专利名称：光记录盘的制造方法
技术领域：
本发明涉及光记录盘的制造方法，具体地说，涉及在使用粘度高的紫外线硬化性树脂来形成光透射层时，也能形成具有均匀膜厚的光透射层的光记录盘的制造方法。
背景技术：
近年来，作为用于记录大容量数字数据的记录媒体，广泛使用了以CD或DVD为代表的光记录盘。
这些光记录盘能大致划分为象CD-ROM或DVD-ROM那样，不能进行数据的追加记录或改写类型的所谓ROM型光记录盘；象CD-R或DVD-R那样，能进行数据追加但不能进行数据改写类型的所谓追加记录型光记录盘；象CD-RW或DVD-RW那样，能进行数据改写类型的所谓改写型光记录盘。
众所周知，在ROM型光记录盘中，在制造阶段中，一般通过形成在衬底上的预凹陷来记录数据，在改写型光记录盘中，例如作为记录层的材料，一般使用相变材料，利用基于该相状态变化的光学特性变化来记录数据。另外，根据需要有时在记录层的上下位置设置介质层，把全体作为记录层起作用。
而在追加记录型光记录盘中，作为记录层的材料，一般使用花青类色素、酞花青类色素、偶氮色素等有机色素，利用基于其化学变化的光学特性变化，记录数据。
近年来，要求与DVD相比能跨更长时间进行记录、在线的光记录盘的开发，谋求记录密度的提高。
在光记录盘中，为了提高记录密度，有必要减小照射到光记录盘上的激光的射束点直径，激光射束点直径与激光波长λ和透镜的数值孔径NA的比成比例，所以要求使用波长λ短的激光和数值孔径NA大的透镜，在光记录盘上记录数据。
因此，在记录密度高的下一代光记录盘中，提出了使用波长λ短的蓝色激光和数值孔径NA大的透镜，在光记录盘上记录数据。
但是，当使用数值孔径NA大的透镜时，焦距缩短，无法象CD或DVD那样，通过光透射性衬底把激光照射到记录层上，所以有必要在记录层上形成光透射层，通过光透射层把激光照射到记录层上。
而如果增大透镜的数值孔径NA，则对于光透射层的厚度不均匀的允许度减小，所以要求均匀设置光透射层。
作为在记录层上形成光透射层的方法，提出在形成在信号面上形成凹陷或凹槽的衬底上的记录层上，使用旋转镀膜装置涂敷液态的紫外线硬化性树脂，在形成的涂敷膜上照射紫外线，使紫外线硬化性树脂硬化的方法。
但是，在形成在衬底上的记录层上，使用旋转镀膜装置涂敷液态的紫外线硬化性树脂时，在衬底和记录层上形成有中心孔，无法向记录层的中心部喷出液态的紫外线硬化性树脂，所以存在形成的涂敷膜的膜厚容易变得不均匀的问题。
因此，特开平11-213459号公报提出使用帽堵住中心孔，向帽的中心部喷出液态的紫外线硬化性树脂，通过旋转镀膜装置，使液态的紫外线硬化性树脂展开，形成涂敷膜的方法。
根据本方法，能通过旋转镀膜装置，使液态的紫外线硬化性树脂展开，形成均匀的涂敷膜，因此，能形成具有均匀膜厚的光透射层，但是，在本方法中，帽上表面的几乎全面由紫外线硬化性树脂覆盖，所以无法避免紫外线硬化性树脂附着到用于操作帽的臂等上，臂被紫外线硬化性树脂污染，紫外线硬化性树脂也有可能附着在旋转镀膜装置的其他部分或旋转镀膜装置以外的制造装置中，结果存在使制造步骤全体的可靠性恶化的问题。
通过臂等的洗净，能解决相关的问题，但是设置臂等洗净装置时，存在制造步骤复杂化，成为成本上升的原因的问题。
因此，特开2001-351275号公报提出使用在中央部形成能把持的把持轴的帽，向着把持轴的外周面，从喷嘴喷出液态的紫外线硬化性树脂，通过旋转镀膜装置使液态的紫外线硬化性树脂展开，形成光透射层的方法。
根据本方法，使用臂等把持形成在帽的中央部的把持轴的紫外线硬化性树脂不附着的部分，通过操作帽，能有效防止由紫外线硬化性树脂复燃旋转镀膜装置的其他部分、旋转镀膜装置以外的制造装置，另外，通过形成细长的把持轴，能把液态紫外线硬化性树脂向帽的几乎中央部喷出，当使用粘度低的液态紫外线硬化性树脂时，通过旋转镀膜装置，使喷出的液态紫外线硬化性树脂展开，能形成具有均匀膜厚的光透射层。
但是，为了使用数值孔径NA大的物镜，要求形成具有100μm左右厚度的光透射层，因此，作为涂敷液，要求使用粘度高达2000～10000厘泊的液态紫外线硬化性树脂，但是当把粘度高的液态紫外线硬化性树脂向帽的把持轴的外周面上喷出，通过旋转镀膜装置使喷出的液态紫外线硬化性树脂展开，形成光透射层时，在光透射层的圆周方向的膜厚产生不均匀，导致所生成的光记录盘质量下降。
发明内容
鉴于以上所述问题的存在，本发明的目的在于提供在使用粘度高的紫外线硬化性树脂来形成光透射层时，也能形成具有均匀膜厚的光透射层的光记录盘制造方法。
本发明的目的由具有如下特征的光记录盘的制造方法实现把形成有记录层的圆形衬底设置在旋转镀膜装置的台上，把具有圆形、平坦的顶面或形成与顶面的周边部为同心圆，在圆周方向均匀的凹部的顶面，在所述顶面的中央部形成能把持的把持轴的帽设置在所述衬底上，堵住形成在所述衬底中央部的中心孔，一边用给定的低转速使所述台旋转，一边向所述帽的所述顶面喷出液态放射线硬化性树脂，在停止所述液态放射线硬化性树脂的喷出后，使所述液态放射线硬化性树脂在所述帽的所述顶面上展开为与所述衬底的周边部为同心圆。
