专利名称：支撑架及应用此支撑架的传送机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种支撑架(Holder)及应用此支撑架的传送机构，特别是涉及一种适于支撑一基板的支撑架及应用此支撑架的传送机构。
背景技术：
针对多媒体社会的急速进步，多半受惠于半导体元件(Semiconductordevice)或人机显示装置的飞跃性进步。就人机显示装置而言，具有高画质、空间利用率佳、低消耗功率、无辐射等优越特性的平面显示器已逐渐成为市场的主流。
在大部分平面显示器的制作过程中，皆会在一基板上进行例如薄膜沉积(Thin film deposition)、微影(photolithography)与蚀刻(Etching)等各种制程。以微影制程为例，其主要包括光阻涂布(Photoresist coating)、曝光(Exposure)、显影(Development)与光阻去除(Photoresist stripping)等制程。为进行上述各类制程，在目前先进的自动化平面显示器生产工厂中，大都同时配置有各式制程设备。
以微影制程设备为例，其是将基板置放于一支撑架上，再由一机械手臂(Robot)将支撑架连同基板移入微影制程设备的工作腔体(Operatingchamber)中，并将基板置放于一基板置放座上的夹持件(Chuck)后移出支撑架。
请参阅图1和图2所示，图1是现有习知制程设备的支撑架进出工作腔体的作动示意图，而图2是图1的支撑架将基板置放于工作腔体内时的上视图。支撑架100是由一支撑件110与多个定位块130所构成。支撑件110具有一支撑面112，定位块130是配设于支撑件11O的支撑面112的四个角落处。当一基板50置放于支撑件110的支撑面112上时，基板5O即会受到定位块130的限制而不会产生水平移动。
接着，支撑架100是沿方向D1将基板50送入工作腔体中。工作腔体内的一基板置放座60的中央配设有一夹持件62。当支撑架100沿方向D1进入工作腔体时，支撑架100的高度是高于夹持件62的顶面以避免基板5O碰撞到夹持件62。当支撑架100到达定位后即沿方向D2下降，而将基板5O留在夹持件62上。
请参阅图3所示，是图2沿I-I′线的剖面图。请同时参阅图1～3，由于基板50厚度极小，所以当基板50仅在其中央部份由夹持件62支撑时，基板50的周缘就会受到重力影响而下垂。之后，支撑架100即沿方向D3离开工作腔体。但是，由于基板50的周缘受到重力影响而下垂，所以当支撑架100沿方向D3离开工作腔体时，支撑架100上的定位块130就常会卡住基板50的周缘，而使基板50产生偏移或被带出工作腔体。
承上所述，由于现有习知的支撑架其设计上容易造成基板的偏移或将基板带出工作腔体，不仅容易造成基板的损坏而增加成本，更需要额外的步骤来将基板重新置放于工作腔体中而耗费冗长的工时。所以，如何解决上述现有习知支撑架所存在的缺点，以提高平面显示器的产能并降低成本，就成为亟待解决的课题。
由此可见，上述现有的支撑架仍存在有诸多的缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决现有的支撑架的缺陷，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，此显然是相关业者急欲解决的问题。
有鉴于上述现有的支撑架存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的支撑架及应用此支撑架的传送机构，能够改进现有的支撑架，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。
发明内容
本发明的目的在于，克服现有的支撑架存在的缺陷，而提供一种新型结构的支撑架及应用此支撑架的传送机构，所要解决的技术问题是使其适于确保即使基板发生弯曲时，基板仍可轻易脱离支撑架而不会受到干扰，从而更加适于实用。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种支撑架，适于支撑一基板，该支撑架包括一主支撑件，具有一主支撑面；一次支撑件，枢设于该主支撑件上，该次支撑件具有一次支撑面，而该次支撑件是区分为一第一部分与一第二部分，其分别位于该次支撑件与该主支撑件的枢设处的两侧，该次支撑件适于在一第一位置及一第二位置间运动，其中该第二部分在该第一位置时是高于该主支撑面；以及多数个定位块，分别配设于该主支撑件的该主支撑面上与该次支撑件的该第一部分的该次支撑面上。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的支撑架，其中所述的次支撑件的枢转角度是小于90度。
