专利名称：保护罩附着生产线的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种保护罩(protective cap)附着生产线，具体地说，涉及一种用于在一条生产线中将金属罩和玻璃罩两者附着到有机材料沉积玻璃上的生产线。
背景技术：
有机发光二极管(OLED)用作显示装置，并且使用如下原理通过阴极和阳极注入到有机材料(低分子量或高分子量)的薄膜内的电子和空穴重新结合，以形成电子空穴对(exciton)。通过电子空穴对的能量产生特定波长的光线，从而显示所需的图像。OLED也称为有机场致发光器件(OELD)。
OLED是用于通过电激发有机材料而发光的自发光显示器。OLED由于低电压驱动、薄膜、宽视角、快速响应等，作为下一代显示器而引起人们的注意。根据其结构，OLED被分为无源矩阵(PM)OLED和有源矩阵(AM)OLED。
OLED包括氧化铟锡(ITO)玻璃，其在一定面积的玻璃板上具有透明阳极层；有机场致发光(EL)层，其形成在ITO玻璃的透明阳极层上；以及阴极层，形成在有机EL层上。
OLED可以通过各种方法制造。如图1所示，通过半导体制造方法在具有一定面积的玻璃板1上形成透明阳极层、有机EL层、以及阴极层。包括透明阳极层、有机EL层、和阴极层的每一个单位晶胞(unit cell)2排列在玻璃板上。玻璃板1对应于单位晶胞2被切割，从而制造构成OLED的单位晶胞装置。以下，其上排列有单位晶胞2的玻璃板1将被称为有机材料沉积玻璃G。
用于保护单位晶胞2的一定形状的保护罩附着到玻璃板1上，以便于遮住单位晶胞2。保护罩包括位于其中的用于去除湿气的干燥剂。根据其材料，保护罩可以分为金属罩、玻璃罩等等。
如图2所示，金属罩MC包括矩形的容器(can)3和附着到容器3中所形成的内部凹部上的干燥剂4。MC附着到有机材料沉积玻璃G上，以便于遮住单位晶胞2。
为了制造MC，准备一定形状的金属容器3，并将干燥剂4附着到金属容器3内。所制造的MC通过密封剂附着到有机材料沉积玻璃G上，以便于遮住单位晶胞2。这里，使用其上排列有多个MC的金属容器盘(metal can tray)T。
通过制模可以容易地制造MC，并且可以低成本地批量生产。但是，由于MC具有不同于有机材料沉积玻璃G的变形率，所以在长时间使用之后可能由于其变形而造成产品损坏。
如图3所示，玻璃罩GC包括矩形的罩玻璃(cap glass)6和附着到罩玻璃6的内部凹部7上的干燥剂4。GC附着到有机材料沉积玻璃G上，以便于遮住单位晶胞2。通过在具有与有机材料沉积玻璃G相对应的尺寸的底玻璃BG中形成多个凹部7，然后将干燥剂4附着到凹部7内，再将BG切割，而形成GC。其上附着有干燥剂4的BG被附着到有机材料沉积玻璃G上，进而与有机材料沉积玻璃G一起被切割。
GC由与有机材料沉积玻璃G相同的材料制成，从而防止了在长时间使用之后由于其变形而造成的产品损坏。由于干燥剂4的粘合密度是根据BG的凹部7的加工程度而确定的，所以BG的凹部7必须单独加工，因此，GC具有比MC具有更昂贵的生产成本。
OLED的发展集中在双表面发光上，而不是前表面发光上。因此，作为附着到有机材料沉积玻璃G上的保护罩，GC比MC使用的更多。
用于将保护罩附着到有机材料沉积玻璃G上的过程以批量生产线来进行。
图4示出了用于将金属罩附着到有机材料沉积玻璃上的生产线。
如图4所示，多个金属容器3排列在金属容器盘T上，并且金属容器盘T在清洁线L1处经历清洁过程。由液体清洁金属容器3，以便于通过清洁线L1去除附着到其上的异物。然后，由等离子体清洁金属容器3，以便于增强与干燥剂4的粘合力。
通过与清洁线L1连接的第一输送室C1的输送机器人10，将已经经过清洁线L1的金属容器盘T输送至与第一输送室C1连接的干燥剂附着室C2。附着装置11设置在干燥剂附着室C2处，并且通过附着装置11将干燥剂4分别附着于金属容器盘T的金属容器3。干燥剂附着室C2设置有多个。