根据本发明，把形成有记录层的圆形衬底设置在旋转镀膜装置的台上，把具有圆形、平坦的顶面或与顶面的周边部为同心圆，在圆周方向形成均匀凹部的顶面，在顶面的中央部形成能把持的把持轴的帽设置在衬底上，堵住形成在衬底中央部的中心孔，一边用给定的低转速使台旋转，一边向帽的顶面喷出液态放射线硬化性树脂，停止液态放射线硬化性树脂的喷出后，使液态放射线硬化性树脂在帽的顶面上展开为与衬底的周边部为同心圆因此，此后，使台高速旋转，在帽的顶面上，把展开为与衬底的周边部为同心圆状的液态放射线硬化性树脂在形成在衬底上的记录层上展开时，液态的放射线硬化性树脂在记录层上展开为同心圆状，因此，当使用粘度高的放射线硬化性树脂形成光透射层时，能形成具有均匀膜厚的光透射层。
在本发明的优选实施形态中，一边以所述给定的低转速使所述台旋转，一边向所述帽的所述顶面喷出液态放射线硬化性树脂，停止所述液态放射线硬化性树脂的喷出后，使所述台的转速下降到比所述给定转速低，使所述液态放射线硬化性树脂在所述帽的所述顶面上展开为与所述衬底的周边部为同心圆状。
根据本发明的优选实施形态，一边以给定低转速使所述台旋转，一边向帽的所述顶面喷出液态放射线硬化性树脂，停止液态放射线硬化性树脂的喷出后，使台的转速下降到比给定转速低，使液态放射线硬化性树脂在帽的所述顶面上展开为与所述衬底的周边部为同心圆状。因此，喷出到帽的顶面上的液态放射线硬化性树脂容易变平，因此，能在帽的顶面上，更均匀地把液态放射线硬化性树脂展开为与衬底的周边部为同心圆状，所以，此后，使台以高速旋转，在帽的顶面上把展开为与衬底的周边部为同心圆状的液态放射线硬化性树脂在形成在衬底上的记录层上展开时，液态的放射线硬化性树脂在记录层上展开为同心圆状，因此，当使用粘度高的放射线硬化性树脂形成光透射层时，能形成具有均匀膜厚的光透射层。
在本发明的优选实施形态中，一边使所述台以所述给定的低转速旋转，一边向所述帽的所述顶面喷出液态放射线硬化性树脂，停止所述液态放射线硬化性树脂的喷出后，使所述台的旋转停止，使所述液态放射线硬化性树脂在所述帽的所述顶面上展开为与所述衬底的周边部为同心圆状。
根据本发明的优选实施形态，一边使台以所述给定的低转速旋转，一边向帽的顶面喷出液态放射线硬化性树脂，停止液态放射线硬化性树脂的喷出后，使台的旋转停止，使液态放射线硬化性树脂在帽的顶面上展开为与衬底的周边部为同心圆状。因此，喷出到帽的顶面上的液态放射线硬化性树脂更容易变平，因此，能在帽的顶面上，更均匀地把液态放射线硬化性树脂展开为与衬底的周边部为同心圆状，所以此后，使台以高速旋转，在帽的顶面上把展开为与衬底的周边部为同心圆状的液态放射线硬化性树脂在形成在衬底上的记录层上展开时，液态的放射线硬化性树脂在记录层上展开为同心圆状，因此，当使用粘度高的放射线硬化性树脂形成光透射层时，能形成具有均匀膜厚的光透射层。
在本发明的优选实施形态中，一边使所述台以所述给定的低转速旋转，一边向所述帽的所述顶面喷出液态放射线硬化性树脂，停止所述液态放射线硬化性树脂的喷出后，使所述台的转速保持所述给定的低转速，使所述放射线硬化性树脂在所述帽的顶面上展开为与所述衬底的周边部为同心圆状。
在本发明的优选实施形态中，所述液态放射线硬化性树脂具有2000～10000厘泊的粘度。
向帽的把持轴的外周面喷出粘度高的液态放射线硬化性树脂，通过旋转镀膜装置使喷出的液态放射线硬化性树脂展开，形成光透射层时，在光透射层的圆周方向的膜厚容易产生不均匀，但是根据本发明的优选实施形态，一边使台以给定低转速旋转，一边向帽的顶面喷出液态放射线硬化性树脂，把台的转速保持在给定的低转速，或者使台的转速下降到比给定的低转速还低，或者使台的旋转停止，使液态放射线硬化性树脂在帽的顶面上展开为与衬底的周边部为同心圆状，所以液态放射线硬化性树脂即使具有2000～10000厘泊的高粘度时，此后，使台以高速旋转，在帽的顶面上把展开为与衬底的周边部为同心圆状的液态放射线硬化性树脂在形成在衬底上的记录层上展开时，液态的放射线硬化性树脂在记录层上展开为同心圆状，因此，当使用粘度高的放射线硬化性树脂形成光透射层时，能形成具有均匀膜厚的光透射层。
在本发明的优选实施形态中，光记录盘的制造方法还具有以高速使所述台旋转的步骤。
在本发明的优选实施形态中，一边使所述台以5～100r.p.m.的速度旋转，一边向所述帽的所述顶面喷出所述液态放射线硬化性树脂。
如果把粘度高的放射线硬化性树脂向以高速旋转的帽的顶面上喷出，则在液态放射线硬化性树脂在所述记录层上展开而形成的光透射层中容易混入起跑，生成的光记录盘的质量下降，但是根据本发明的优选实施形态，一边使台以5～100r.p.m.的低速旋转，一边向帽的顶面喷出液态放射线硬化性树脂，所以能有效防止气泡混入光透射层中，因此，能制造高质量的光记录盘。
在本发明的优选实施形态中，一边使所述台以10～50r.p.m.的速度旋转，一边向所述帽的所述顶面喷出所述液态放射线硬化性树脂。
如果把粘度高的放射线硬化性树脂向以高速旋转的帽的顶面上喷出，则在液态放射线硬化性树脂在所述记录层上展开而形成的光透射层中容易混入起跑，生成的光记录盘的质量下降，但是根据本发明的优选实施形态，一边使台以10～50r.p.m.的低速旋转，一边向帽的顶面喷出液态放射线硬化性树脂，所以能有效防止气泡混入光透射层中，因此，能制造高质量的光记录盘。
