基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法及系统与流程

本发明涉及人工智能，具体而言，涉及一种基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法及系统。

背景技术：

1、半导体生产系统的运行状态，直接影响着生产的半导体材料的性能优异程度。因此，需要对半导体生产系统的运行状态的进行监控。但是，在现有技术中，基于监控得到的运行数据进行运行状态分析的时候，存在着运行状态分析的可靠度相对不高的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明的目的在于提供一种基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法及系统，以在一定程度上提高运行状态分析的可靠度。

2、为实现上述目的，本发明实施例采用如下技术方案：

3、一种基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法，所述半导体生产系统运行分析方法包括：

4、提取到多个初阶示例性信息，所述初阶示例性信息基于对示例性半导体生产系统进行运行监控操作以形成，所述初阶示例性信息包括初阶示例性上游文本和初阶示例性下游文本，所述初阶示例性上游文本用于反映所述示例性半导体生产系统的上游生产设备的运行过程，所述初阶示例性下游文本用于反映所述示例性半导体生产系统的下游生产设备的运行过程，所述上游生产设备和所述下游生产设备是指在生产上具有相关性和先后性的两个设备；

5、确定出候选的设备运行分析网络，所述设备运行分析网络用于基于任意一个初阶上游文本，分析出多个预设初阶下游文本对应的下游响应参数，所述预设初阶下游文本对应的下游响应参数用于反映基于所述设备运行分析网络分析出的在出现所述初阶上游文本对应的运行过程之后，再出现所述预设初阶下游文本对应的运行过程的可能性；

6、基于所述多个初阶示例性信息包括的初阶示例性上游文本和初阶示例性下游文本，将所述设备运行分析网络进行网络优化；

7、提取到多个进阶示例性信息，所述进阶示例性信息基于对所述示例性半导体生产系统进行运行监控操作以形成，所述进阶示例性信息包括进阶示例性上游文本和进阶示例性下游文本；

8、基于所述多个进阶示例性信息和所述多个进阶示例性信息对应的目标响应参数，将基于所述多个初阶示例性信息进行网络优化得到的所述设备运行分析网络进行新的网络优化，所述进阶示例性信息对应的目标响应参数基于利用目标参数确定规则，将所述进阶示例性信息中的进阶示例性上游文本和进阶示例性下游文本进行分析操作以确定，所述目标响应参数用于反映利用所述目标参数确定规则分析出的在出现所述进阶示例性上游文本对应的运行过程之后，再出现所述进阶示例性下游文本对应的运行过程的可能性；

9、利用所述进行新的网络优化得到的设备运行分析网络，对目标半导体生产系统对应的目标上游文本进行分析操作，以输出与所述目标上游文本相对应的目标下游文本，以及，基于所述目标下游文本反映的预测运行过程和该预测运行过程对应的实际运行过程，确定出所述目标半导体生产系统的运行状态。

10、在一些优选的实施例中，在上述基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法中，所述基于所述多个初阶示例性信息包括的初阶示例性上游文本和初阶示例性下游文本，将所述设备运行分析网络进行网络优化的步骤，包括：

11、针对每一个初阶示例性信息，对所述初阶示例性信息中的初阶示例性上游文本进行加载，以加载到所述设备运行分析网络中，分析出所述多个预设初阶下游文本对应的下游响应参数；

12、对具有最大值的预设初阶下游文本进行标记，以标记为所述初阶示例性上游文本对应的匹配初阶下游文本；

13、基于所述匹配初阶下游文本和所述初阶示例性信息中的初阶示例性下游文本之间的区别信息，将所述设备运行分析网络进行网络优化操作，使得网络优化操作后的所述设备运行分析网络基于所述初阶示例性上游文本分析的新的匹配初阶下游文本与所述初阶示例性下游文本之间的区别程度降低。

14、在一些优选的实施例中，在上述基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法中，所述基于所述匹配初阶下游文本和所述初阶示例性信息中的初阶示例性下游文本之间的区别信息，将所述设备运行分析网络进行网络优化操作，使得网络优化操作后的所述设备运行分析网络基于所述初阶示例性上游文本分析的新的匹配初阶下游文本与所述初阶示例性下游文本之间的区别程度降低的步骤，包括：

