专利名称：一种带有扩散接液盘的扩散系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种扩散系统，特别是涉及一种带有扩散接液盘的扩散系统。
背景技术：
扩散エ艺是太阳能硅电池的生产エ艺的关键エ序之一，目前大多数扩散系统的设备分为四大部分控制部分、推舟进化部分、电阻加热炉体部分、气源部分。如图2所示，位于控制柜11的计算机控制系统分布在各个层面，而每个层面的控制系统是相对独立，每层控制对应层的推舟12、炉温及气路部分是扩散系统的控制中心；推舟进化柜的顶部有照明灯，正面设有水平层流的高效过滤器及推舟的丝杆、导轨副传动系统及氮化硅悬臂浆座，丝杆的右端安装有驱动进步电机，导轨两端设有限位开关，在炉口和炉体外侧之间有一段排废ロ 13，主要用于排放有毒气体和偏磷酸；炉体加热部分顶部配置有水冷散热器、排热风扇，中间设有炉体加热部分，底部安装有加热炉的功率部件及散热风机；气源柜14顶部设 置有排毒ロ 15，柜顶设置有三路エ艺气体及一路CDA的进气接ロ，接ロ以下安装有减压阀、截止阀用以对进气压カ进行控制和调节。—台扩散系统一般有三个扩散层，每个扩散层都有一个排废ロ 13，最顶层的排废ロ 13有气体排放ロ，用于排放炉腔内的气体；每个层面之间的最里侧有一段排废管道连接，一直通到底部的废液盘。扩散过程中会产生五氧化ニ磷，エ艺完成后，出炉时炉ロ温度迅速降低，P205与水蒸气反应生成偏磷酸，出舟时，产生的偏磷酸会滴到每个层面的排废ロ，每次产生的偏磷酸不会全部被排放出去，残留的偏磷酸便越积越多，会腐蚀机器，甚至导致层面之间的隔板穿洞，这样就会导致下面两层炉体内的舟出舟时，上个层面的偏磷酸滴到石英舟和硅片上，污染器件和硅片，提高了设备的维修成本和原料成本，给生产带来很多不便。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种带有扩散接液盘的扩散系统，解决了由于偏磷酸腐蚀而造成扩散机器损坏和污染硅片的问题，降低了设备的维修成本和原料成本。为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是一种带有扩散接液盘的扩散系统，所述扩散系统包括三层扩散层，所述每层扩散层设有排废ロ、排废腔、排废管道，所述排废腔设有排废腔ロ，所述排废腔ロ设置于所述扩散层的底部并与所述排废管道相连，所述每层扩散层的排废腔内设有接液盘，所述接液盘包括支架和盘体，所述盘体开ロ向上，所述盘体由盘底和侧壁组成，所述侧壁上设有排液ロ，所述排液ロ位于所述排废腔ロ的上方，所述支架固定于所述盘底的底面上远离所述排液ロ的一端，所述接液盘放置于所述排废腔内时其盘底与所述扩散层的底部之间呈预定角度。优选地，本实用新型所述接液盘的排液ロ相对于所述接液盘的盘底呈收缩状。[0009]优选地，本实用新型所述接液盘为由不锈钢材料制成的不锈钢接液盘。由上可见，与现有技术相比，本实用新型有如下有益效果扩散时产生的偏磷酸会直接滴到接液盘上，由于接液盘与扩散层底部之间有倾斜角度，因此偏磷酸在重力的影响下会向下流至排液ロ，再经由排废腔ロ流入排废管道内，解决了由于偏磷酸腐蚀而造成扩散机器损坏和污染硅片的问题，降低了设备的维修成本和原料成本；此外，接液盘结构简单，制作容易，耗费的成本较低，更换很方便，因此即使接液盘发生损坏或者其粘附的偏磷酸过多，也可以很方便更换接液盘。
此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进ー步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型的不当限定，在附图中图I为现有的扩散系统的结构示意图；图2为本实用新型实施例的结构示意图；图3为本实用新型实施例中接液盘的结构示意图；图4为本实用新型实施例中接液盘的另ー种角度的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。如图I至图4所示为本实用新型所述的ー种带有扩散接液盘的扩散系统的实施例，扩散系统包括三层扩散层，每层扩散层设有排废ロ 21、排废腔、排废管道，排废腔设有排废腔ロ，排废腔ロ设置于扩散层的底部并与排废管道相连，每层扩散层的排废腔内设有接液盘3，接液盘3包括支架31和盘体32，盘体32开ロ向上，盘体由盘底33和侧壁34组成，侧壁34上开设有排液ロ 35，排液ロ 35位于排废腔ロ的上方，支架31固定于盘体32的底面上远离排液ロ 35的一端，接液盘3放置于排废腔内时其盘体与扩散层的底部之间呈预定角度a。实际操作时，接液盘3的形状可根据扩散层的排废腔的实际内部构造而定，例如设计为六边形，将其中ー边打开成为排液ロ 35，另外五边形成侧壁34，侧壁34的高度也可根据排废腔的内部构造而定，例如可定为0. 8cm。优选地，在本实施例中，接液盘3的排液ロ 35相对于接液盘3的盘底33呈收缩状，扩散时偏磷酸更容易集中并流入排废管道。优选地，在本实施例中，接液盘3为由不锈钢材料制成的不锈钢接液盘，这样接液盘3不会生锈而给扩散造成金属杂质的污染。以上对本实用新型实施例所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本实用新型实施例的原理；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例，在具体实施方式
以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
权利要求1.一种带有扩散接液盘的扩散系统，所述扩散系统包括三层扩散层，所述每层扩散层设有排废ロ、排废腔、排废管道，所述排废腔设有排废腔ロ，所述排废腔ロ设置于所述扩散层的底部并与所述排废管道相连，其特征是 所述每层扩散层的排废腔内设有接液盘，所述接液盘包括支架和盘体，所述盘体开ロ向上，所述盘体由盘底和侧壁组成，所述侧壁上设有排液ロ，所述排液ロ位于所述排废腔ロ的上方，所述支架固定于所述盘底的底面上远离所述排液ロ的一端，所述接液盘放置于所述排废腔内时其盘底与所述扩散层的底部之间呈预定角度。
2.根据权利要求I所述的带有扩散接液盘的扩散系统，其特征是所述接液盘的排液ロ相对于所述接液盘的盘底呈收缩状。
3.根据权利要求I所述的带有扩散接液盘的扩散系统，其特征是所述接液盘为由不 锈钢材料制成的不锈钢接液盘。
专利摘要本实用新型公开了一种带有扩散接液盘的扩散系统，所述扩散系统包括三层扩散层，所述每层扩散层设有排废口、排废腔、排废管道，所述排废腔设有排废腔口，所述排废腔口设置于所述扩散层的底部并与所述排废管道相连，所述每层扩散层的排废腔内设有接液盘，所述接液盘包括支架和盘体，所述盘体开口向上，所述盘体由盘底和侧壁组成，所述侧壁上设有排液口，所述排液口位于所述排废腔口的上方，所述支架固定于所述盘底的底面上远离所述排液口的一端，所述接液盘放置于所述排废腔内时其盘底与所述扩散层的底部之间呈预定角度。本实用新型解决了由于偏磷酸腐蚀而造成扩散机器损坏和污染硅片的问题，降低了设备的维修成本和原料成本。
文档编号H01L31/18GK202395010SQ201120502559
公开日2012年8月22日 申请日期2011年12月6日 优先权日2011年12月6日
发明者季健, 李艳苹, 陆赟, 黄林锋 申请人:苏州盛隆光电科技有限公司