专利名称：晶片自动测试机中的片仓匣机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及电子工业中的晶片测试机，特别是一种能自动推送待测晶片的片仓匣机构。
背景技术：
石英晶片在电子产业中应用量极大，在生产过程中需要晶片逐一取送对参数进行多次测试和等级分类。由于测试的晶片很薄，数量多，人工取送晶片已不被容许。现有技术中，如中国专利申请03129298.8所公开的，由圆振送料器将晶片有序排列送到出片口，由机械手装置逐一将晶片夹持并进行测试。其缺点一是另需一套气动吹送装置将晶片竖直排列，结构复杂。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种安全、快速自动推送待测晶片供晶片自动测试机中吸嘴吸取的片仓匣机构。
本实用新型包括匣体及其安装支架、片仓；其特征在于匣体内安装由电机驱动的滑块直线往复运行装置，与滑块连接的托杆伸入片仓内。滑块直线往复运行装置由滑块与由电机驱动的丝杠螺纹配合构成。滑块与导轨滑动配合，丝杠上下端分别装有上限传感器和下限传感器。片仓顶端侧部安装位置传感器。
本实用新型根据位置传感器的位置信号，由微电脑控制器控制电机及丝杠转动，通过滑块带动托杆运行，使片仓内的晶片按片厚逐一上升至匣顶，取片装置的吸嘴可在同一位置准确对准匣顶的晶片吸取、移送。工作效率提高，特别适合非接触式晶片测试装置，比如采用测试光束在晶片的折射角，可对应测出晶片温频特性的自动晶片测试机中。
图1为本实用新型实施例俯视图。
图2为图1中A-A截面图。
图3为图2后视图。
具体实施方式
参照附图。匣体1呈矩形长块状，其内一侧为容纳整齐层叠晶片的片仓10，相对内侧底部安装一由微电脑程序控制的电机18，电机轴连接丝杠14，与丝杠14螺纹配合的滑块15可随丝杠转动上升或下降，直线导轨13与滑块15滑动配合作运行导向。滑块15一侧固定一托杆8，伸入到片仓10内，托杆8上安装一托台7，其上再整齐叠放待测晶片2。片仓10截面尺寸可调整或片仓更换，以便适应不同规格尺寸的晶片测试，标记9为片仓安装轴。匣顶位置相对侧安装高精度位置传感器4，比如光电探测器，可测得晶片厚度通常小于1毫米有无阻挡物，若第一片晶片被取走，位置传感器4即会向控制器发出信号、电机18转动使滑块15沿丝杠14上升一个片厚距离。图中标记5为传感器安装支架，标记6为支架位置调整螺钉。为防止极薄晶片多片粘附被吸取，位置传感器4的一侧还装有震散侧吹喷气头，以保证每次只吸取一片。在丝杠14上端、下端分别固定有上限传感器12、下限传感器17，滑块15对应位置装有触发片16，当滑块15位于下限时，下限传感器17给出满仓信号，当滑块15运行至丝杠上端触发上限传感器12时。传感器12发出空仓信号，提示换仓。图中标记11为电气连接器。
滑块15直线往复运行装置可以多种形式构成，比如同步带装置、链条装置、滑轮组装置等，配合精密分割器或步进电机即可完成相同的功能。
权利要求1.一种晶片自动测试机中的片仓匣机构，包括匣体(1)及其安装支架(3)、片仓(10)；其特征在于匣体(1)内安装由电机(18)驱动的滑块(15)直线往复运行装置，与滑块(15)连接的托杆(8)伸入片仓(10)内。
2.根据权利要求1所述的片仓匣机构，其特征在于滑块(15)直线往复运行装置由滑块(15)与由电机(18)驱动的丝杠(14)螺纹配合构成。
3.根据权利要求2所述的片仓匣机构，其特征在于滑块(15)与导轨(13)滑动配合，丝杠(14)上下端分别装有上限传感器(12)和下限传感器(17)。
4.根据权利要求1所述的片仓匣机构，其特征在于片仓(10)顶端侧部安装位置传感器(4)。
专利摘要本实用新型是一种晶片自动测试机中的片仓匣机构，包括匣体及其安装支架、片仓；匣体内安装由电机驱动的滑块直线往复运行装置，与滑块连接的托杆伸入片仓内。本实用新型根据位置传感器的位置信号，由微电脑控制器控制滑块带动托杆运行，使片仓内的晶片按片厚逐一上升至匣顶，取片装置的吸嘴可在同一位置准确对准匣顶的晶片吸取、移送，工作效率提高，特别适合非接触式晶片测试装置。
文档编号H01L21/66GK2694481SQ200420019728
公开日2005年4月20日 申请日期2004年1月16日 优先权日2004年1月16日
发明者周巍 申请人:周巍