15、基于所述多个初阶示例性信息各自对应的所述匹配初阶下游文本和所述初阶示例性信息中的初阶示例性下游文本之间的区别信息，将所述设备运行分析网络依次进行循环网络优化操作，并在进行的网络优化操作的数量大于或等于预先配置的初阶优化数量的时候，停止继续进行循环网络优化操作；或者

16、基于所述多个初阶示例性信息各自对应的所述匹配初阶下游文本和所述初阶示例性信息中的初阶示例性下游文本之间的区别信息，将所述设备运行分析网络依次进行循环网络优化操作，并在所述设备运行分析网络基于任意一个所述初阶示例性上游文本分析出的响应参数具有最大值的预设初阶下游文本，与所述任意一个初阶示例性上游文本对应的初阶示例性下游文本之间的区别程度小于或等于预先确定的初阶区别程度的时候，停止继续进行循环网络优化操作。

17、在一些优选的实施例中，在上述基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法中，所述基于所述多个进阶示例性信息和所述多个进阶示例性信息对应的目标响应参数，将基于所述多个初阶示例性信息进行网络优化得到的所述设备运行分析网络进行新的网络优化的步骤，包括：

18、针对每一个进阶示例性信息，对所述进阶示例性信息中的进阶示例性上游文本进行加载，以加载到基于所述多个初阶示例性信息进行网络优化得到的所述设备运行分析网络中，以分析出所述多个预设初阶下游文本中的每一个预设初阶下游文本对应的下游响应参数；

19、基于所述多个预设初阶下游文本对应的下游响应参数，在所述多个预设初阶下游文本中抽取出多个优选初阶下游文本，所述多个优选初阶下游文本中的每一个优选初阶下游文本对应的下游响应参数超过所述多个预设初阶下游文本中的每一个其它预设初阶下游文本对应的下游响应参数；

20、基于所述目标参数确定规则，将所述进阶示例性上游文本和每一个优选初阶下游文本分别进行分析操作，以输出每一个所述优选初阶下游文本对应的规则分析输出参数，以及，对所述多个优选初阶下游文本对应的规则分析输出参数中具有最大值的规则分析输出参数进行标记，以标记为对应的目标规则分析输出参数；

21、基于所述目标参数确定规则，将所述进阶示例性信息中的所述进阶示例性上游文本和所述进阶示例性下游文本进行分析操作，以输出所述进阶示例性信息对应的目标响应参数；

22、基于所述目标规则分析输出参数和所述目标响应参数之间的区别信息，将所述设备运行分析网络进行新的网络优化操作，使得网络优化后的所述设备运行分析网络，基于所述进阶示例性上游文本分析出的所述目标规则分析输出参数和所述目标响应参数之间的区别程度降低。

23、在一些优选的实施例中，在上述基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法中，所述基于所述目标规则分析输出参数和所述目标响应参数之间的区别信息，将所述设备运行分析网络进行新的网络优化操作，使得网络优化后的所述设备运行分析网络，基于所述进阶示例性上游文本分析出的所述目标规则分析输出参数和所述目标响应参数之间的区别程度降低的步骤，包括：

24、基于所述多个进阶示例性信息各自对应的所述目标规则分析输出参数和所述目标响应参数之间的区别信息，将所述设备运行分析网络依次进行循环网络优化操作，并在进行的网络优化操作的数量大于或等于预先配置的进阶优化数量的时候，停止继续进行循环网络优化操作；或者，

25、基于所述多个进阶示例性信息各自对应的所述目标规则分析输出参数和所述目标响应参数之间的区别信息，将所述设备运行分析网络依次进行循环网络优化操作，并在所述设备运行分析网络基于任意一个进阶示例性信息分析出的目标规则分析输出参数与所述任意一个进阶示例性信息对应的目标响应参数之间的区别程度小于或等于预先确定的进阶区别程度的时候，停止继续进行循环网络优化操作。