在本发明的优选实施形态中，把所述帽设置在所述衬底上，使所述帽的所述顶面的周边部位于与所述衬底的所述周边部的同心圆上。
根据本发明的优选实施形态，把帽设置在衬底上，使帽的顶面的周边部位于与衬底的周边部的同心圆上。因此，跨帽的顶面全面使液态放射线硬化性树脂展开，能使液态放射线硬化性树脂展开为与衬底的周边部为同心圆状，然后，通过使台以高速旋转，能使液态的放射线硬化性树脂在记录层上展开为同心圆状，因此，当使用粘度高的放射线硬化性树脂形成光透射层时，能形成具有均匀膜厚的光透射层。
在本发明的优选实施形态中，所述帽的侧面投影面为近似梯形。
根据本发明的优选实施形态，帽的侧面投影面为近似梯形，所以如果以高速使台旋转，则在帽的顶面上展开为与衬底的周边部为同心圆状的液态放射线硬化性树脂流过帽的斜面状侧面，能把液态放射线硬化性树脂在记录层上可靠地展开为同心圆状，因此，当使用粘度高的放射线硬化性树脂形成光透射层时，能形成具有均匀膜厚的光透射层。
在本发明中，作为放射线硬化性树脂，希望使用紫外线硬化性树脂、电子射线硬化性树脂。
下面简要说明附图。
图1是应该由本发明优选实施形态的光记录盘的制造方法制造的光记录盘的概略立体图。
图2是用图1的A表示的部分的概略放大剖视图。
图3是表示本发明优选实施形态的光记录盘的制造方法中使用的旋转镀膜装置主要部分的概略立体图。
图4是图3所示的旋转镀膜装置的主要部分的概略纵剖视图。
图5是旋转镀膜装置的控制系统和驱动系统的框图。
图6是表示数据记录部件被固定在旋转镀膜装置的台上的状态的概略剖视图。
图7是帽的概略立体图。
图8是图7所示的帽的概略中央剖视图。
图9是表示帽被设置在台上设置的数据记录部件上的给定位置上的状态的概略剖视图。
图10是表示紫外线硬化性树脂从喷出喷嘴喷出到帽的伞部顶面上的状态的概略剖视图。
图11是表示液态紫外线硬化性树脂均匀分布在帽的伞部顶面的整个面上的状态的概略剖视图。
图12是表示在数据记录部件的记录层上形成了具有给定膜厚的紫外线硬化性树脂薄膜的状态的概略剖视图。
图13是表示向数据记录部件的记录层上形成的紫外线硬化性树脂薄膜照射紫外线的状态的概略剖视图。
图14是表示本发明其他实施形态的光记录盘制造方法中使用的帽的概略立体图。
图15是图14所示的帽的概略中央剖视图。
图16是表示液态紫外线硬化性树脂均匀分布在帽的伞部顶面的整个面上的状态的概略剖视图。
图17是实施例中使用的帽的侧面的概略剖视图。
具体实施例方式
下面，参照附图，详细说明本发明的优选实施形态。
图1是应该由本发明优选实施形态的光记录盘的制造方法制造的光记录盘的立体图，图2是图1的A表示的部分的放大剖视图。
如图1所示，应该由本发明优选实施形态的光记录盘的制造方法制造的光记录盘1具有由聚碳酸酯等形成的圆形衬底2、在光应该入射一侧的衬底2表面上通过溅射而形成的记录层3、形成在记录层3的表面上的光透射层4。
如图2所示，在衬底2的光应该入射一侧的表面上，在通过注射模塑成形形成衬底2时，通过压模形成凹槽5。
在形成在衬底2上的记录层3上，通过旋转镀膜形成液态紫外线硬化性树脂的涂敷膜，向涂敷膜照射紫外线，使紫外线硬化性树脂硬化，形成光透射层4。
如图1所示，在光记录盘1的中央部形成用于把光记录盘1设置到记录再现机上的中心孔6，在中心孔6的外侧形成用于把光记录盘1设置到记录再现机上的夹持区域7，在夹持区域7上不形成有记录层3和光透射层4。
图3是表示本发明优选实施形态的光记录盘的制造方法中使用的旋转镀膜装置主要部分的立体图，图4是图3所示的旋转镀膜装置的主要部分的纵剖视图。
如图3和图4所示，本实施形态的光记录盘的制造方法中使用的旋转镀膜装置10具有直径与光记录盘1的直径几乎相等的台21、设置在台21的中央部的第一突出部22、设置在第一突出部22的中央部的第二突出部23。
台21、第一突出部22和第二突出部23的构成为使之通过台电动机(未图示)来一体旋转。
如图3和图4所示，第一突出部22是放置相当于形成衬底2记录层3的数据记录部件的夹持区域7的区域的部分，在其表面上形成多个第一吸气口24。在多个第一吸气口24上连接第一吸气泵(未图示)，通过使第一吸气机构工作，安放在第一突出部22上的数据记录部件被吸引到第一突出部22的表面上，固定在台21上。
第二突出部23的直径与应该制造的光记录盘1的中心孔6的直径对应，当把数据记录部件安放到第一突出部22上时，把第二突出部23插入数据记录部件的中心孔6中。
如图3和图4所示，在第二突出部23的中央部形成第二吸气口25，在第二吸气口25上联接着第二吸气泵(未图示)。
图3和图4虽然未图示，但是旋转镀膜装置10在顶端还包括在顶端设置具有柔软性的吸引垫，吸引数据记录部件的夹持区域7，保持，设置在旋转镀膜装置10的台21上，通过旋转镀膜，形成紫外线硬化性树脂的涂敷膜，吸引生成的光记录盘1的夹持区域7，保持，从旋转镀膜装置10取出的第一臂；保持帽，安放到台21上设置的数据记录部件上的给定位置，并且把帽通过旋转镀膜，形成紫外线硬化性树脂的涂敷膜，从生成的光记录盘1取掉的第二臂；把紫外线硬化性树脂向帽上喷出的喷出喷嘴。
