专利名称：腔盖启闭机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种开启机构，尤其涉及一种适用于真空设备中腔体门或腔体 盖的开启、关闭才几构。
背景技术：
OLED( Organic Light-Emitting Diode )，由于其自发光的特性，不像TFT-LCD 需要背光，因此可视度大、亮度高，且电压需求低，加上反应快、重量轻、厚 度薄、构造简单等优点，被视为21世纪最具前途的产品之一；OLED是目前所 有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以 做成和纸张一样的厚度，由于OLED的众多优点，使OLED是唯一在应用上能 和TFT-LCD相提并论的技术。OLED的基本工艺包括基板制作、光刻、基片处 理、成膜、封装、老化测试及IC连接等，在OLED的生产工艺中，为了保证较 高的清洁度，常常需要在真腔体设备中完成各种工艺，因此真空腔体设备贯穿 整个生产制程，也是最普遍、最重要的设备之一。
在实际生产中，腔体内部的零部件常常需要更换、改造、调试，腔体内部 也常常需要清理，因此需要将腔盖打开进行维护，在维护的过程中既要确保调 试人员的安全和腔盖的稳定，又要保证调试的方便性，在调试完成后为了保证 真空腔体的密封性，又需要对下降过程中的腔盖进行控制和定位。但随OLED 技术的发展，制造OLED的基片也趋向大面积发展，所以相应的真空腔体设备 也趋于大型化发展，腔盖的尺寸和重量亦随之增大。由于现在很多真空腔体设 备中的腔盖是由很厚的钢板做成，靠人力一般都难以完成，况且此种操作也存 在着较大的人身安全隐患，所以需要借助机械装置进行操作，因此一种对腔盖 进行开启和闭合的启闭机构就应运而生，而腔盖启闭机构设计是否合理直接影响真空效果，生产效率、维护的便利性、安全性等问题。
现有技术一种汽缸式开盖机构，盖板在气缸的作用下实现启闭，此种机构 一般只能将盖板开启到 一定的角度，在一定程度上影响操作者对腔体内的操作, 且当需要将盖板升的较高时，又会使汽缸臂导轨非常长，占用较大的空间并影
响外观；另一种是借助导轨将盖板直接升降，即在铅垂方向进行提升下降，达 到启闭的目的，在此技术中会涉及到以下问题 一是当盖板升高到一定位置时， 由于盖板自身的重量，盖板将不可避免的产生塑性变形，在盖板闭合时将导致 密封不严，从而难以达到较高的真空度；二是当需要将腔体内的零部件取出时 就会产生操作不变问题，因为即使将盖板升到最高位置，也会造成零部件取出 困难，尤其是需取出的零部件很重，而人力无法完成时，需借用提升机构，此 设计会影响到提升机构的操作，进一步加大了维修的难度，同时影响生产效率; 再一种是将盖板铅垂方向升高到一定位置，再将盖板水平移动，这种设计存在 着盖板的垂直和水平运动，无形中增大了开启机构的复杂程度，同时，此种设 计也会使盖板会产生较大的塑性变形，盖板的水平移动还会对腔体设备周围其 它设备造成干扰，特别是盖板的尺寸很大时。
因此，急需一种方便、省力、安全、结构简单，不易使腔盖变形，保证腔 盖密封性好、真空度高，且操作精度高的腔盖启闭机构。
发明内容
本发明的目的在于提供一种方便、省力、安全、结构简单，不易使腔盖变 形，保证腔盖密封性好、真空度高，且操作精度高的腔盖启闭机构。
为实现上述目的，本发明的技术方案为提供一种腔盖启闭机构，包括控 制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔，所述两执行 机构固定连接于所迷腔盖上且相互平行，所述传动机构固定连接于所述腔体的 一侧壁且位于所述两4丸行才凡构之间，所述传动才几构的一端与所述执4亍才几构连4妾, 另一端与所述驱动机构连接，所述控制单元控制所述驱动机构运动，所述驱动 机构通过所述传动机构同步的带动两所述执行机构，实现所述腔盖的启闭，其 中，所述传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的