26、在一些优选的实施例中，在上述基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法中，所述利用所述进行新的网络优化得到的设备运行分析网络，对目标半导体生产系统对应的目标上游文本进行分析操作，以输出与所述目标上游文本相对应的目标下游文本，以及，基于所述目标下游文本反映的预测运行过程和该预测运行过程对应的实际运行过程，确定出所述目标半导体生产系统的运行状态的步骤，包括：

27、提取到目标半导体生产系统对应的目标上游文本；

28、将所述目标上游文本进行加载，以加载到利用新的网络优化得到的设备运行分析网络中，分析出所述多个预设初阶下游文本中的每一个预设初阶下游文本对应的下游响应参数；

29、基于所述多个预设初阶下游文本中的每一个预设初阶下游文本对应的下游响应参数，在所述多个预设初阶下游文本中确定出多个优选初阶下游文本，所述多个优选初阶下游文本中的每一个优选初阶下游文本对应的下游响应参数超过所述多个预设初阶下游文本中每一个其它优选初阶下游文本对应的下游响应参数；

30、基于所述目标参数确定规则，将所述目标上游文本和每一个所述优选初阶下游文本进行分析操作，以输出每一个所述优选初阶下游文本对应的规则分析输出参数，以及，对分析出的多个规则分析输出参数中的具有最大值的规则分析输出参数对应的优选初阶下游文本进行标记，以标记为与所述目标上游文本相对应的目标下游文本；

31、基于所述目标下游文本反映的预测运行过程和该运行过程对应的实际运行过程，确定出所述目标半导体生产系统的运行状态，所述运行状态的优异程度，负相关于所述目标下游文本反映的预测运行过程和该预测运行过程对应的实际运行过程之间的区别信息。

32、在一些优选的实施例中，在上述基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法中，所述利用所述进行新的网络优化得到的设备运行分析网络，对目标半导体生产系统对应的目标上游文本进行分析操作，以输出与所述目标上游文本相对应的目标下游文本，以及，基于所述目标下游文本反映的预测运行过程和该预测运行过程对应的实际运行过程，确定出所述目标半导体生产系统的运行状态的步骤，包括：

33、提取到目标半导体生产系统对应的目标上游文本；

34、将所述目标上游文本进行加载，以加载到利用新的网络优化得到的设备运行分析网络中，分析出所述多个预设初阶下游文本中的每一个预设初阶下游文本对应的下游响应参数；

35、将具有最大值的下游响应参数对应的预设初阶下游文本进行标记，以标记为与所述目标上游文本相对应的目标下游文本；

36、基于所述目标下游文本反映的预测运行过程和该运行过程对应的实际运行过程，确定出所述目标半导体生产系统的运行状态，所述运行状态的优异程度，负相关于所述目标下游文本反映的预测运行过程和该预测运行过程对应的实际运行过程之间的区别信息。

37、在一些优选的实施例中，在上述基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法中，所述将所述目标上游文本进行加载，以加载到利用新的网络优化得到的设备运行分析网络中，分析出所述多个预设初阶下游文本中的每一个预设初阶下游文本对应的下游响应参数的步骤，包括：

38、将所述目标上游文本进行加载，以加载到利用新的网络优化得到的设备运行分析网络中；

39、对所述目标上游文本进行特征空间映射操作，以形成所述目标上游文本对应的空间映射特征分布，所述空间映射特征分布包括所述目标上游文本中的每一个文本单元对应的局部空间映射特征分布，所述局部空间映射特征分布用于反映对应的所述文本单元的文本语义信息和文本分布信息；

40、对于所述空间映射特征分布中的每一个局部空间映射特征分布，将该局部空间映射特征分布作为目标空间映射特征分布，以及，在其它的局部空间映射特征分布中确定出该目标空间映射特征分布对应的相关空间映射特征分布，所述相关空间映射特征分布的数量为目标数量；

41、基于与所述目标空间映射特征分布之间的相关程度，对目标数量个相关空间映射特征分布进行排序，以形成对应的特征分布序列，在所述特征分布序列中，各所述相关空间映射特征分布对应的相关程度之间具有从小到大的分布关系；