通过第一输送室C1的输送机器人10，将位于干燥剂附着室C2处的金属容器盘T输送至与第一输送室C1连接的分配室C3。然后，通过设置在分配室C3处的分配器20，将密封剂分别沉积到金属容器盘T的金属容器。分配室C3设置有多个。
然后，通过第一输送室C1的输送机器人10，将在分配室C3中已经沉积有密封剂的金属容器盘T输送至与第一输送室C1连接的缓冲室C4。
第二输送室C5与缓冲室C4连接，并且输送机器人30设置在第二输送室C5处。第二输送室C5的输送机器人30将位于缓冲室C4处的金属容器盘T输送至与第二输送室C5连接的附着室C6。
将在半导体生产线上已经经历了半导体处理的有机材料沉积玻璃G，装载到与第二输送室C5连接的沉积室C7内。将暗盒(cassette)40设置在沉积室C7处，并将有机材料沉积玻璃G沉积到暗盒40上。
第二输送室C5的输送机器人30将装载到沉积室C7内的有机材料沉积玻璃G输送至附着室C6。通过设置在附着室C6处的附着装置50，将金属容器盘T的金属容器3分别附着到有机材料沉积玻璃G上。附着室C6设置有多个。
将其上附着有金属容器3的有机材料沉积玻璃G以及其上不再具有金属容器3的金属容器盘T，分别输送至与第二输送室C5连接的卸载室C8。
卸载室C8与第三输送室C9连接，并且第三输送室C9与用于取出有机材料沉积玻璃G的取出室C10连接。用于将金属容器盘T返回至第三输送室C9的返回线L2与第三输送室C9连接。输送机器人60设置在第三输送室C9处。
第三输送室C9的输送机器人60将已经输送至卸载室C8的有机材料沉积玻璃G输送至取出室C10。此外，第三输送室C9的输送机器人60将已经输送至卸载室C8的金属容器盘T输送至返回线L2。
将已经输送至返回线L2的金属容器盘T进行清洁，并将新的金属容器3布置在已清洁的金属容器盘T上。然后，其上布置有金属容器3的金属容器盘T经历与前述相同的过程。
已经输送至取出室C10的有机材料沉积玻璃G在后处理线上经历后处理。后处理线包括用于将有机材料沉积玻璃G切割成单位晶胞的过程；用于检查单位晶胞的过程；以及用于将突部(tab)附着到每一单位晶胞上的过程。
未说明的附图标号C11表示用于将金属容器供应至金属容器盘T的供应室，C12表示用于通过清洁线清洁金属容器盘的清洁室，而C13表示沉积室。
图5示出了用于将玻璃罩附着到有机材料沉积玻璃上的生产线。
如图5所示，其中形成有凹部7的底玻璃BG在清洁线L3上经过清洁过程，并且通过清洁线L3去除附着到BG上的异物。通过等离子体进一步清洁已如此清洁的BG，以便于增强与干燥剂4的粘合力。
通过第一输送室C21的输送机器人70，将已经经历清洁线L3的BG输送至与第一输送室C21连接的干燥剂附着室C22。通过设置在干燥剂附着室C22处的附着装置81，将干燥剂4分别附着至BG的凹部7。干燥剂附着室C22设置有多个。
通过第一输送室C21的输送机器人70，将位于干燥剂附着室C22处的BG输送至与第一输送室C21连接的分配室C23。然后，通过设置在分配室C23处的分配器80，将密封剂沉积到已经输送至分配室C23的BG上。分配室C23设置有多个。
然后，通过第一输送室C21的输送机器人70，将在分配室C23处沉积有密封剂的BG输送至与第一输送室C21连接的缓冲室C24。
第二输送室C25与缓冲室C24连接，并且输送机器人90设置在第二输送室C25处。第二输送室C25的输送机器人90将位于缓冲室C24处的BG输送至与第二输送室C25连接的附着室C26。
将在半导体生产线中已经经历了半导体处理的有机材料沉积玻璃G，装载到与第二输送室C25连接的沉积室C27内。将暗盒100设置在沉积室C27处，并将有机材料沉积玻璃G沉积到暗盒100上。
第二输送室C25的输送机器人90将装载到沉积室C27内的有机材料沉积玻璃G输送至附着室C26，并且通过设置在附着室C26处的附着装置110，将BG附着到有机材料沉积玻璃G上。附着室C26设置有多个。将解释用于在附着室C26处将BG附着到有机材料沉积玻璃G上的过程。首先，将有机材料沉积玻璃G与BG彼此对准，并进行预硬化。然后，将紫外线照射到预硬化的有机材料沉积玻璃G和BG上，这样可以硬化沉积到BG上的密封剂，从而将BG附着到有机材料沉积玻璃G上。