前述的支撑架，其中所述的主支撑件更具有一底面与一承靠面，该底面是对应于该主支撑面，该承靠面是位于该次支撑件的枢设处与该底面之间，而该底面与该承靠面的夹角是小于90度。
前述的支撑架，其更包括一恢复元件，该恢复元件是配设于该主支撑件与该次支撑件之间。
前述的支撑架，其中所述的恢复元件包括压缩式弹簧(Compressionspring)，且该恢复元件的一端是连接于该主支撑件上。
前述的支撑架，其中所述的恢复元件包括压缩式弹簧，且该恢复元件的一端是连接于该次支撑件上。
前述的支撑架，其中所述的恢复元件包括扭转式弹簧(Torsionspring)，且该些恢复元件是配设于该次支撑件的枢设处。
前述的支撑架，其中所述的恢复元件的两端分别连接至该次支撑件与该主支撑件。
前述的支撑架，其中所述的定位块分别具有一导引面，用以导引该基板至该些定位块之间。
前述的支撑架，其中所述的次支撑件在受该基板的施力而枢转后，该次支撑面是与该主支撑面共面。
本发明的目的及解决其技术问题还采用以下的技术方案来实现。依据本发明提出的一种传送机构，适于传送一基板，该传送机构包括一基板置放座；一夹持件，配设于该基板置放座上，用以在该基板的中央提供支撑；一支撑架，用以支撑该基板并移动该基板使其置放于该夹持件上，该支撑架包括一主支撑件，具有一主支撑面；一次支撑件，枢设于该主支撑件上，该次支撑件具有一次支撑面，而该次支撑件是区分为一第一部分与一第二部分，其分别位于该次支撑件与该主支撑件的枢设处的两侧，该次支撑件适于在一第一位置及一第二位置间运动，其中该第二部分在该第一位置时是高于该主支撑面；以及多数个定位块，分别配设于该主支撑件的该主支撑面上与该次支撑件的该第一部分的该次支撑面上。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
前述的传送机构，其中所述的次支撑件的枢转角度是小于90度。
前述的传送机构，其中所述的主支撑件更具有一底面与一承靠面，该底面是对应于该主支撑面，该承靠面是位于该次支撑件的枢设处与该底面之间，而该底面与该承靠面的夹角是小于90度。
前述的传送机构，其中所述的支撑架更包括一恢复元件，该恢复元件是配设于该主支撑件与该次支撑件之间。
前述的传送机构，其中所述的恢复元件包括压缩式弹簧，且该恢复元件的一端是连接于该主支撑件上。
前述的传送机构，其中所述的恢复元件包括压缩式弹簧，且该恢复元件的一端是连接于该次支撑件上。
前述的传送机构，其中所述的恢复元件包括扭转式弹簧，且该恢复元件是配设于该次支撑件的枢设处。
前述的传送机构，其中所述的恢复元件的两端分别连接至该次支撑件与该主支撑件。
前述的传送机构，其中所述的定位块分别具有一导引面，用以导引该基板至该些定位块之间。
前述的传送机构，其中所述的次支撑件在受该基板的施力而枢转后，该次支撑面是与该主支撑面共面。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，为了达到前述发明目的，本发明的主要技术内容如下本发明提出一种支撑架，适于支撑一基板。此支撑架主要是由一主支撑件、一次支撑件及多个定位块所构成。
主支撑件具有一主支撑面。次支撑件是枢设于主支撑件上。次支撑件具有一次支撑面。次支撑件是区分为一第一部份与一第二部份，其分别位于次支撑件与主支撑件的枢设处的两侧。次支撑件适于在一第一位置及一第二位置间运动。其中，第二部份在第一位置时是高于主支撑面。多个定位块是分别配设于主支撑件的主支撑面上与次支撑件的第一部分的次支撑面上。
在本实施例中，次支撑件的枢转角度例如是小于90度。主支撑件例如更具有一底面与一承靠面。底面是对应于主支撑面，承靠面是位于次支撑件的枢设处与底面之间，而底面与承靠面的夹角是小于90度。支撑架例如更包括一恢复元件，其配设于主支撑件与次支撑件之间。恢复元件例如是压缩式弹簧(Compression spring)，且恢复元件的一端是连接于主支撑件上或是次支撑件上。或者，恢复元件例如是扭转式弹簧(Torsion spring)，且恢复元件是配设于次支撑件的枢设处。恢复元件的两端例如分别连接至次支撑件与主支撑件，用以限制次支撑件的枢转角度以使其小于90度。每个定位块例如分别具有一导引面，用以导引基板至定位块之间。次支撑件在受基板的施力而枢转后，次支撑面例如是与主支撑面共面。