5支撑体，所述支撑体与所述腔体的一側壁固定连接且位于所述两执行机构之间， 所述连接轴贯穿所述支撑体且平行于所述腔盖，所述连接轴的两端分别与所述 两执行机构连接，所述蜗轮固定于所述连接轴上且位于所述支撑体内，所述蜗 杆设置于所述支撑体内且与所述蜗轮垂直啮合，所述蜗杆一端与所述减速器的 输出轴连接，所述减速器的输入轴与所述传动轴的一端连接，所述传动轴的另 一端与驱动机构连4妄。
较佳地，所述支撑体还包括一底板，所述底板位于所述支撑体的底部且与 所述连接轴平行，所述蜗轮及蜗杆位于所述支撑体内，所述减速器固定于所述
底板的下方且与所述蜗杆连接；更具体地，所述支撑体还包括一支撑板，所述 支撑板位于所述底板上方且平行于所述底板，所述减速器固定于所述底板的下 方且所述减速器的输出轴贯穿所述底板，所述蜗4仑及蜗杆位于所述支撑板的上 方，所述蜗杆通过轴承竖直安装于所述支撑板上且贯穿所述支撑板，所述蜗杆 与所述减速器在所述底板与所述支撑板之间通过联轴器连接。减速器将传动轴 的扭矩旋转输出，在通过蜗杆、蜗轮带动连4矣轴运动，连接轴的转动带动腔盖 绕连接轴运动，实现腔盖的开启和关闭，利用减速器配合蜗杆、蜗轮传输动力， 更省力，同时安全、稳定的实现较大速比的传动。
较佳地，所述传动机构还包括至少两托架，所述托架安装于所述支撑体的 两侧其垂直于所述腔体的侧壁，所述连接轴贯穿所述托架，所述托架用于支撑 所述连接轴，使所述连接轴更稳固。
较佳地，所述执行机构包括支柱及把手，所述把手设置于所述腔盖上，所 述把手通过销轴与所述支柱的一端固定连接，所述支柱的另 一端与所述连接轴 连接，所述支柱位于所述腔盖上方且不与所述腔盖接触，避免了腔盖在开启的 过程中碰到腔体；把手设置于腔盖上，用于开启的过程中人工辅助完成腔盖的 启闭。
较佳地，所述腔盖启闭机构还包括传感器及限位开关，所迷传感器用于对 所述腔盖的位置进行检测，所述限位开关用于对所述腔盖的最高位置及最低位 置进行检测，所述传感器及限位开关将釆集到的腔盖位置信号发送到控制单元, 控制单元将信号处理后发送到驱动^^构，控制驱动^L构的运动，驱动^M勾通过
6传动机构控制腔盖旋转的角速度和角度，实现腔盖的准确运动，使腔盖准确的 停留在预设位置，保证了腔盖在开启和关闭过程中的高精度、高安全性，同时 可检测腔盖开启的最大位置及关闭的最低位置，保证腔盖关闭后的气密性，保 证整体腔体启闭机构的高真空度。
较佳地，所述腔盖启闭机构还包括气弹簧，所述气弹簧一端设置于所述腔 盖上，另一端设置于所述腔体上，腔盖开启和关闭的过程中停留在某一位置时， 气弹簧辅助支撑腔盖，进一步保证腔盖运动过程中的稳定性和安全性。
较佳地，所述驱动机构为手轮或伺服电机。选用手轮驱动，可进一步简化
整个腔盖启闭机构的结构和控制方法，使得操作筒单；选择电机驱动时，可实 现腔盖启闭整体的自动化要求，达到闭环控制的目的；根据腔盖启闭机构自动 化要求的高低，自由的选择手轮或是电机作为驱动机构，使该设备适应程度更 高。
较佳地，所述驱动机构还包括电磁制动器。当腔盖较重时，要维持腔盖启 闭机构的静止就需要提供较大的输出转矩，且静止的时间有时会较长，应用伺 服电机的自锁功能会造成电机过热或放大器过载，选择电磁制动器提高腔盖启 闭机构的精确性和安全性。
与现有技术相比，由于本发明腔盖启闭机构的传动机构具有传动轴、减速 器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体，所迷支撑体与所述腔体的一 侧壁固定连接且位于所述两执行机构之间，所述连接轴贯穿所述支撑体且平行 于所述腔盖，所述连接轴的两端分别与所述两执行机构连接，所述蜗轮固定于 所述连接轴上且位于所述支撑体内，所述蜗杆设置于所述支撑体内且与所述蜗 轮垂直啮合，所述蜗杆一端与所述减速器的输出轴连接，所述减速器的输入轴 与所述传动轴的一端连接，所述传动轴的另一端与驱动机构连接；所述传动轴 接收驱动机构的传输扭矩，并经过减速器的输出轴旋转输出后传输给蜗杆，蜗 杆运动带动与之相垂直啮合的蜗轮转动，蜗轮带动连接轴转动，连接轴的转动 同步带动两执行机构运动，最后带动腔盖绕连接轴运动，实现腔盖的开启或关 闭；由于利用减速器配合蜗杆、蜗轮来传输动力，使传动过称更省力，实现较 大速比传动，且安全性、稳定性更强；也^f吏腔盖在开启或关闭的操作中具有4交高的操作精度；由于腔盖在较大程度开启后不需要升高或水平移动，避免了腔 盖的塑性变形，使腔盖在开启操作后仍具有较高的密封性，保证整个腔盖开启 机构的真空度；同时，该腔体启闭机构结构筒单，操作方便。