图5是旋转镀膜装置10的控制系统和驱动系统的方块图。
如图5所示，旋转镀膜装置10的控制系统具有控制旋转镀膜装置10全体动作的控制部件30。
另外，旋转镀膜装置10的驱动系统包括使台21旋转的台电动机31；第一吸气泵32；第二吸气泵33；吸引数据记录部件，使输送的第一臂34移动的第一臂移动部件35；把持帽，使输送的第二臂36移动的第二臂移动部件37；能使喷出喷嘴38向帽上喷出紫外线硬化性树脂的喷出装置；在与从台21避开的避开位置之间移动，并且从喷出喷嘴38喷出液态紫外线硬化性树脂的喷嘴驱动部件39；紫外线灯40。
通过采用以上结构的旋转镀膜装置10，在制造光记录盘1时，首先从控制部件30向第一臂移动部件35输出第一驱动信号，把衬底2和具有通过溅射而在衬底2上形成的记录层3的数据记录部件吸引到第一臂34的吸引垫(未图示)上，安放在旋转镀膜装置10的台21上。
数据记录部件通过第一臂34吸引该夹持区域7，输送，放置在旋转镀膜装置10的台21上，使记录层3位于上方，第二突出部23与中心孔6配合。
如果数据记录部件被放置在旋转镀膜装置10的台21上，就从控制部件30向第一臂移动部件35输出避开信号，第一臂34从台21避开，同时从控制部件30向第一吸气泵32输出工作信号，第一吸气泵32工作，安放在第一突出部22上的衬底2被吸引到第一突出部22的表面上，固定在台21上。
图6是表示数据记录部件被固定在旋转镀膜装置10的台21上的状态的概略剖视图。
接着，从控制部件30向第二臂移动部件37输出第一驱动信号，帽通过第二臂36安放到台21上设置的数据记录部件50上的给定位置。
图7是帽的立体图，图8是图7所示的帽的中央剖视图。
如图7和图8所示，本实施形态中使用的帽55具有平面形状为圆形，侧面的投影形状为近梯形的伞部56；形成在伞部56的顶面上，从伞部56的顶面中心向伞部56的轴线方向延伸的支撑轴57；形成在伞部56的底面上，从伞部56的中心向伞部56的轴线方向延伸的近圆柱状突起部58。
如图7和图8所示，当通过旋转镀膜，在数据记录部件50的表面上图氟紫外线硬化性树脂时，防止由于毛细管现象，紫外线硬化性树脂进入帽55的伞部56的底面和衬底2之间，所以在帽55的伞部56的底面形成凹部56a。
帽55由金属形成。
伞部56的直径设定为比应该制造的光记录盘1的中心孔6的直径还大，并且在应该制造的光记录盘1的夹持区域7的外径以下。
另外，形成帽55的突起部58，使它的直径比旋转镀膜装置10的第二吸气口25的内径还稍小。
帽55通过第二臂36把持支撑轴57而被输送，当安放在台21上设置的数据记录部件50上时，突起部58与旋转镀膜装置10的第二吸气口25配合，定位在给定的位置。
图9是表示把帽55安放在台21上设置的数据记录部件50上的给定位置的状态的剖视图。
在此，把帽55设置在数据记录部件50上，使伞部56的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上。
如果把帽55设置在数据记录部件50上，则从控制部件30向第二臂移动部件37发送避开信号，第二臂36从台21上避开，同时从控制部件30向第二吸气泵33输出工作信号，第二吸气泵33工作，吸引与旋转镀膜装置10的第二吸气口25配合的帽55的突起部58，把帽55固定在数据记录部件50上。
如果第二吸气泵33工作，帽55固定在数据记录部件50上，就从控制部件30向台电动机31输出第一驱动信号，台电动机31工作，台21、第一突出部22和第二突出部23成为一体，以低速例如30r.p.m.的速度旋转。结果，固定在台21上的数据记录部件50和固定在数据记录部件50上的帽55也与台21、第一突出部22以及第二突出部23一起，一体以低速例如30r.p.m.的速度旋转。
接着，从控制部件30向喷嘴驱动部件39输出第一驱动信号，喷出喷嘴38移动到能向固定在数据记录部件50上的帽55上喷出液态紫外线硬化性树脂的位置，再从控制部件30向喷嘴驱动部件39输出喷出信号，如图10所示，从喷出喷嘴38向帽55的伞部56喷出具有7000厘泊的粘度的液态紫外线硬化性树脂60。
台21以低速例如30r.p.m.跨数次旋转，把给定量的液态紫外线硬化性树脂60向帽55的伞部56的顶面喷出，则从控制部件30向喷嘴驱动部件39输出喷出停止信号，停止液态紫外线硬化性树脂60的喷出，同时从控制部件30向台电动机31输出第二驱动信号，台21的旋转速度从30r.p.m.下降到20r.p.m.。
因此，通过台电动机31，台21、第一突出部22、第二突出部23、固定在台21上的数据记录部件30和固定在数据记录部件30上的帽55作为一体以更低速度例如20r.p.m.的速度旋转。
在此，向帽55的伞部56的顶面上喷出的液态紫外线硬化性树脂60的量即使在台21以高速旋转，向帽55的伞部56的顶面上喷出的液态紫外线硬化性树脂60的一部分通过由于台21的旋转而产生的离心力，从衬底2的周边部飞散，也能设定为能形成所需膜厚的光透射层4的量M，因此，帽55的圆形伞部56形成在其顶面上能保持量M以上的液态紫外线硬化性树脂60的尺寸。