然后，通过第二输送室C25的输送机器人90，将其上附着有BG的有机材料沉积玻璃G输送到与第二输送室C25连接的卸载室C28。
卸载室C28与第三输送室C29连接，并且第三输送室C29与用于取出有机材料沉积玻璃G的取出室C30连接。输送机器人120设置在第三输送室C29处。
第三输送室C29的输送机器人120将已经输送至卸载室C28的有机材料沉积玻璃G输送至取出室C30。已经输送至取出室C30的有机材料沉积玻璃G在后处理线中经历后处理。后处理线包括用于将有机材料沉积玻璃G切割成单位晶胞的过程；用于检查单位晶胞的过程；以及用于将突部附着到每一单位晶胞上的过程。
未说明的附图标号C31表示用于将BG输送至清洁线的输送室，而C32表示沉积室。
如前所述，当保护罩是金属罩MC时，在MC附着生产线中将MC附着到有机材料沉积玻璃G上。相反，当保护罩是玻璃罩GC时，在BG附着生产线中将BG附着到有机材料沉积玻璃G上。
也就是说，根据待附着到有机材料沉积玻璃G上的保护罩是MC还是GC，使用两条不同的生产线。因此，在安装用于将保护罩附着到有机材料沉积玻璃G上的对应生产线时，导致了高成本，而且需要宽阔的安装空间。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种能够通过一条生产线将金属罩和玻璃罩两者都附着到有机材料沉积玻璃上的保护罩附着生产线。
为了实现该或其它目的和优点，并根据本发明的目的，如这里所实施和广泛描述的，提供了一种保护罩附着生产线，包括第一缓冲室，用于保存作为待附着到有机材料沉积玻璃G上的保护罩的底玻璃(BG)或金属罩(MC)，干燥剂附着到该BG或MC上，进而密封剂沉积到该BG或MC上；第一传输室，其与第一缓冲室连接，并具有第一传输机器人；玻璃附着室，其与第二传输室连接，用于将有机材料沉积玻璃G与BG彼此附着；合成室，其与第一传输室连接，用于将MC附着到有机材料沉积玻璃G上，并硬化彼此附着的有机材料沉积玻璃G和BG；供应和取出室，其与第一传输室连接；第二传输室，其与供应和取出室连接，并且在其中具有第二传输机器人；第二缓冲室，其与第二传输室连接，并且有机材料沉积玻璃G可以装载到该第二缓冲室内；卸载室，其与第二传输室连接；第三传输室，其与卸载室连接；以及返回线，其与第三传输室连接，用于返回其上布置有金属罩的金属容器盘。
通过下面的结合附图对本发明的详细描述，本发明的上述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加显而易见。
构成本说明书的一部分的附图，用于进一步理解本发明，这些附解了本发明的实施例，并与说明书一起用来解释本发明的原理。
附图中图1是示出了根据现有技术的有机材料沉积玻璃G的平面视图；图2是示出了根据现有技术的有机材料沉积玻璃G和金属罩MC的透视图；图3是示出了根据现有技术的有机材料沉积玻璃G和底玻璃BG的透视图；
图4是示出了根据现有技术的用于将金属罩MC附着到有机材料沉积玻璃G上的生产线的平面视图；图5是示出了根据现有技术的用于将底玻璃BG附着到有机材料沉积玻璃G上的生产线的平面视图；图6是示出了根据本发明的保护罩附着生产线的平面视图；以及图7是示出了构成根据本发明的组成保护罩附着生产线的供应和取出室的暗盒的主视图。
具体实施例方式
现在对本发明的优选实施例进行详细描述，其实例在附图中示出。
以下，将参照附图更详细地解释根据本发明的保护罩附着生产线。
图6是示出了根据本发明的保护罩附着生产线的平面视图。如所示，保护罩附着生产线设置有用于清洁底玻璃BG或金属罩MC的清洁线L4。BG是用于制造玻璃罩GC的母基板，并且MC布置在金属容器盘T上。
通过清洁线L4进行如下过程用于通过诸如去离子水的液体清洁附着于BG或MC的金属容器3上的异物的过程；以及用于等离子体清洁BG或金属容器3，以便增强与干燥剂4的粘合力的过程，等等。