图1是本发明腔盖启闭机构第一实施例的整体结构示意图。
图2是本发明腔盖启闭机构的传动机构的截面结构示意图。
图3是图2中A部分的放大示意图。
图4是本发明腔盖启闭机构的原理框图。
图5是本发明腔盖启闭机构第二实施例的整体结构示意图。
图6是本发明腔盖启闭机构第三实施例的整体结构示意图。
具体实施例方式
现在参考附图描迷本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。
如图1、图2所示，本发明腔盖启闭机构包括控制单元(图未示)、驱动机 构200、传动机构300、两执行机构400及设备腔100， i殳备腔100包括腔盖101 和腔体102，腔盖101设置于腔体102之上，两执行机构400相互平行且固定连 接于腔盖101上，传动机构300固定连接于腔体102的一侧壁且位于两执行机 构400之间，传动机构300的一端与执行机构400连接，另 一端与驱动机构200 连才妄，驱动才几构200通过传动沖几构300带动执4亍冲几构400运动，执4亍才几构400 带动腔盖101运动，实现腔盖101的开启和关闭；本发明腔盖启闭机构的传动 机构300包括传动轴301、减速器302、蜗杆303、蜗轮304、连接轴305及呈 中空结构的支撑体306，支撑体306包括一底板308及一支撑板307，底板308 位于支撑体306的底部且平行于腔盖101，支撑板307位于底板308上方且平行 于底板308，减速器302固定连接于底板308下方，减速器302的输入轴通过传 动轴301与驱动机构200连接，减速器302的输出轴贯穿所述底板308,蜗杆 303两端通过轴承竖直安装于支撑板307与支撑体306内壁之间，且蜗杆303安装于支撑板307的一端贯穿所述支撑板307,支撑板307对蜗杆303起支撑作用， 蜗杆303贯穿支撑板307 —端与减速器302的输出端通过联轴器310相连接， 联轴器310位于支撑板307与底板308之间；连接轴305贯穿支撑体306且平 行地设置于支撑板307的上方，蜗轮304固定于连接轴305上且位于支撑体306 内，蜗4仑304与蜗杆303垂直啮合，连^r轴305的两端分别与两执行^L构400 的两支柱401连接；执行才几构400还包括把手402，把手402设置于腔盖101上， 把手402通过销轴与支柱401的一端固定连接，支柱401的另一端与连4妻轴305 连接，支柱401位于腔盖101上方且不与腔盖101接触；驱动机构200运动， 传动轴301将驱动机构200的扭矩传输到减速器302的输入轴，经过减速器302 的输出轴旋转输出后传输到蜗杆303，蜗杆303的转动带动蜗轮304转动，蜗轮 304带动连接轴305运动，连接轴305通过两支柱401及两把手402带动腔盖 101绕连接轴305运动，实现腔盖101的开启和关闭。
如图1、图4所示，本发明腔盖启闭机构还包括两托架500及两气弹簧600， 托架500安装于支撑体306的两侧并垂直于腔体102的侧壁，连接轴305两端 贯穿两托架500，托架500用于支撑连接轴305;气弹簧600设置于腔盖101与 腔体102之间，气弹簧600 —端设置于腔盖101上，另 一端设置于腔体102的 与支撑体306所在侧壁相互垂直的两侧壁上，用于在腔盖101开启和关闭的过 程中，辅助支撑腔盖101;气弹簧600可以是自由气弹簧、随意停气弹簧、自锁 型气弹簧等，优选的为自锁型气弹簧，自锁型气弹簧具有自锁能力，能较好的 保持腔盖101的稳定性。