基于上述目的，本发明更提出一种传送机构，适于传送一基板。此传送机构主要是由一基板置放座、一夹持件及前一实施例的支撑架所构成。夹持件是配设于基板置放座上，用以在基板的中央提供支撑。支撑架是用以支撑基板并移动基板使其置放于夹持件上，而支撑架的细部结构是与前一综上所述，由于基板离开支撑架后，次支撑件即会枢转而使定位块低于主支撑面，所以本发明的支撑架可确保支撑架在离开工作腔体时，基板不会被支撑架碰触到而产生位移。
借由上述技术方案，本发明至少具有下列优点本发明支撑架及应用此支撑架的传送机构，是将主支撑件与次支撑件采分离式枢转设计，因此可确保支撑架在离开工作腔体时，次支撑架上的定位块不会碰触到基板，不会造成基板的偏移或将基板带出工作腔体，减少因基板移位而需停工的机会，进而提高平面显示器的产能且降低生产成本，确实具有产业上的利用价值。
综上所述，本发明特殊结构的支撑架及应用此支撑架的传送机构，适于确保即使基板发生弯曲时，基板仍可轻易脱离支撑架而不会受到干扰。其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类产品中未见有类似结构设计公开发表或使用而确属创新，其不论在产品的结构或功能上皆有较大改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的支撑架具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
图1是现有习知制程设备的支撑架进出工作腔体的作动示意图。
图2是图1的支撑架将基板置放于工作腔体内时的上视图。
图3是图2中沿I-I′线的剖面图。
图4是根据本发明一实施例的支撑架的上视图。
图5是图4中区域A的放大图。
图6A是图5中沿II-II′线的剖面图。
图6B是将图6A的基板自支撑架上移开后的剖面图。
图7是采用扭转式弹簧的支撑架的局部剖面图。
图8是本发明的传送机构的示意图。
50基板 60基板置放座62夹持件 100支撑架110支撑件112支撑面130定位块200支撑架210主支撑件 212主支撑面214承靠面216底面220次支撑件 220a第一部份220b第二部份 222次支撑面224枢设轴230定位块
232导引面 240、240a恢复元件300传送机构310基板置放座320夹持件 A 区域D1、D2、D3、D4方向具体实施方式
以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的支撑架及应用此支撑架的传送机构其具体结构、特征及其功效，详细说明如后。
请参阅图4与图5所示，图4是根据本发明一实施例的支撑架的上视图，而图5是图4的区域A的放大图。支撑架200是适于支撑一基板50。支撑架200主要是由一主支撑件210、至少一个次支撑件220(在此以两个为例)以及多个定位块230所构成。
主支撑件210具有一主支撑面212。次支撑件220以一枢设轴224而枢设于主支撑件210的边缘处。每个次支撑件220皆具有一次支撑面222。每个次支撑件220是区分为一第一部份220a与一第二部份220b，且第一部分220a与第二部分220b是分别位于每个次支撑件220与主支撑件210的枢设处的两侧。次支撑件220适于在一第一位置(如图6A所示)及一第二位置(如图6B所示)间运动。其中，第二部份220b在第二位置时是高于主支撑面212且至少有部份区域是位于基板50的置放处，而次支撑件220适于在其第二部份220b受到基板50的作用时进行枢转。多个定位块230是分别配设于主支撑件210的主支撑面212上，以及次支撑件220的第一部份220a的次支撑面222上。定位块230的配设位置是对应于基板50的边缘，因此当基板50置于支撑件200上时，基板50就会被限制于各个定位块230之间，而不会超出支撑件200的范围。