第一传输室C41与清洁线L4连接，并且附着室C42与第一传输室C41连接。而且，分配室C43与第一传输室C41连接。附着装置210设置在附着室C42处，并且分配装置220设置在分配室C43处。
传输机器人R1设置在第一传输室C41处，并且附着室C42和分配室C43设置有多个。干燥剂4通过附着室C42处的附着装置附着于BG或金属容器3，并且密封剂通过分配室C43处的分配装置220沉积到BG或金属容器3上。
第一缓冲室C44与第一传输室C41连接，并且第二传输室C45与第一缓冲室C44连接。第二传输室C45设置有传输机器人R2。
玻璃附着室C46与第二传输室C45连接，并且合成室C47与第二传输室C45连接。玻璃附着室C46和合成室C47分别位于第二传输室C45的相对侧。优选地，设置有一个玻璃附着室C46，并且设置有多个合成室C47。第一附着装置230设置在玻璃附着室C46处，并且第二附着室240设置在每一合成室C47处。
玻璃附着室C46用来通过第一附着装置230将BG附着到有机材料沉积玻璃G上。合成室C47用来通过第二附着室240将金属容器3附着到有机材料沉积玻璃G上，并且硬化彼此附着的BG和有机材料沉积玻璃G。具体地说，有机材料沉积玻璃G和BG在其间的多个接触点处被预硬化，并且彼此附着的BG和G在合成室C47处被最终硬化。
供应和取出室C48与第二传输室C45连接，并且第三传输室C49与供应和取出室C48连接。而且，第三传输室C49设置有传输机器人R3。
如图7所示，供应和取出室C48设置有暗盒250。暗盒250包括第一区域251，已经经历了沉积过程的有机材料沉积玻璃G装载到该第一区域内；以及第二区域252，附着有金属容器3或BG的有机材料沉积玻璃G装载到该第二区域内。
第二缓冲室C50与第三传输室C49的一侧连接，并且卸载室C51与第三传输室C49的另一侧连接。第四传输室C52与卸载室C51连接。
第四传输室C52设置有传输机器人R4，并且其上通过半导体制造过程沉积有有机材料的有机材料沉积玻璃G被装载到第二缓冲室C50内。
取出室C53与第四传输室C52的一侧连接，并且用于返回金属容器盘T的返回线L5与第四传输室C52的另一侧连接。取出室C53设置有多个。
已经传输至返回线L5的金属容器盘T被清洁，并且新的金属容器3被布置到已清洁的金属容器盘T上。
已经传输至取出室C53的有机材料沉积玻璃G在后处理线中经历后处理。后处理线包括用于将有机材料沉积玻璃G切割成单位晶胞的过程；用于检查单位晶胞的过程；以及用于将突部附着到每一单位晶胞上的过程。
未说明的附图标号C54表示具有传输机器人R5的第五传输室，C55表示用于将金属容器供应至金属容器盘T的供应室，C56表示BG供应室，以及C57表示沉积室。
将解释根据本发明的保护罩附着生产线的操作。
首先，将解释用于将金属罩MC附着到有机材料沉积玻璃G上的操作。
将多个金属容器3布置在金属容器盘T上，并且金属容器盘T在清洁线L4上经历清洁过程。通过流经清洁线L4的液体对金属容器3进行清洁，以便于去除附着到其上的异物。然后，通过等离子体对金属容器3进行清洁，以便于增强与干燥剂4的粘合力。
通过与清洁线L4连接的第一传输室C41的传输机器人R1，将已经在清洁线L4上经过清洁的金属容器盘T传输至附着室C42。将干燥剂4分别附着至附着室C42处的金属容器盘T的金属容器3。
通过第一传输室C41的传输机器人R1，将位于附着室C42处的金属容器盘T传输至分配室C43。然后，通过设置在分配室C43处的分配装置220，将密封剂分别沉积到金属容器盘T的金属容器3上。
然后，通过第一传输室C41的传输机器人R1，将其上布置有已沉积的密封剂的金属容器3的金属容器盘T传输至第一缓冲室C44。第二传输室C45的传输机器人R2将装载到第一缓冲室C44内的金属容器盘T传输至合成室C47。
将已经经历了半导体生产过程的有机材料沉积玻璃G装载到第二缓冲室C50内，然后通过第三传输室C49的传输机器人R3，将其传输至供应和取出室C48。这里，将有机材料沉积玻璃G装载到设置在供应和取出室C48处的暗盒250的第一区域251内。