本发明腔盖启闭机构还包括传感器和限位开关，传感 器包括用于发送信号的发射器701和用于接收发射器701信号的接收器702,发 射器701设置于腔盖101上，相应的接收器702设置于腔体102上；发射器701 也可以设置于腔体102上，其相应的接收器702则设置于腔盖101上；发射器 701可为红外线发射器或发光二极管，发射器701为红外线发射器时相应的接收 器702为红外线接收器，发射器701为发光二极管时相应的接收器702为光电 耦合器；发射器701和接收器702用于采集腔盖101的运动状态信息，采集的 信息发送到控制单元后，控制单元将状态信息识别处理后发送到驱动机构200， 控制驱动机构200的运动，从而控制腔盖101的运动；限位开关为两压力开关
9703、 704，压力开关704设置于腔体102上，用于检测腔盖101最低位置状态 信息；压力开关703设置于支撑体306上，用于检测腔盖101最高位置状态信 息。本发明腔盖启闭机构的驱动机构200为手轮或电机，电机可配备制动器， 电机优选的为伺服电机，相应的制动器优选的为电磁制动器，因为在腔盖IOI 较重时，维持腔盖IOI机构的静止需电机提供较大的输出扭矩，且静止的时间 有时会较长，选择成本较低的电磁制动器，可避免使用伺服电机的自锁功能造 成的电机过热或放大器过载。
下面结构附图详细说明本发明实施例的结构及工作原理。 如图1、图2、图3、图4所示，在本发明腔盖启闭机构的第一施例中，驱 动机构200为手轮，手轮200与减速器302之间通过轴承311连接，减速器302 输入轴一端设置有轴承座312,轴承311安装于轴承座312内且其一端与轴承座 312相4氐触，另一端通过轴承盖313固定，传动轴301套设于轴承311内并与手 轮200及减速器302连接，在本实施例中，传动轴301为减速器302的输入轴， 即减速器302的输入轴套设于轴承311内并与手轮200连接，通过手轮200带 动减速器302的输入轴转动，减速器302的输出轴带动蜗杆303转动，进而带 动蜗轮304及连接轴305转动，连接轴305通过连接于其上的支柱401和把手 402带动腔盖101运动，进而使腔盖101开启或关闭，通过控制手轮200的旋转 速度从而调整腔盖101的开启和关闭速度及幅度；减速器302可为行星齿轮或 蜗轮蜗杆；蜗杆303为单头蜗杆，蜗轮304为扇形蜗轮且扇形角度大于80。， 更优选的为90° 。在本实施例中，除应用传感器及限位开关来精确判断腔盖101 开启或关闭的位置外，还设置有蜂鸣器，用于对外界作出提示。如果需要将腔 盖101开启或关闭到任意位置时，预先输入腔盖101需开启或关闭的角度位置， 在腔盖101开启或关闭的过程中，腔盖101上的发射器701发送信号到腔体102 上的接收器702，控制单元根据接收器702接受到的信号判断腔盖101开启或关 闭的角度和速度，如果判断达到预先输入的角度时，控制单元将处理后的信号 输出到蜂鸣器，蜂鸣器报警，停止手轮200的转动，进而使腔盖101停止在预 先设定的位置，腔盖101停止后，自锁型气弹簧600对腔盖101具有辅助支撑 作用，保证腔盖101的稳定性，由于可对腔盖101开启或关闭的位置精确定位，且有气弹簧600的支撑作用，提高整体设备的精度和操作效率，同时加强其安 全性；如果腔盖101需开启到最大位置，则当腔盖101升高到最高位置时，腔 盖101会触碰到支撑体306上的压力开关703,当接触到的压力达到预设要求时， 压力开关703向控制单元发出信号，控制单元将此信号处理后发送到蜂鸣器， 蜂鸣器报警，停止手轮200的转动；在腔盖101关闭的时，腔盖101下落接触 到腔体102上的压力开关704，当接触到的压力达到预设要求时，压力开关704 向控制单元发出信号，控制单元将此信号处理后发送到蜂鸣器，蜂鸣器报警， 停止手轮200的转动，保证腔盖101关闭后具有较好的密封性，保证设备工作 的高真空度。如图4、图5所示，本发明腔盖启闭机构的第二施例用于自动化要求较高的 情况下，该实施例与第一实施例相比，只在于驱动机构200的不同，本实施例 中使用电机作为驱动机构200,因此可实现腔盖启闭机构整体的自动化，达到闭 环控制的目的。