专利名称：机台防打火底板结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种Novellus sequel (诺发公司的一种机台型号sequel)机台， 尤其涉及该机台中防打火的底板结构。
背景技术：
1C，即集成电路是采用半导体制作工艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件，并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。由于Novellus sequel机台会用来生长带弗的薄膜,腔体在反应过程中可能会使加热块导线短路的风险，一般都会加装防打火装置。由图I、图2可见现有技术的防打火底板是一整块的陶瓷底板2，加热块导线I安装在陶瓷底板2上。安装的时候需要拆除加热块下方的链接并移走加热块，这将耗费很大的人力和时间。针对以上缺点，有必要设计一种的新的防打火底板。
发明内容本实用新型需要解决的技术问题是提供了一种机台防打火底板结构，旨在解决上述的问题。为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的本实用新型包括安置加热块导线的底板；所述的底板由第一底板和第二底板拼接而成；所述的加热块导线安置在其中的一块上。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是由于设计成两块可拼装底板，以方便拆装，减少安装时间和人力，大大提高机台利用率和产能利用率。
图I是现有技术中防打火机构结构示意图。图2是图I中底板结构示意图。图3是本实用新型结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图与具体实施方式
对本实用新型作进一步详细描述由图3可见本实用新型包括安置加热块导线的底板；所述的底板由第一底板 10和第二底板20拼接而成；所述的加热块导线安置在其中的一块上。本实用新型通过把原来一整块大的底板改成两块可拼装的小底板，以此来方便拆装。
权利要求1.一种机台防打火底板结构，包括安置加热块导线的底板；其特征在于所述的底板由第一底板和第二底板拼接而成；所述的加热块导线安置在其中的一块上。
专利摘要本实用新型涉及一种机台防打火底板结构，包括安置加热块导线的底板；所述的底板由第一底板和第二底板拼接而成；所述的加热块导线安置在其中的一块上；本实用新型的有益效果是由于设计成两块可拼装底板，以方便拆装，减少安装时间和人力，大大提高机台利用率和产能利用率。
文档编号H01L21/67GK202352639SQ20112042093
公开日2012年7月25日 申请日期2011年10月28日 优先权日2011年10月28日
发明者周峰, 汪良 申请人:上海矽维电子科技有限公司, 周峰