第二传输室C45的传输机器人R2将装载到供应和取出室C48内的有机材料沉积玻璃G传输至合成室C47。
将布置在金属容器盘T上的MC分别附着到合成室C47处的有机材料沉积玻璃G上。通过由紫外线灯(未示出)发出的紫外线，对沉积在每一MC上的密封剂进行硬化，从而将MC附着到有机材料沉积玻璃G上。
通过第二传输室C45的传输机器人R2，将在合成室C47处其上附着了MC的有机材料沉积玻璃G传输至供应和取出室C48。然后，通过第三传输室C49的传输机器人R3，将有机材料沉积玻璃G传输至卸载室C51。通过第二传输室C45的传输机器人R2，将不再承载MC的金属容器盘T传输至供应和取出室C48。然后，通过第三传输室C49的传输机器人R3，将金属容器盘T传输至卸载室C51。这里，将其上附着有MC的有机材料沉积玻璃G装载到设置在供应和取出室C48处的暗盒250的第二区域252内。
通过第四传输室C52的传输机器人R4，将已经传输至卸载室C51的有机材料沉积玻璃G传输至取出室C53。而且，通过第四传输室C52的传输机器人R4，将已经传输至卸载室C51的金属容器盘T传输至返回线L5。
对已经传输至返回线L5的金属容器盘T进行清洁，并将新的金属容器3布置在已清洁的金属容器盘T上。然后，其上布置有金属容器3的金属容器盘T经历与前述过程相同的过程。
其上附着有MC的且已经传输至取出室C53的有机材料沉积玻璃G在后处理线中经历后处理。后处理线包括用于将有机材料沉积玻璃G切割成单位晶胞的过程；用于检查单位晶胞的过程；以及用于将突部附着到每一单位晶胞上的过程。
将解释用于将玻璃罩GC附着到有机材料沉积玻璃G上的操作。
首先，其中形成有凹部7的BG在清洁线L4上经历清洁，并且通过流经清洁线L4的液体去除附着到BG上的异物。然后，通过等离子体对已清洁的BG进行清洁，以便于增强与干燥剂4的粘合力。
通过与清洁线L4连接的第一传输室C41的传输机器人R1，将已经经历了清洁线L4的BG传输至附着室C42。将干燥剂4分别附着至附着室C42处的BG中的凹部7。
通过第一传输室C41的传输机器人R1，将装载到附着室C42内的BG传输至分配室C43。然后，通过设置在分配室C43处的分配装置220，对已传输至分配室C43的BG沉积密封剂。
然后，通过第一传输室C41的传输机器人R1，将已沉积密封剂的BG传输至第一缓冲室C44，并通过第二传输室C45的传输机器人R2，将已装载到第一缓冲室C44内的BG传输至玻璃附着室C46。
将已经经历了半导体制造过程的有机材料沉积玻璃G装载到第二缓冲室C50内，然后通过第三传输室C49的传输机器人R3，将其传输至供应和取出室C48。这里，将有机材料沉积玻璃G装载到设置在供应和取出室C48处的暗盒250的第一区域251内。
第二传输室C45的传输机器人R2将装载到供应和取出室C48内的有机材料沉积玻璃G传输至玻璃附着室C46。
在玻璃附着室C46处，将BG附着到有机材料沉积玻璃G上。在其间的多个接触点处对有机材料沉积玻璃G和BG进行预硬化。
通过第二传输室C45的传输机器人R2，将预硬化的有机材料沉积玻璃G和BG传输至合成室C47。然后，将紫外线照射到沉积在BG上的密封剂上，以便于硬化密封剂，从而将BG附着到有机材料沉积玻璃G上。
然后，通过第二传输室C45的传输机器人R2，将已经在合成室C47处完成附着过程的有机材料沉积玻璃G传输至供应和取出室C48。这里，将其上附着有BG的有机材料沉积玻璃G装载到设置在供应和取出室C48处的暗盒250的第二区域252内。
通过第三传输室C49的传输机器人R3，将装载到供应和取出室C48内的有机材料沉积玻璃G传输至卸载室C51，然后，通过第四传输室C52的传输机器人R4，将其传输至取出室C53。
其上附着有BG且已经传输至取出室C53的有机材料沉积玻璃G在后处理线中经历后处理。后处理线包括用于将其上附着有BG的有机材料沉积玻璃G切割成单位晶胞的过程；用于检查单位晶胞的过程；以及用于将突部附着到每一单位晶胞上的过程。已切割的BG构成了玻璃罩GC。