请参阅图6A所示，是图5中沿II-II′线的剖面图。当基板50置放于支撑架200上时，基板50会压住次支撑件220的第二部份220b，使得次支撑件220以枢设轴224为转轴而进行枢转。此时，配设于次支撑面222上的定位块230就可以阻挡基板50，以避免其发生位移而达到定位的功能。同时，次支撑面222例如是与主支撑面212共面请参阅图6B所示，是图6A的基板自支撑架上移开后的剖面图。当支撑架200上未置放基板50时，次支撑件220就会因重力的关系而旋转，使得配设于次支撑面222的第一部份220a上的定位块230低于主支撑面212，而次支撑面222的第二部份220b则会高于主支撑面212。
请参阅图6B与图7所示，图7是采用扭转式弹簧的支撑架的局部剖面图。该支撑架200例如更包括至少一个恢复元件240、240a，该恢复元件240、240a是配设于主支撑件210与次支撑件220之间。恢复元件240、240a例如是用以确保当基板50离开支撑架200后，次支撑件220会旋转以使定位块230低于主支撑面212。恢复元件240例如是压缩式弹簧，其一端例如是连接于主支撑件上210(如图6B中恢复元件240的实线部份所示)，或是连接于次支撑件220上。或者，恢复元件240a例如是扭转式弹簧，其配设位置例如是于枢设轴224上(如图7所示)。当然，恢复元件240、240a并非本发明的支撑件200的必要构件。
请参阅图6B所示，在本实施例中次支撑件220的枢转角度例如是小于90度，如此则可确保基板50置放于支撑架200后，次支撑件220的第二部份220b受到基板施力，并使次支撑件220以方向D4进行旋转。欲使次支撑件220的枢转角度小于90度的手段，例如包括设计主支撑件210使其具有一承靠面214，承靠面214是位于次支撑件220的枢设轴224与主支撑件210的一底面216之间，而底面216与承靠面214的夹角是小于90度。如此，即可利用承靠面214而限制次支撑件220，使其枢转角度小于90度。或者，亦可将恢复元件240的两端分别连接至次支撑件220与主支撑件210(如图6B中恢复元件240的实线加虚线部份所示)，以藉由恢复元件240的长度而限制次支撑件220的枢转角度。当然，图7的恢复元件240a亦可用于限制次支撑件220的枢转角度。
此外，每个定位块230例如分别具有一导引面232，用以导引基板50使其更容易定位于至各个定位块230之间。定位块230的硬度例如是小于基板50的硬度，而次支撑件220的硬度例如亦小于基板50的硬度，以避免刮伤基板50。另外，定位块230的高度例如是大于基板50的厚度，以发挥最大的定位效果。
请参阅图6A、6B与图8所示，图8是本发明的传送机构的示意图。传送机构300是由一基板置放座310、一夹持件320及前一实施例的支撑架200所构成。夹持件320是配设于基板置放座310上，而夹持件320例如是真空吸附式夹持件。支撑架200是用以支撑基板50，并移动基板50使其置放于夹持件320上。
当支撑架200移动基板50，使其位于夹持件320上方的定位，支撑架200即会下降以将基板50交由基板置放座310上的夹持件320支撑。此时，由于基板50厚度极小而夹持件320仅在其中央部份提供支撑，所以基板50就容易发生弯曲而使其周缘下垂。但是，支撑架200在将基板50交由夹持件320支撑后，次支撑件220即会枢转而使定位块230例如低于主支撑面212。所以，当支撑架200在接着离开基板置放座310时，即使基板50的周缘下垂，定位块230仍不会碰触到基板50而使其产生位移。
而且，当基板50置放于支撑架200上时，次支撑件220即会受到基板50的施力而枢转，使得定位块230高于主支撑面212，而次支撑面222例如与主支撑面212共面，以发挥定位块230对基板50的定位功能。
综上所述，本发明的支撑架及应用此支撑架的传送机构中，是将主支撑件与次支撑件采分离式枢转设计，因此可确保支撑架在离开工作腔体时，次支撑架上的定位块不会碰触到基板，以减少因基板移位而需停工的机会，进而提高平面显示器的产能且降低生产成本。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
权利要求
1.一种支撑架，适于支撑一基板，其特征在于该支撑架包括一主支撑件，其具有一主支撑面；一次支撑件，枢设于该主支撑件上，该次支撑件具有一次支撑面，而该次支撑件是区分为一第一部分与一第二部分，其分别位于该次支撑件与该主支撑件的枢设处的两侧，该次支撑件适于在一第一位置及一第二位置间运动，其中该第二部分在该第一位置时是高于该主支撑面；以及多数个定位块，分别配设于该主支撑件的该主支撑面上与该次支撑件的该第一部分的该次支撑面上。