通过台电动机31使台21的旋转速度例如从30r.p.m.下降到20r.p.m.的结果是向帽55的伞部56的顶面上喷出的液态紫外线硬化性树脂60如图11所示，被平铺，跨帽55的伞部56的顶面全面展开。
在本实施形态中，具有7000厘泊的粘度的液态紫外线硬化性树脂60喷出到跨帽55的伞部56的顶面上，因为液态紫外线硬化性树脂60的粘度高，所以如图11所示，液态紫外线硬化性树脂60跨帽55的伞部56的顶面全面展开，由于表面张力，其周边部从帽55的伞部56的顶面的周边部突出，帽55设置在数据记录部件50上，使伞部56的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上，所以跨帽55的伞部56的顶面全面展开液态紫外线硬化性树脂60的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上。
如果台21以更低速例如20r.p.m.的速度跨数次旋转，就从控制部件30向台电动机31输出第三驱动信号，通过台电动机31，台21、第一突出部22、第二突出部23以及固定在台21上的数据记录部件30和固定在数据记录部件30上的帽35成为一体，以高速例如2000r.p.m.的速度旋转。
结果，向帽55的伞部56的顶面喷出，跨伞部56的顶面全面展开的液态紫外线硬化性树脂60通过由于旋转而产生的离心力，向着数据记录部件50的周边部，在数据记录部件50的记录层3上展开，如图12所示，在数据记录部件50的记录层3上形成具有给定的厚度例如约100μm的膜厚的紫外线硬化性树脂60的薄膜。
在本实施形态中，帽55设置在数据记录部件50上，使伞部56的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上，向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂60跨帽55的伞部56的顶面全面展开，在平铺后，台21以高速旋转，液态紫外线硬化性树脂60在形成在衬底2上的记录层3的表面展开，所以液态紫外线硬化性树脂60在记录层3上对于衬底2的周边部展开为同心圆状，因此，具有均匀膜厚的紫外线硬化性树脂60的薄膜形成在记录层3上。
另外，帽55的伞部56具有近梯形的纵截面，所以液态紫外线硬化性树脂60从帽55的伞部56的顶面沿着帽55的伞部56的斜面状侧面在记录层3上展开，因此，液态紫外线硬化性树脂60能可靠地在记录层3对于衬底2的周边部展开为同心圆状。
如果在数据记录部件50的记录层3上形成紫外线硬化性树脂60的薄膜，就从控制部件30向台电动机31输出第四驱动信号，并且向紫外线灯40输出驱动信号。
结果，通过台电动机31，台21、第一突出部22、第二突出部23、固定在台21上的数据记录部件50和固定在数据记录部件50上的帽55一体以中等程度的速度旋转，并且紫外线灯40点亮，如图13所示，紫外线41照射形成在数据记录部件50的记录层3上的紫外线硬化性树脂60的薄膜上。
如果照射紫外线41，紫外线硬化性树脂60的薄膜在某种程度上硬化，就从控制部件30向紫外线灯40输出驱动停止信号，紫外线灯40关闭，并且从控制部件30向台电动机31输出驱动停止信号，停止台电动机31的工作，再从控制部件30向第二吸气泵33输出工作停止信号，停止第二吸气泵33的工作。
接着，从控制部件30向第二臂移动部件37输出第二驱动信号，通过第二臂36把持帽55的支撑轴57，从数据记录部件50上取下帽55。
如果从数据记录部件50上取下帽55，就从控制部件30再次向紫外线灯40输出驱动信号，紫外线灯40打开，紫外线41照射形成在数据记录部件50的记录层3上的紫外线硬化性树脂60的薄膜。
如果形成在数据记录部件50的记录层3上的液态紫外线硬化性树脂60的薄膜完全硬化，形成光透射层4，生成光记录盘1，就从控制部件30向紫外线灯40输出驱动停止信号，紫外线灯40关闭，并且向第一吸气泵32输出驱动停止信号，停止第一吸气泵32的工作。
接着，从控制部件30向第一臂移动部件35输出第二驱动信号，通过第一臂34的吸引垫(未图示)，吸引光记录盘1的夹持区域7，通过第一臂34从旋转镀膜装置11取出光记录盘1。
根据本实施形态，帽55设置在数据记录部件50上，使其伞部56的周边部位于衬底2的同心圆上，向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂60平铺，跨帽55的伞部56的顶面全面展开后，台21以高速旋转，液态紫外线硬化性树脂60在形成在衬底2上的记录层3的表面展开，所以能把液态紫外线硬化性树脂60在记录层3上对于衬底2的周边部展开为同心圆状，因此，在记录层3上能形成具有均匀膜厚的紫外线硬化性树脂60的薄膜，所以通过旋转镀膜在记录层3上展开粘度高的液态紫外线硬化性树脂60，能形成具有均匀膜厚的光透射层4。