如前所述，在根据本发明的保护罩附着生产线上，不仅MC而且GC可以在一条生产线中附着到有机材料沉积玻璃G上。也就是说，当将MC附着到有机材料沉积玻璃G上时，在本发明的保护罩附着生产线上该MC被附着到有机材料沉积玻璃G上。同样，当将GC附着到有机材料沉积玻璃G上时，在本发明的保护罩附着生产线上该GC被附着到有机材料沉积玻璃G上。
此外，当将GC附着到有机材料沉积玻璃G上时，在其间的多个接触点处对有机材料沉积玻璃G和BG进行预硬化。然后，在合成室C47处，通过使用紫外线对密封剂进行硬化，而将预硬化的有机材料沉积玻璃G和BG最终彼此附着在一起。因此，可以精确地保持有机材料沉积玻璃G与BG之间的对准状态，从而使保护罩能够附着到具有两个发光表面的有机发光二极管(OLED)上。
如上所述，在根据本发明的保护罩附着生产线上，MC或GC可以在一条生产线上被附着到有机材料沉积玻璃G上。因此，不必彼此独立地安装用于将MC附着到有机材料沉积玻璃G上的生产线，以及用于将GC附着到有机材料沉积玻璃G上的生产线，从而降低了生产线安装成本和生产线安装空间。因此，提高了用于安装生产线的自由度，并降低了制造成本，进而提高了产品竞争力。
由于在不背离本发明精神或基本特征的前提下，本发明可以以不同的形式来实施，所以也应该理解，除非特别声明，上述实施例不限于上面描述的任何细节，而是应该广泛地认为其在所附权利要求限定的精神和范围内，因此落在权利要求范围或等同于所述范围内的所有改变和修正都包含在所附权利要求中。
权利要求
1.一种保护罩附着生产线，包括第一缓冲室，用于保持作为待附着到有机材料沉积玻璃G上的保护罩的底玻璃(BG)或金属罩(MC)，干燥剂附着到所述BG或MC上，进而密封剂沉积到所述BG或MC上；第二传输室，其与所述第一缓冲室连接，并具有传输机器人；玻璃附着室，其与所述第二传输室连接，用于将所述BG附着到所述有机材料沉积玻璃G上；合成室，其与所述第二传输室连接，用于将所述MC附着到所述有机材料沉积玻璃上，并硬化彼此附着的所述有机材料沉积玻璃和所述BG；供应和取出室，其与所述第二传输室连接；第三传输室，其与所述供应和取出室连接，并且在其中具有传输机器人；第二缓冲室，其与所述第三传输室连接，并且所述有机材料沉积玻璃可沉积到所述第二缓冲室内；卸载室，其与所述第三传输室连接；第四传输室，其与所述卸载室连接；以及返回线，其与所述第四传输室连接，用于返回其上布置有金属罩的金属容器盘。
2.根据权利要求1所述的保护罩附着生产线，其中，设置有多个合成室，并且所述合成室与所述第一传输室连接。
3.根据权利要求1所述的保护罩附着生产线，其中，所述玻璃附着室和所述合成室分别位于所述第一传输室的相对侧。
4.根据权利要求1所述的保护罩附着生产线，其中，所述供应和取出室设置有暗盒，并且所述暗盒包括第一区域，所述有机材料沉积玻璃可以装载到其内；以及第二区域，其上附着有所述保护罩的所述有机材料沉积玻璃可以装载到其内。
5.根据权利要求1所述的保护罩附着生产线，其中，在所述玻璃附着室中，所述有机材料沉积玻璃和所述BG可以在其间的多个接触点处被预硬化。
全文摘要
本发明公开了保护罩附着生产线，包括第一缓冲室，保持底玻璃(BG)或金属罩(MC)，干燥剂附着于BG或MC，使密封剂沉积到BG或MC上；第二传输室，与第一缓冲室连接；玻璃附着室，与第二传输室连接，将BG附着于有机材料沉积玻璃(G)；合成室，与第二传输室连接，将MC附着到G上，并硬化彼此附着的G和BG；供应和取出室，与第二传输室连接；第三传输室，与供应和取出室连接，具有传输机器人；第二缓冲室，与第三传输室连接，G可装载到其内；卸载室，与第三传输室连接；第四传输室，与卸载室连接；以及返回线，与第四传输室连接，用于返回其上有金属罩的金属容器盘。金属罩或玻璃罩可在一条生产线上被附着到G上，降低了生产线安装成本及空间。
文档编号H01L21/67GK1979919SQ200610160909
公开日2007年6月13日 申请日期2006年12月1日 优先权日2005年12月5日
发明者郑永珍 申请人:塔工程有限公司