2.根据权利要求1所述的支撑架，其特征在于其中所述的次支撑件的枢转角度是小于90度。
3.根据权利要求1所述的支撑架，其特征在于其中所述的主支撑件更具有一底面与一承靠面，该底面是对应于该主支撑面，该承靠面是位于该次支撑件的枢设处与该底面之间，而该底面与该承靠面的夹角是小于90度。
4.根据权利要求1所述的支撑架，其特征在于其更包括一恢复元件，该恢复元件是配设于该主支撑件与该次支撑件之间。
5.根据权利要求4所述的支撑架，其特征在于其中所述的恢复元件包括压缩式弹簧(Compression spring)，且该恢复元件的一端是连接于该主支撑件上。
6.根据权利要求4所述的支撑架，其特征在于其中所述的恢复元件包括压缩式弹簧，且该恢复元件的一端是连接于该次支撑件上。
7.根据权利要求4所述的支撑架，其特征在于其中所述的恢复元件包括扭转式弹簧(Torsion spring)，且该些恢复元件是配设于该次支撑件的枢设处。
8.根据权利要求4所述的支撑架，其特征在于其中所述的恢复元件的两端分别连接至该次支撑件与该主支撑件。
9.根据权利要求1所述的支撑架，其特征在于其中所述的定位块分别具有一导引面，用以导引该基板至该些定位块之间。
10.根据权利要求1所述的支撑架，其特征在于其中所述的次支撑件在受该基板的施力而枢转后，该次支撑面是与该主支撑面共面。
11.一种传送机构，适于传送一基板，其特征在于该传送机构包括一基板置放座；一夹持件，配设于该基板置放座上，用以在该基板的中央提供支撑；一支撑架，用以支撑该基板并移动该基板使其置放于该夹持件上，该支撑架包括一主支撑件，具有一主支撑面；一次支撑件，枢设于该主支撑件上，该次支撑件具有一次支撑面，而该次支撑件是区分为一第一部分与一第二部分，其分别位于该次支撑件与该主支撑件的枢设处的两侧，该次支撑件适于在一第一位置及一第二位置间运动，其中该第二部分在该第一位置时是高于该主支撑面；以及多数个定位块，分别配设于该主支撑件的该主支撑面上与该次支撑件的该第一部分的该次支撑面上。
12.根据权利要求11所述的传送机构，其特征在于其中所述的次支撑件的枢转角度是小于90度。
13.根据权利要求11所述的传送机构，其特征在于其中所述的主支撑件更具有一底面与一承靠面，该底面是对应于该主支撑面，该承靠面是位于该次支撑件的枢设处与该底面之间，而该底面与该承靠面的夹角是小于90度。
14.根据权利要求11所述的传送机构，其特征在于其中所述的支撑架更包括一恢复元件，该恢复元件是配设于该主支撑件与该次支撑件之间。
15.根据权利要求14所述的传送机构，其特征在于其中所述的恢复元件包括压缩式弹簧，且该恢复元件的一端是连接于该主支撑件上。
16.根据权利要求14所述的传送机构，其特征在于其中所述的恢复元件包括压缩式弹簧，且该恢复元件的一端是连接于该次支撑件上。
17.根据权利要求14所述的传送机构，其特征在于其中所述的恢复元件包括扭转式弹簧，且该恢复元件是配设于该次支撑件的枢设处。
18.根据权利要求14所述的传送机构，其特征在于其中所述的恢复元件的两端分别连接至该次支撑件与该主支撑件。
19.根据权利要求11所述的传送机构，其特征在于其中所述的定位块分别具有一导引面，用以导引该基板至该些定位块之间。
20.根据权利要求11所述的传送机构，其特征在于其中所述的次支撑件在受该基板的施力而枢转后，该次支撑面是与该主支撑面共面。
全文摘要
本发明是关于一种支撑架及应用此支撑架的传送机构，该支撑架适于支撑一基板。该支撑架主要由一主支撑件、一次支撑件及多个定位块所构成。主支撑件具有一主支撑面，次支撑件是枢设于主支撑件上且具有一次支撑面。次支撑件区分为一第一部分与一第二部分，分别位于次支撑件与主支撑件的枢设处两侧，次支撑件适于在一第一位置及一第二位置间运动。其中，第二部分在第一位置时是高于主支撑面。定位块分别配设于主支撑件的主支撑面上，以及次支撑件的第一部分的次支撑面上。本发明可确保支撑架离开工作腔体时，次支撑架上的定位块不会碰到基板，不会造成基板偏移或带出工作腔体，减少因基板移位而需停工的机会，进而可提高平面显示器的产能且降低生产成本。
文档编号H01L21/67GK1564316SQ20041000796
公开日2005年1月12日 申请日期2004年3月23日 优先权日2004年3月23日
发明者徐顺龙, 枫政国, 沈秋威, 曾焕均 申请人:友达光电股份有限公司