另外，根据本实施形态，帽55的伞部56的侧面投影形状为近梯形，所以液态紫外线硬化性树脂60从帽55的伞部56的顶面沿着帽55的伞部56的侧面在记录层3上展开，因此，能把液态紫外线硬化性树脂60在记录层3上对于衬底2的周边部可靠地展开为同心圆状，通过旋转镀膜把粘度高的液态紫外线硬化性树脂60在记录层3上展开，能形成具有均匀膜厚的光透射层4。
图14是表示本发明其他实施形态的光记录盘的制造方法中使用的帽的立体图，图15是图14所示的帽的中央剖视图。
如图14和图15所示，本实施形态中使用的帽55具有平面形状为圆形，在顶面形成凹部56b的伞部56；形成在伞部56的顶面，从伞部56的顶面中心向伞部56的轴线方向延伸的支撑轴57；形成在伞部56的底面，从伞部56的底面中心向伞部56的轴线方向延伸的近圆柱状突起部58。
如图14和图15所示，形成在帽55的伞部56顶面上的凹部56b与伞部56顶面的周边部为同心圆，均匀地形成在圆周方向，与图7和图8所示的帽55同样，在帽55的伞部56底面形成凹部56a。
在本实施形态中，与所述实施形态同样，帽55固定在数据记录部件50上，使伞部56的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上，台21例如以30r.p.m.的低速旋转，从喷出喷嘴38向与台21一起以低速旋转的帽55的伞部56的顶面喷出紫外线硬化性树脂60。
台21以低速例如30r.p.m.的速度跨数次旋转，如果给定量的液态紫外线硬化性树脂60喷出到帽55的伞部56的顶面，就从控制部件30向喷嘴驱动部件39输出喷出停止信号，停止液态紫外线硬化性树脂60的喷出，同时从控制部件30向台电动机31输出驱动停止信号，台21的旋转停止。
结果，从喷出喷嘴38向帽55的伞部56的顶面上喷出的液态紫外线硬化性树脂60如图16所示平铺，跨帽55的伞部56的顶面全面展开。
这样，从喷出喷嘴38向帽55的伞部56的顶面喷出液态紫外线硬化性树脂60后，使旋转镀膜装置的台21停止时，向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂容易平铺，希望能更均匀地把液态紫外线硬化性树脂跨帽55的伞部56的顶面全面展开，使它的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上。
向台电动机31输出驱动停止信号后，如果经过给定时间，就从控制部件30向台电动机31输出第三驱动信号，通过台电动机31，台21、第一突出部22、第二突出部23以及固定在台21上的数据记录部件50和固定在数据记录部件50上的帽55成为一体，以高速例如2000r.p.m.的速度旋转。
结果，向帽55的伞部56的顶面喷出，跨伞部56的顶面全面展开的液态紫外线硬化性树脂60通过由于旋转而产生的离心力，向着数据记录部件50的周边部在数据记录部件50的记录层3上展开，在数据记录部件50的记录层3上形成具有给定厚度例如约100μm膜厚的紫外线硬化性树脂60的薄膜。
根据本实施形态，帽55设置在数据记录部件50上，使伞部56的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上，向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂60跨帽55的伞部56的顶面全面展开，平铺后，台21以高速旋转，液态紫外线硬化性树脂60在形成在衬底2上的记录层3的表面展开，所以液态紫外线硬化性树脂60在记录层3上对于衬底2的周边部展开为同心圆状，因此，在记录层3上能形成具有均匀膜厚的紫外线硬化性树脂60的薄膜。
另外，在本实施形态中，液态紫外线硬化性树脂60从帽55的伞部56的顶面沿着帽55的伞部56的斜面状侧面在记录层3上展开，因此，能把液态紫外线硬化性树脂60在记录层3上对于衬底2的周边部展开为同心原状。
实施例如图17所示，使用具有平面形状为圆形，侧面投影形状为梯形，顶面直径为23mm，底面直径为38mm，高度为2mm的伞部56，在伞部56的顶面中央形成具有4mm直径的把持轴57的帽55，向帽55的伞部56的顶面上喷出具有7400厘泊的粘度的液态紫外线硬化性树脂，通过旋转镀膜装置，在形成在直径120mm的衬底上的记录层表面形成光透射层。
首先，把帽55设置在记录层上，使它的伞部56的周边部位于衬底的周边部的同心圆上。
接着，以30r.p.m.的速度使旋转镀膜装置的台旋转，跨10秒，向离开帽55的伞部56的顶面中心4mm的位置喷出1.8g液态紫外线硬化性树脂。
液态紫外线硬化性树脂的喷出结束后，使旋转镀膜装置的台转速下降到20r.p.m.，跨10秒使旋转镀膜装置的台旋转，向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂平铺，跨帽55的伞部56的顶面全面展开，液态紫外线硬化性树脂由于表面张力，其周边部从帽55的伞部56顶面的周边部突出。
接着，使旋转镀膜装置的台的转速在7秒中从20r.p.m.增大到2000r.p.m.，以2000r.p.m.的速度在5.1秒中使旋转镀膜装置的台旋转，跨帽55的伞部56的顶面使展开的液态紫外线硬化性树脂在形成在衬底的记录层表面上展开，形成紫外线硬化性树脂的薄膜。
