芯片的面积大2倍及以上，且二者的总cpu利用率均大于等于80％。

12、可选地，从opc脚本运行日志中选出所述第一产品芯片及所述第二产品芯片。

13、可选地，所述刀片服务器的可用数量的范围包括：0.2倍～5倍的所述初始推荐数量。

14、可选地，根据所述可用数量与opc运行时间确定cpu资源使用量并确定最佳可用数量的方法包括：

15、在所述可用数量的范围内，利用所述可用数量与所述opc运行时间的乘积来确定所述cpu资源使用量，且所述cpu资源使用量在满足工厂线上跑货速度的前提下达到最小值时，所述可用数量为所述最佳可用数量。

16、可选地，所述opc运行时间随着所述刀片服务器的数量的增加而减少。

17、相应的，本发明还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上所述的提高opc运算效率的方法。

18、相应的，一种终端，所述终端包括处理器及存储器，所述存储器用于存储计算机程序，所述处理器用于执行所述存储器存储的计算机程序，以使所述终端执行如上所述的提高opc运算效率的方法。

19、如上所述，本发明的提高opc运算效率的方法，通过利用产品芯片面积确定刀片服务器的初始推荐数量，根据初始推荐数量确定可用数量，利用可用数量与opc运行时间来衡量cpu资源使用量，并确定最佳可用数量，通过利用最佳可用数量进行掩膜版的出版，以达到提高opc运算效率的目的。

技术特征：

1.一种提高opc运算效率的方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的提高opc运算效率的方法，其特征在于，所述产品芯片面积的最大值为858mm2，其中，长为26mm，宽为33mm。

3.根据权利要求1或2所示的提高opc运算效率的方法，其特征在于，根据产品芯片面积计算得到所述刀片服务器的所述初始推荐数量的计算公式为：

4.根据权利要求3所述的提高opc运算效率的方法，其特征在于，利用第一产品芯片及第二产品芯片确定所述第一系数及所述第二系数，其中，所述第一产品芯片的面积比所述第二产品芯片的面积大2倍及以上，且二者的总cpu利用率均大于等于80％。

5.根据权利要求4所述的提高opc运算效率的方法，其特征在于，从opc脚本运行日志中选出所述第一产品芯片及所述第二产品芯片。

6.根据权利要求1所述的提高opc运算效率的方法，其特征在于，所述刀片服务器的可用数量的范围包括：0.2倍～5倍的所述初始推荐数量。

7.根据权利要求6所述的提高opc运算效率的方法，其特征在于，根据所述可用数量与opc运行时间确定cpu资源使用量并确定最佳可用数量的方法包括：

8.根据权利要求7所述的提高opc运算效率的方法，其特征在于，所述opc运行时间随着所述刀片服务器的数量的增加而减少。

9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1～8任一项所述的提高opc运算效率的方法。

10.一种终端，其特征在于，所述终端包括处理器及存储器，所述存储器用于存储计算机程序，所述处理器用于执行所述存储器存储的计算机程序，以使所述终端执行如权利要求1～8任一项所述的提高opc运算效率的方法。

技术总结
本发明提供一种提高OPC运算效率的方法，所述方法包括：根据产品芯片面积计算得到刀片服务器的初始推荐数量；由所述初始推荐数量确定所述刀片服务器的可用数量的范围；在所述可用数量的范围内，根据所述可用数量与OPC运行时间确定CPU资源使用量并确定最佳可用数量；其中，所述最佳可用数量与所述OPC运行时间相乘所得的结果在满足工厂线上跑货速度的前提下达到最小。通过本发明解决了以现有的固定数量的刀片服务器进行掩膜版的出版易导致CPU利用率较低的问题。

技术研发人员：王丹,陈燕鹏,于世瑞,张瑜
受保护的技术使用者：上海华力集成电路制造有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14