专利名称：裹线的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及电子制造工艺，特别是用于包裹导线的裹线。
背景技术：
薄膜(TF)制程环节是大规模和超大规模集成电路(IC)生产中至关重要的一环。 在薄膜制程的一些腔室中，会出现导线直接暴露在制程环境中的情况；例如，在有些腔室 中，需要为加热器的电流回路布线，由于该加热器是设置在腔室内部的，因此会使得所排布 的导线直接暴露在该腔室的制程环境中。导线一般是由数十根金属丝绞结形成的。当导线直接暴露在腔室内的情况下，为 了防止在薄膜制程环境中可能存在的等离子体在导线表面产生火花，造成导线短路而导致 器件设备发生跳电，通常会在导线外围包裹裹线。参考图1，目前市面上最常见的一种裹线如图所示，该裹线采用扁平状的线带围绕 导线进行包裹而形成，该裹线在弯曲时，其弯曲角度存在较大限制，并且无法对单个环节进 行更替，使得单个环节的损坏会导致需要更换整个裹线。参考图2，随着技术发展，在图1所 示裹线的基础上，形成了由在一侧具有方形凸起的管状结构所构成所述裹线，然而，其弯曲 角度仍旧受到其方形凸起的局限，不能有效地实现安装的简易化。此外，上述裹线的售价通常都比较高，例如达到70 100美元，使得为了保证生产 过程的正常工作以及生产的安全性而设置的裹线，反而造成了生产成本的额外增加。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种裹线，以便更加安全、便利地对导线进行包裹。为实现上述目的，本实用新型提供了一种裹线，包括多个第一管状部和多个第二 管状部，其中，所述第二管状部至少包括空心管状结构以及设置于所述空心管状结构径向 两端的承接结构；每个所述第二管状部通过两端的承接结构分别与至少一个所述第一管状 部相连接。相较于现有技术，本实用新型通过在第二管状部径向两端设置球面凸起，使得所 述裹线在应用过程中具有较大的角度变化范围，能够灵活地适应生产需求，节约成本，提高 生产效率。
图1为现有技术一种裹线的结构示意图；图2为现有技术另一种裹线的结构示意图；图3为本实用新型裹线一种实施方式的结构示意图。
具体实施方式
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新 型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。其次，本实用新型利用示意图进行详细描述，在详述本实用新型实施例时，为便于 说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是实例，其在 此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空 间尺寸。
以下结合附图和具体实施例，对本实用新型实施方式做进一步详细说明。参考图1，本实用新型提供了一种裹线，至少包括多个第一管状部110和多个第二 管状部120，其中，第二管状部120至少包括空心管状结构122以及设置于在空心管状结构 122径向两端的承接结构121，且每个第二管状部120通过两端的承接结构121分别与至少 一个第一管状部110相连接。在本实用新型裹线的一种实施方式中，第一管状部110和第二管状部120通过对 应的承接结构121，逐个儿依次衔接，构成具有循环链式结构的裹线。其中，导线贯穿第一管 状部110以及第二管状部120，使得所述裹线对导线形成保护。第一管状部110为空心管状结构。其中，第一管状部110和第二管状部120中的 空心管状结构可采用多种形状，例如，可采用圆柱体空心管，也可以为立方体空心管。此外， 第一管状部Iio和第二管状部120的空心管状结构可以相同，也可以不同。在一种具体实 施方式中，第一管状部110和第二管状部120的空心管状结构匹配设计，都采用圆柱体空心 管，且具有相同的内径或外径。连接第一管状部110与第二管状部120的承接结构121可采用部分球面，使得第 二管状部120与第一管状部110之间的夹角在所述裹线的应用过程中能够具有较大的变化 范围。例如，承接结构121可为半个球面，也可为球面的三分之一或其它比例。具体来说，承接结构121的大小与第一管状部110的空心管状结构相匹配。也就 是说，承接结构121的大小略小于第一管状部110的内径，以方便将承接结构121嵌入第一 管状部110内，形成第二管状部120与第一管状部110的连接；同时，承接结构121的大小 与第一管状部110内径的差距很小，以保证在将所述导线及裹线进行允许角度范围内的弯 曲时，第二管状部120与第一管状部110始终保持连接状态。其中，当承接结构121为半个 球面时，承接结构121的大小具体是指该球面的外径；当承接结构121为1/3的球面时，承 接结构121的大小具体是指其与第二管状部120连接位置处的截面外径。在具体的实施例 中，承接结构121的球面所对应的球体，内接于第一管状部110结构内侧。承接结构121分别设置于第二管状部120径向的两端，从而使得第二管状部120 在每一端能够与一个第一管状部110相连接，并且能够同时对同一段第二管状部120两侧 的第一管状部110分别进行独立的调节，使得所述裹线能够更便利地调整角度和位置，具 有更大的安装灵活性。此外，在径向的两端分别设置承接结构121，使得第二管状部120自 身在结构上具有对称性，当单个第二管状部120发生破损时，便于对其进行更换，而不影响 整个裹线。另外，还可根据实际导线的排布需要，灵活采用具有不同长度的空心管状结构的 第二管状部120，以形成所述裹线。对于不需要较多弯折的导线，可采用具有较长的空心管 状结构的第二管状部120 ；也可通过采用具有较短的空心管状结构的第二管状部120，使得所述裹线能够适应导线的多种位置和形状要求。相较于现有技术的裹线，本实用新型裹线具有独特的结构，第二管状部径向两端 所设置的球面凸起使得所述裹线在应用过程中具有较大的角度变化范围，从而能够灵活地 适应生产需求，节约成本，提高生产效率。虽然本实用新型已通过较佳实施例说明如上，但这些较佳实施例并非用以限定本 实用新型。本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，应有能力对该较佳实 施例做出各种改正和补充，因此，本实用新型的保护范围以权利要求书的范围为准。
权利要求一种裹线，至少包括多个第一管状部和多个第二管状部，其特征在于，所述第二管状部至少包括空心管状结构以及设置于所述空心管状结构径向两端的承接结构；每个所述第二管状部通过两端的承接结构分别与至少一个所述第一管状部相连接。
2.如权利要求1所述的裹线，其特征在于，第一管状部为空心管状结构。
3.如权利要求2所述的裹线，其特征在于，所述承接结构的大小与所述第一管状部的 内径相匹配，使得所述承接结构嵌入所述第一管状部内部。
4.如权利要求1所述的裹线，其特征在于，所述承接结构采用球面。
5.如权利要求4所述的裹线，其特征在于，所述承接结构为半个球面。
6.如权利要求4所述的裹线，其特征在于，所述承接结构对应的球体内接于所述第一 管状部内侧。
专利摘要一种裹线，包括多个第一管状部和多个第二管状部，其中，所述第二管状部至少包括空心管状结构以及设置于所述空心管状结构径向两端的承接结构；每个所述第二管状部通过两端的承接结构分别与至少一个所述第一管状部相连接。本实用新型通过在第二管状部径向两端设置球面凸起，使得所述裹线在应用过程中具有较大的角度变化范围，能够灵活地适应生产需求，节约成本，提高生产效率。
文档编号H01B7/17GK201732618SQ20102026133
公开日2011年2月2日 申请日期2010年7月16日 优先权日2010年7月16日
发明者陈雄博 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司