向紫外线硬化性树脂照射紫外线，使紫外线硬化性树脂的薄膜硬化，形成光透射层，制作光记录盘。
在离光记录盘的中心22mm的部分、40mm的部分、58mm的部分，在圆周方向测定这样制作的光记录盘的光透射层的膜厚分布。
结果，膜厚的最大值和最小值的差在离光记录盘的中心22mm的部分为0.59μm，在40mm的部分为0.54μm，在58mm的部分为0.49μm，尽管使用具有7400厘泊的粘度的液态紫外线硬化性树脂，通过旋转镀膜装置，形成光透射层，但是判明光透射层的圆周方向的膜厚分布十分均匀。
这是因为推测为把帽55设置在记录层上，使它的伞部56的周边部位于衬底的周边部的同心圆上，把向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂平铺，跨帽55的伞部56的顶面全面展开后，旋转镀膜装置的台以高速旋转，把液态紫外线硬化性树脂在形成在衬底上的记录层表面展开，液态紫外线硬化性树脂60在记录层上对于衬底的周边部展开为同心圆状。
本发明并不局限于上述的实施形态和实施例，在权利要求书中所述的发明范围内能进行各种变更，这些当然也包含在本发明的范围内。
例如，在图3～图13所示的实施形态和实施例中，把液态紫外线硬化性树脂向以30r.p.m.的低速旋转的帽55的伞部56的顶面喷出后，使旋转镀膜装置的台21的转速下降到20r.p.m.，使台21旋转数圈，使向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂平铺，跨帽55的伞部56的顶面全面展开，使它的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上，在图14～图16所示的实施形态中，把液态紫外线硬化性树脂向以30r.p.m.的低速旋转的帽55的伞部56的顶面喷出后，跨给定时间，使旋转镀膜装置的台21的旋转停止，把向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂平铺，跨帽55的伞部56的顶面全面展开，使它的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上，但是，并不一定要使旋转镀膜装置的台21的转速下降到20r.p.m.，使台21旋转数圈，把向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂平铺，跨帽55的伞部56的顶面全面展开，使它的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上，或者，跨给定时间使旋转镀膜装置的台21的旋转停止，把向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂平铺，跨帽55的伞部56的顶面全面展开，使它的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上，把旋转镀膜装置的台21的转速跨数圈保持在把液态紫外线硬化性树脂向帽55的伞部56的顶面喷出时的转速，也能把向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂平铺，跨帽55的伞部56的顶面全面展开，使它的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上，如果旋转镀膜装置的台21以低速旋转，就使台21的转速跨数圈增大到比向帽55的伞部56的顶面喷出液态紫外线硬化性树脂时的转速还大，也能把向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂平铺，跨帽55的伞部56的顶面全面展开，使它的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上。
另外，在图3～图13所示的实施形态和所述实施例中，使用具有平面形状为圆形，侧面的投影形状为梯形的伞部56的帽55，在图14～图16所示的实施形态中，使用设置平面形状为圆形，在顶面形成与周边部为同心圆，在圆周方向均匀的凹部56b，具有平坦的侧面的伞部56的帽55，但是并不一定要使用具有平面形状为圆形，侧面的投影形状为梯形的伞部56的帽55，或设置平面形状为圆形，在顶面形成与周边部为同心圆，在圆周方向均匀的凹部56b，具有平坦的侧面的伞部56的帽55，如果伞部56具有圆形的平面形状、平坦的顶面或形成与周边部为同心圆，在圆周方向均匀的凹部，则伞部56的侧面也可以由曲面形成，另外能使用具有圆板状伞部56的帽55。
在所述实施形态中，通过旋转镀膜装置在记录层3上涂敷具有7000厘泊的粘度的液态紫外线硬化性树脂60，形成光透射层，在所述实施例中，通过旋转镀膜在记录层上涂敷具有7400厘泊的粘度的液态紫外线硬化性树脂，形成光透射层，但是并不一定要通过旋转镀膜在记录层上涂敷具有7000或7400厘泊的粘度的液态紫外线硬化性树脂，形成光透射层，如果具有2000～10000厘泊的粘度，就可使用任意粘度的液态紫外线硬化性树脂。