电机200通过联轴器与传动轴301—端连4妻，传动轴301另一 端通过联轴器与减速器302的输入轴连接，通过电机200带动减速器302的输 入轴转动，减速器302的输出轴带动蜗杆303、蜗轮304及连接轴305分级运动， 进而通过支柱401及把手402运动带动腔盖101运动，实现腔盖101的开启和 关闭。如果需要将腔盖101开启或关闭到任意位置时，预先输入腔盖101需开 启或关闭的角度，在腔盖101开启或关闭的过程中，腔盖101上的发射器701 发送信号到腔体102上的接收器702，控制单元根据接收器702接受到的信号判 断腔盖101开启的角度和速度，经判断达到预先输入的角度时，控制单元将处 理后的信号输出到电机200，使电机200停止转动，使腔盖IOI停在预设位置， 同时将该信号输出到蜂鸣器，蜂鸣器报警；腔盖101停止后，自锁型气弹簧600 对腔盖101具有辅助支撑作用；如果腔盖101需开启到最大位置，则当腔盖101 升高到最高位置时，腔盖101会触碰到支撑体306上的压力开关703,当接触到 的压力达到预设要求时，压力开关703向控制单元发出信号，控制单元将此信 号处理后发送到电机200,电机200停止运动，同时将该信号输出到蜂鸣器，蜂 鸣器报警；在腔盖101关闭的时，腔盖101下落接触到腔体102上的压力开关 704,当接触到的压力达到预设要求时，压力开关704向控制单元发出信号，控制单元将此信号处理后发送到电机200,电机200停止转动，同时将该信号输出 到蜂鸣器，蜂鸣器报警。
如图6所示，本发明第三实施例适用于不需要经常开启的设备腔100或对 整体设备的自动化要求不高时，本实施例的腔盖启闭机构与第一实施例中的腔 盖启闭机构相比，没有传感器及限位开关，但都使用手轮作为驱动机构200且 其他结构相同，在本实施例中，可设置限位装置对腔盖101开启的最高位置进 行限位，如在支撑体306上设置一限位块，或在支撑体306上设置销进行限位； 该实施例中，通过手轮200带动减速器302、蜗杆303、蜗轮304连接轴305分 级运动，进而通过连接轴305上的支柱401及把手402带动腔盖101运动，实 现腔盖101的开启和关闭，进一步筒化腔盖启闭机构的结构及控制方法。
由于本发明腔盖启闭机构的传动机构300具有传动轴301、减速器302、蜗 杆303、蜗轮304、连接轴305及呈中空结构的支撑体306,所述支撑体306与 所述腔体102的一侧壁固定连接，所述连接轴305贯穿所述支撑体306且平行 于所述腔盖101，所述连接轴305的两端分别与所述两执行机构400连接，所述 蜗轮304固定于所述连接轴305上且位于所述支撑体306内，所述蜗杆303设 置于所述支撑体306内且与所述蜗轮304垂直啮合，所述蜗杆303 —端与所述 减速器302的输出轴连接，所述减速器302的输入轴与所述传动轴301的一端 连接，所述传动轴301的另一端与驱动机构200连接；所述传动轴301接收驱 动机构200的传输扭矩，并经过减速器302的输出轴旋转输出后传输给蜗杆303， 蜗杆303运动带动与之相垂直啮合的蜗轮304转动，蜗轮304带动连接轴305 转动，连接轴305的转动同步带动两执行机构400运动，最后带动腔盖101绕 连接轴305运动，实现腔盖101的开启或关闭；由于利用减速器302配合蜗杆 303、蜗轮304来传输动力，使传动过程更省力，实现较大速比传动，且安全性、 稳定性更高；也使腔盖IOI在开启或关闭的操作中具有较高的操作精度；由于 腔盖101在较大程度开启后不需要升高或水平移动，避免了腔盖101的塑性变 形，使腔盖IOI在开启操作后仍具有较高的密封性，保证整个腔盖启闭机构的 真空度；同时，该腔盖启闭机构结构简单，操作方便。
本发明腔盖启闭机构的腔盖101位置并不限于上部，也可以是腔体102的側部等位置；本发明腔盖启闭机构的控制单元及原理等均为本领域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。
