技术简介：
本专利针对现有摇摆平台稳定性差、负载小、精度低的问题，提出采用精密致动器与交叉滚子导轨结合楔形块、小滑块及中架铰接结构，通过X/Y轴双方向摇摆设计，实现高稳定性、高负载能力的精密定位。结构采用面接触设计，提升刚性，分辨率达6角分，满足芯片倒装焊接的高精度需求。
关键词：精密摇摆平台,交叉滚子导轨
专利名称：精密摇摆定位平台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种定位平台，特别涉及一种实现调整平台e x、 e y转角的精密摇摆定位平台，该定位平台是基于凸点芯片倒装焊接 机的研发而设计的，是该设备的关键部件，用于实现芯片和基板的平 行度的调节。
背景技术：
目前摇摆台有两种，螺旋头驱动反向弹簧复位的手动摇摆定位平 台，另一种是采用蜗轮蜗杆驱动手动摇摆定位平台，两者都存在稳定 性差，负载能力小和定位精度低缺点。 发明内容
本实用新型解决了手动摇摆定位平台稳定性差，负载能力小和定 位精确度低的技术问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是
它包括致动器1、上板6、中架3、下板2，致动器1的推杆9与 小滑块5固定连接，在所述的下板2上固定设置有交叉滚子导轨，其 上设置有楔形块4，楔形块4上固定设置有直线导轨7，其上设置有 小滑块5，小滑块5与中架3通过长轴8铰接在一起，使中架3能绕 长轴8在X向自由旋转，在小滑块5的右侧的下板2上固定设置有小 轴座IO，小轴座10通过小轴12与中架3铰接，使中架3能绕小轴
12旋转，从而实现了平台在X轴向的摇摆定位；另一致动器的推杆 与另一小滑块固定连接，在所述的上板6上固定设置有交叉滚子导 轨，其上设置有另一楔形块，其上固定设置有直线导轨及小滑块，该
小滑块与中架3通过长轴铰接在一起，使中架3能绕该长轴在Y向自 由旋转，在上板6上固定设置有另一小轴座，小轴座通过小轴与中架 3铰接，使中架3能绕该小轴旋转，从而实现了平台在Y轴向的摇摆 定位。
所述的致动器1可为角度分辨率为6"的精密致动器。
本实用新型提供的摇摆定位平台，所有接触为面接触，稳定性好， 结构紧凑，驱动采用精密致动器，角度分辨率为6"，正反向运行角
度位移对称负载能力高。
图1本实用新型的结构主示意图
图2本实用新型的X方向摇摆结构图
图3本实用新型的Y方向摇摆结构图
图4本实用新型的直线运动结构图
图5本实用新型的中架结构图
图6本实用新型的运动示意图
具体实施方式以下结合附图详细叙述本发明的
具体实施方式-
将楔形块4用交叉滚子导轨与下板2和小滑块5连接，将致动器
l穿过下板2上弓形孔，使致动器推杆9伸进楔形块4，用螺钉把致
动器推杆9与楔形块4螺接。用长轴8把小滑块5连接到中架3，使
中架3能绕长轴自由旋转，将两个小轴座10用螺钉固定于下板2上，
再把小轴座10与中架3铰接，使中架3能绕小轴12旋转，再将两个
小轴座与中架3用小轴连接。将另一楔形块用交叉滚子导轨与上板6
和另一小滑块连接，将另两个小轴座用螺钉固定于上板6上，将Y
向致动器穿过上板上弓形孔，使致动器推杆伸进楔形块，用螺钉把致 动器轴与楔形块固定。
权利要求1、一种精密摇摆定位平台，包括致动器(1)、上板(6)、中架(3)、下板(2)，其特征在于致动器(1)的推杆(9)与小滑块(5)固定连接，在所述的下板(2)上固定设置有交叉滚子导轨，其上设置有楔形块(4)，楔形块(4)上固定设置有直线导轨(7)，其上设置有小滑块(5)，小滑块(5)与中架(3)通过长轴(8)铰接在一起，使中架(3)能绕长轴(8)在X向自由旋转，在小滑块(5)的右侧的下板(2)上固定设置有小轴座(10)，小轴座(10)通过小轴(12)与中架(3)铰接，使中架(3)能绕小轴(12)旋转，从而实现了平台在X轴向的摇摆定位；另一致动器的推杆与另一小滑块固定连接，在所述的上板(6)上固定设置有交叉滚子导轨，其上设置有另一楔形块，其上固定设置有直线导轨及小滑块，该小滑块与中架(3)通过长轴铰接在一起，使中架(3)能绕该长轴在Y向自由旋转，在上板(6)上固定设置有另一小轴座，小轴座通过小轴与中架(3)铰接，使中架(3)能绕该小轴旋转，从而实现了平台在Y轴向的摇摆定位。
2、 根据权利要求1所述的一种精密摇摆定位平台，其特征在于: 所述的致动器(1)为角度分辨率为6"的精密致动器。
专利摘要本实用新型提供了一种精密摇摆定位平台，解决了手动摇摆定位平台稳定性差，负载能力小和定位精确度低的问题。包括致动器(1)、上板(6)、中架(3)、下板(2)，致动器(1)与小滑块(5)固定连接，下板(2)上固定设置有交叉滚子导轨，其上设置有楔形块(4)，其上设置有小滑块(5)，并与中架(3)通过长轴(8)铰接在一起，使中架(3)能绕长轴(8)在X向自由旋转，在下板(2)上固定设置有小轴座(10)，通过小轴(12)与中架(3)铰接，使中架(3)能绕小轴(12)旋转，实现了平台在X轴向的摇摆定位，在上板上也设置同样的机构，实现了平台在Y轴向的摇摆定位。本摇摆定位平台的所有接触为面接触稳定性好结构紧凑。
文档编号H01L21/68GK201007988SQ200720100568
公开日2008年1月16日 申请日期2007年2月3日 优先权日2007年2月3日
发明者刘瑞霞, 扬凯骏, 王晓奎, 霍灼琴 申请人:中国电子科技集团公司第二研究所