另外，在所述实施形态和所述实施例中，一边以30r.p.m.的速度使旋转镀膜装置的台21旋转，一边向帽55的伞部56的顶面喷出液态紫外线硬化性树脂，但是当向帽55的伞部56的顶面喷出液态紫外线硬化性树脂时，没必要一定把旋转镀膜装置的台21的旋转速度保持在30r.p.m.，当喷出液态紫外线硬化性树脂时，把旋转镀膜装置的台21的旋转速度保持在5～100r.p.m.，希望保持在10～50r.p.m.的范围内。
在所述实施例中，把向帽55的伞部56的顶面喷出的液态紫外线硬化性树脂平铺，跨帽55的伞部56的顶面全面展开，使它的周边部位于衬底2的周边部的同心圆上后，以2000r.p.m.使旋转镀膜装置的台旋转，把跨帽55的伞部56的顶面全面展开的液态紫外线硬化性树脂在衬底上形成的记录层表面上展开，形成紫外线硬化性树脂的薄膜，但是并不一定要以2000r.p.m.使旋转镀膜装置的台旋转，把跨帽55的伞部56的顶面全面展开的液态紫外线硬化性树脂在衬底上形成的记录层表面上展开，形成紫外线硬化性树脂的薄膜，能按照液态紫外线硬化性树脂的粘度选择旋转镀膜装置的台的转速。
另外，在所述实施形态和所述实施例中，通过紫外线硬化性树脂60形成光透射层4，但是并不一定要通过紫外线硬化性树脂60形成光透射层4，代替紫外线硬化性树脂，也能使用电子射线硬化树脂形成光透射层4。
根据本发明，就能提供一种即使在使用粘度高的紫外线硬化性树脂来形成光透射层时，也能形成具有均匀膜厚的光透射层的光记录盘的制造方法。
权利要求
1.一种光记录盘的制造方法，其特征在于把形成有记录层的圆形衬底设置在旋转镀膜装置的台上，把具有圆形、平坦的顶面或与顶面的周边部形成为同心圆，在圆周方向形成有均匀凹部的顶面，在所述顶面的中央部形成有能把持的把持轴的帽设置在所述衬底上，堵住形成在所述衬底中央部的中心孔，一边以给定的低转速使所述台旋转，一边向所述帽的所述顶面上喷出液态放射线硬化性树脂，在停止所述液态放射线硬化性树脂的喷出后，使所述液态放射线硬化性树脂在所述帽的所述顶面上展开为与所述衬底的周边部为同心圆状。
2.根据权利要求1所述的光记录盘的制造方法，其特征在于一边使所述台以所述给定的低转速旋转，一边向所述帽的所述顶面上喷出液态放射线硬化性树脂，在停止所述液态放射线硬化性树脂的喷出后，使所述台的转速下降到比所述给定转速还低，使所述液态放射线硬化性树脂在所述帽的所述顶面上展开为与所述衬底的周边部为同心圆状。
3.根据权利要求2所述的光记录盘的制造方法，其特征在于一边使所述台以所述给定的低转速旋转，一边向所述帽的所述顶面上喷出液态放射线硬化性树脂，在停止所述液态放射线硬化性树脂的喷出后，使所述台的旋转停止，使所述液态放射线硬化性树脂在所述帽的所述顶面上展开为与所述衬底的周边部为同心圆状。
4.根据权利要求1所述的光记录盘的制造方法，其特征在于一边使所述台以所述给定的低转速旋转，一边向所述帽的所述顶面喷出液态放射线硬化性树脂，在停止所述液态放射线硬化性树脂的喷出后，使所述台的转速保持在所述给定的低转速上，使所述放射线硬化性树脂在所述帽的所述顶面上展开为与所述衬底的周边部为同心圆状。
5.根据权利要求1所述的光记录盘的制造方法，其特征在于所述液态放射线硬化性树脂具有2000～10000厘泊的粘度。
6.根据权利要求1～5中任意一项所述的光记录盘的制造方法，其特征在于还包括以高速使所述台旋转的步骤。
7.根据权利要求1～6中任意一项所述的光记录盘的制造方法，其特征在于一边使所述台以5～100r.p.m.的速度旋转，一边向所述帽的所述顶面上喷出所述液态放射线硬化性树脂。
8.根据权利要求7所述的光记录盘的制造方法，其特征在于一边使所述台以10～50r.p.m.的速度旋转，一边向所述帽的所述顶面上喷出所述液态放射线硬化性树脂。
9.根据权利要求1～8中任意一项所述的光记录盘的制造方法，其特征在于把所述帽设置在所述衬底上，使所述帽的所述顶面的周边部位于与所述衬底的所述周边部为同心圆的位置上。
10.根据权利要求1～9中任意一项所述的光记录盘的制造方法，其特征在于所述帽的侧面投影面呈梯形。
全文摘要
本发明公开了一种光记录盘的制造方法，把形成有记录层(3)的圆形衬底(2)设置在旋转镀膜装置的台(21)上，把具有圆形、平坦的顶面或与顶面的周边部形成为同心圆，在圆周方向形成有均匀的凹部的顶面，在顶面的中央部形成有能把持的把持轴的帽(55)设置在衬底上，堵住形成在衬底中央部的中心孔，一边用给定的低转速使台旋转，一边向帽的顶面喷出液态放射线硬化性树脂(60)，停止液态放射线硬化性树脂的喷出后，使液态放射线硬化性树脂在帽的顶面上展开为与衬底的周边部为同心圆状。根据该方法，即使在使用粘度高的紫外线硬化性树脂来形成光透射层时，也能形成具有均匀膜厚的光透射层。
文档编号G11B7/26GK1501378SQ20031011496
公开日2004年6月2日 申请日期2003年11月14日 优先权日2002年11月15日
发明者出沢圣一, 丑田智树, 出 圣一, 树 申请人:Tdk株式会社