一种控制匀胶显影设备信号灯蜂鸣器的声音开闭装置的制作方法

本技术涉及匀胶显影设备领域，具体为一种控制匀胶显影设备信号灯蜂鸣器的声音开闭装置。

背景技术：

1、匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等。

2、现有的匀胶显影机有如下缺陷：

3、现有匀胶显影机新设备安装调试时，会有很多提醒和报警，因此蜂蜜器会一直发出声响，对在设备周边工作的人员来说会产生影响，而这个状况有时会持续数周的时间，产生持续的噪音干扰。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种控制匀胶显影设备信号灯蜂鸣器的声音开闭装置，解决了现有匀胶显影机新设备安装调试时，会有很多提醒和报警，因此蜂蜜器会一直发出声响，对在设备周边工作的人员来说会产生影响，而这个状况有时会持续数周的时间，产生持续的噪音干扰的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种控制匀胶显影设备信号灯蜂鸣器的声音开闭装置，包括装置本体，所述装置本体包括电源装置、蜂鸣器、外接显示装置、控制器开关装置和连接线，所述电源装置通过连接线与蜂鸣器相连接，所述蜂鸣器通过若干组连接线与外接显示装置相连接；

5、优选的，所述控制器开关装置一端通过连接线与外接显示装置相连接，所述控制器开关装置另一端通过连接线与电源装置相连接。

6、优选的，所述外接显示装置包括红灯连接端、黄灯连接端、绿灯连接端、蓝灯连接端、灰灯连接端和白灯连接端，所述红灯连接端、黄灯连接端、绿灯连接端、蓝灯连接端、灰灯连接端和白灯连接端后端均设有外接设备连接端。

7、优选的，所述蜂鸣器内自上到下分别设有红显示灯、黄显示灯、绿显示灯、蓝显示灯、灰显示灯和白显示灯。

8、(三)有益效果

9、本实用新型提供了一种控制匀胶显影设备信号灯蜂鸣器的声音开闭装置。具备以下有益效果：

10、该种控制匀胶显影设备信号灯蜂鸣器的声音开闭装置把蜂蜜器的连线延伸出来，当中串接一个手动自锁式开关，并把开关安装在设备操作主屏边上，当处在设备安装调试的过程中，可以通过这个开关临时关闭蜂鸣器，直至设备调试完成再打开。这样就不用一直在操作屏上点击软件界面去关闭了，从而减少设备安装过程中蜂鸣声对环境和人员的不利影响。

技术特征：

1.一种控制匀胶显影设备信号灯蜂鸣器的声音开闭装置，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括电源装置(2)、蜂鸣器(3)、外接显示装置(4)、控制器开关装置(5)和连接线(6)，所述电源装置(2)通过连接线(6)与蜂鸣器(3)相连接，所述蜂鸣器(3)通过若干组连接线(6)与外接显示装置(4)相连接；

2.根据权利要求1所述的一种控制匀胶显影设备信号灯蜂鸣器的声音开闭装置，其特征在于：所述外接显示装置(4)包括红灯连接端(7)、黄灯连接端(8)、绿灯连接端(9)、蓝灯连接端(10)、灰灯连接端(11)和白灯连接端(12)，所述红灯连接端(7)、黄灯连接端(8)、绿灯连接端(9)、蓝灯连接端(10)、灰灯连接端(11)和白灯连接端(12)后端均设有外接设备连接端(13)。

3.根据权利要求1所述的一种控制匀胶显影设备信号灯蜂鸣器的声音开闭装置，其特征在于：所述蜂鸣器(3)内自上到下分别设有红显示灯(14)、黄显示灯(15)、绿显示灯(16)、蓝显示灯(17)、灰显示灯(18)和白显示灯(19)。

技术总结
本技术公开了一种控制匀胶显影设备信号灯蜂鸣器的声音开闭装置，包括装置本体，所述装置本体包括电源装置、蜂鸣器、外接显示装置、控制器开关装置和连接线，所述电源装置通过连接线与蜂鸣器相连接，所述蜂鸣器通过若干组连接线与外接显示装置相连接；所述控制器开关装置一端通过连接线与外接显示装置相连接，所述控制器开关装置另一端通过连接线与电源装置相连接。该种装置可以通过这个开关临时关闭蜂鸣器，直至设备调试完成再打开，通过这样的方式，就不用一直在操作屏上点击软件界面去关闭了，从而减少设备安装过程中蜂鸣声对环境和人员的不利影响。

技术研发人员：蔡伟
受保护的技术使用者：上海至纯半导体设备有限公司
技术研发日：20230716
技术公布日：2024/1/22