42、对于目标数量个特征处理单元中的第一个特征处理单元，利用该特征处理单元，从所述特征分布序列中，提取出第一个相关空间映射特征分布，以及，基于所述第一个相关空间映射特征分布，对所述目标空间映射特征分布进行关联分析操作，再将关联分析操作的结果和所述第一个相关空间映射特征分布进行聚合操作，以形成该特征处理单元对应的聚合特征分布，所述目标数量个特征处理单元先后连接；

43、对于目标数量个特征处理单元中的第一个特征处理单元以外的每一个特征处理单元，利用该特征处理单元，从所述特征分布序列中，提取出对应分布位置的相关空间映射特征分布，以及，基于该相关空间映射特征分布，对前一个特征处理单元对应的聚合特征分布进行关联分析操作，再将关联分析操作的结果和该相关空间映射特征分布进行聚合操作，以形成该特征处理单元对应的聚合特征分布；

44、将最后一个特征处理单元对应的聚合特征分布和所述目标空间映射特征分布进行聚合操作，以输出所述目标空间映射特征分布对应的聚合空间映射特征分布，以及，将每一个所述局部空间映射特征分布对应的聚合空间映射特征分布进行合并，以形成所述目标上游文本对应的优化空间映射特征分布，再依据所述优化空间映射特征分布，分析出所述多个预设初阶下游文本中的每一个预设初阶下游文本对应的下游响应参数。

45、在一些优选的实施例中，在上述基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法中，所述提取到多个初阶示例性信息的步骤，包括：

46、对示例性半导体生产系统进行运行监控操作，以形成多个初阶示例性上游文本和每一个初阶示例性上游文本的初阶示例性下游文本；

47、确定出多个初阶示例性下游文本中的每一个初阶示例性下游文本对应的示例性上游文本数据量；

48、在任意一个初阶示例性下游文本对应的示例性上游文本数据量小于或等于预先配置的标准文本数据量的情况下，扩展与所述任意一个初阶示例性下游文本对应的初阶示例性上游文本，使得所述任意一个初阶示例性下游文本对应的示例性上游文本数据量大于所述标准文本数据量；或者

49、计算出预先配置的对应调整参数与目标上游文本数据量之间的乘法运算值，以形成对应的预设文本数据量，以及，在任意一个初阶示例性下游文本对应的示例性上游文本数据量小于或等于所述预设文本数据量的情况下，扩展与所述任意一个初阶示例性下游文本对应的初阶示例性上游文本，使得所述任意一个初阶示例性下游文本对应的示例性上游文本数据量大于所述预设文本数据量，所述目标上游文本数据量用于反映所述多个初阶示例性上游文本的总数据量。

50、本发明实施例还提供一种基于智能监控的半导体生产系统运行分析系统，包括处理器和存储器，所述存储器用于存储计算机程序，所述处理器用于执行所述计算机程序，以实现上述的基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法。

51、本发明实施例提供的基于智能监控的半导体生产系统运行分析方法及系统，可以先提取到初阶示例性信息；确定出候选的设备运行分析网络；基于初阶示例性信息包括的初阶示例性上游文本和初阶示例性下游文本，进行网络优化；提取到进阶示例性信息；基于进阶示例性信息和进阶示例性信息对应的目标响应参数，将设备运行分析网络进行新的网络优化；利用设备运行分析网络，对目标上游文本进行分析操作，以输出目标下游文本，基于目标下游文本反映的预测运行过程和该预测运行过程对应的实际运行过程，确定出目标半导体生产系统的运行状态。基于前述的内容，由于可以先预测出目标下游文本，使得可以基于目标下游文本反映的预测运行过程和该预测运行过程对应的实际运行过程，确定出目标半导体生产系统的运行状态，如此，相较于直接对生产设备的运行数据进行状态分析的常规技术方案，由于充分利用了设备在生产上的相关性和先后性，使得可靠性更高，因此，可以在一定程度上提高运行状态分析的可靠度，从而改善现有技术中存在的状态分析可靠度不高的问题。

52、为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。