专利名称：制作高导电高光反射低光损失之岛状成长结构背电极的制作方法
制作高导电高光反射低光损失之岛状成长结构背电极技术领域
本发明是一种高导电高光反射低光损失之岛状成长结构背电极，提升光在吸收层的行进距离，提高太阳能效率，其主要目的采用银金属背电极沉积成膜的机制原理，使其表面形成凸形的岛状结构，接着再镀一层高导电性、平滑表面的背电极。此方法即能达到增加入射光到达背电极后反射光散射之方向性，提升光在吸收层的行进距离，减少反射时光的损失，以增加太阳能电池发电效率。
背景技术：
在第一道制程为镀制背电极结构的太阳能电池，因为并不像先镀制前电极的太阳能电池有透明导电玻璃有texture(绒状)表面，所以缺乏光在组件内部散射、增加光行进距离的结构，若要提高散射率，需在电池入光前加装散射装置，成本相当高。如能有效改善此缺点，便能大大提升整体效率。发明内容
本发明主要是采用银金属背电极岛状结构沉积成膜的机制原理，使其表面形成凸形的岛状结构，增加入射光到达背电极后反射光散射之方向性，提升光在吸收层的行进距离，再镀一层平滑表面的金属薄膜层，减少光损失，以增加太阳能电池发电效率。先取得一个基板，利用溅镀方法镀制银金属背电极膜。在基板温度较高时，银金属会以岛状结构沉积成膜，我们可以运用此沉积特性，使其表面形成凸形的岛状结构，其目的在于增加银金属背电极的表面积，提升光反射后行进角度分布，增加光在太阳能组件内行径距离；接着再镀一层高导电性、平滑表面的背电极，其目的在于减少光在反射时，在背电极表面的吸收与损失，有效提闻太阳能电池的效率。
具体实施方法 吾将本发明搭配附图，详细说明如下图1为本发明平滑表面、岛状成长结构背电极之示意图，由图中可得知，一开始取得一基板(I)，将其放入将溅镀真空腔体内，在镀制过程中，将其基板温度提升至200°C，此时， 银金属因为温度影响，成膜机制转变成岛状方式沉积，此行为，使其玻膜表面形成凸形的岛状结构(2)，产生了许多额外的表面积。接着以基板温度100°C的情况下在岛状结构薄膜层上方再镀制一层高导电性、平滑表面的银金属薄膜层(3)。此种方法，可以同时具有岛状结构、且能有平滑表面，完成一个高导电高光反射低光损失之岛状成长结构背电极，图2为本发明平滑凸形岛状表面结构之光行进路线图，当光遇到背电极反射时，未经过凸形的岛状结构(4)时，行进间散射角度分布较窄；相对于光经由膜层之凸形的岛状结构(5)时，由于增加光接触表面积，大大提升光散射角度分布，能提高光在于组件内行进距离，再加上有平滑高导电性薄膜金属背电极层，减少光损失，有效增加入射光之利用率，提升太阳能产业进争能力。
以上说明，对本发明而言只是说明性的，非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修正、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围之内。
下面为结合附图对本发明进一步说明，图1为本发明背电极膜层镀制之示意图，图2为本发明平滑凸形岛状表面结构之光行进路线之示意图。
图标主要符号说明。
I…玻璃 2…凸形的岛状结构(岛状结构成长)3…高导电性、平滑表面的银金属薄膜层 4…光行走非凸形的岛状结构背电极层之行进路线 5…光行走本发明凸形的岛状结 构背电极层之行进路线。
权利要求
1.本发明主要是采用银金属背电极岛状结构沉积成膜的机制原理，使其表面形成凸形的岛状结构，增加入射光到达背电极后反射光散射之方向性，提升光在吸收层的行进距离， 再镀一层平滑表面的金属薄膜层，减少光损失，以增加太阳能电池发电效率。
2.根据权利要求1所述的一种银金属背电极岛状结构沉积成膜之方法，在镀制过程中，将其基板温度提升至一定温度(约为200°C)，银金属因为温度影响，成膜机制转变成岛状方式沉积。
3.根据权利要求1所述的一种银金属背电极岛状结构沉积成膜之方法，以基板温度 100°C的情况下在岛状结构薄膜层上方再镀制一层高导电性、平滑表面的银金属薄膜层。
4.根据权利要求1所述的一种银金属背电极岛状结构沉积成膜之方法，基板无须任何特定结构限制，只须能承受200°C的制程温度即可。
全文摘要
本发明为制作高导电高光反射低光损失之岛状成长结构背电极，主要是采用银金属背电极岛状结构沉积成膜的机制原理，使其表面形成凸形的岛状结构，增加入射光到达背电极后反射光散射之方向性，提升光在吸收层的行进距离，再镀一层平滑表面的金属薄膜层，减少光损失，以增加太阳能电池发电效率。在基板温度较高时，银金属会以岛状结构沉积成膜，接着再镀一层高导电性、平滑表面的背电极，达到有效提高太阳能电池的效率。
文档编号H01L31/18GK103022161SQ20111028242
公开日2013年4月3日 申请日期2011年9月22日 优先权日2011年9月22日
发明者简唯伦, 刘幼海, 刘吉人 申请人:吉富新能源科技(上海)有限公司