以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
权利要求
1.一种腔盖启闭机构，包括控制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔，所述两执行机构固定连接于所述腔盖上且相互平行，所述传动机构固定连接于所述腔体的一侧壁且位于所述两执行机构之间，所述传动机构的一端与所述执行机构连接，另一端与所述驱动机构连接，所述控制单元控制所述驱动机构运动，所述驱动机构通过所述传动机构同步的带动两所述执行机构，实现所述腔盖的启闭，其特征在于所述传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体，所述支撑体与所述腔体的一侧壁固定连接且位于所述两执行机构之间，所述连接轴贯穿所述支撑体且平行于所述腔盖，所述连接轴的两端分别与所述两执行机构连接，所述蜗轮固定于所述连接轴上且位于所述支撑体内，所述蜗杆设置于所述支撑体内且与所述蜗轮垂直啮合，所述蜗杆一端与所述减速器的输出轴连接，所述减速器的输入轴与所述传动轴的一端连接，所述传动轴的另一端与驱动机构连接。
2. 如权利要求1所述的腔盖启闭机构，其特征在于所述支撑体还包括一 底板，所述底板位于所述支撑体的底部且与所述连接轴平行，所述蜗轮及蜗杆 位于 所述支撑体内，所述减速器固定于所述底板的下方且与所述蜗杆连接。
3. 如权利要求2所述的腔盖启闭机构，其特征在于所述支撑体还包括一 支撑板，所述支撑板位于所述底板上方且平行于所述底板，所述减速器固定于 所述底板的下方且所述减速器的输出轴贯穿所述底板，所述蜗4仑及蜗杆位于所 述支撑板的上方，所述蜗杆通过轴承竖直安装于所述支撑板上且贯穿所述支撑
4. 如权利要求1所述的腔盖启闭机构，其特征在于所述传动机构还包括 至少两托架，所述托架安装于所述支撑体的两侧其垂直于所述腔体的侧壁，所 述连接轴贯穿所述托架。
5. 如权利要求1所述的腔盖启闭机构，其特征在于所述执行机构包括支柱及把手，所述把手设置于所述腔盖上，所述把手通过销轴与所述支柱的一端 固定连接，所述支柱的另一端与所述连接轴连接，所述支柱位于所述腔盖上方 且不与所述腔盖接触。
6. 如权利要求1所述的腔盖启闭机构，其特征在于所述腔盖启闭机构还 包括传感器及限位开关，所述传感器用于对所述腔盖的位置进行检测，所述限 位开关用于对所述腔盖的最高位置及最低位置进行检测。
7. 如权利要求1所述的腔盖启闭机构，其特征在于所述腔盖启闭机构还 包括气弹簧，所述气弹簧一端设置于所述腔盖上，另一端设置于所述腔体上。
8、 如权利要求1所述的腔盖启闭机构，其特征在于所述驱动机构为手轮 或祠服电机。
9、 如权利要求8所述的腔盖启闭机构，其特征在于所述驱动机构还包括 电i兹制动器。
全文摘要
本发明公开了一种腔盖启闭机构，包括控制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔，其传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体，支撑体与腔体的一侧壁固定连接，连接轴贯穿支撑体且平行于腔盖，连接轴的两端分别与两执行机构连接，蜗轮固定于连接轴上且位于支撑体内，蜗杆设置于支撑体内且与蜗轮垂直啮合，减速器的输出轴与蜗杆一端连接，输入轴与传动轴的一端连接，传动轴的另一端与驱动机构连接，控制单元控制驱动机构运动，驱动机构通过传动机构同步的带动两执行机构，实现腔盖的启闭，本发明结构简单、操作方便、省力、安全、精度高、不易使腔盖变形，保证OLED生产中真空设备的高真空度。
文档编号H01L51/56GK101673810SQ20091004239
公开日2010年3月17日 申请日期2009年9月3日 优先权日2009年9月3日
发明者刘惠森, 杨明生, 伟 王, 勇 王, 王曼媛, 范继良, 郭远伦 申请人:东莞宏威数码机械有限公司