专利名称：离子风发生体及离子风发生装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及离子风发生体及离子风发生装置。
背景技术：
已知有通过电子或者离子的移动来诱发离子风的装置。例如，在专利文献I中，对设于基板状的电介体的两个电极施加交流电压而产生电介体势鱼放电，从而在电介体的一方主面上产生离子风。在先技术文献
专利文献专利文献I :日本特开2007-317656号公报
发明内容
发明所要解决的问题专利文献I仅仅着眼于在基板状的电介体的一方主面上发生离子风，并没有着眼于两个电极对另一方主面等的电介体的其它面涉及到的影响。其结果是，例如，在另一方主面上，诱发出没有意图发生的、与一方主面相反方向的离子风，减少了一方主面中的离子风的风量，有可能无法发挥所需要的功能。因而，期望的是，提供能够适当地发生沿着电介体的表面的离子风的离子风发生体及离子风发生装置。用于解决课题的机构本发明的一方式所涉及的离子风发生体包括具有面向彼此不同的方向的第一面及第二面的电介体；配置在所述电介体内的内侧电极；相对于所述内侧电极配置在所述第一面侧的第一电极；相对于所述内侧电极配置在所述第二面侧的第二电极。所述内侧电极具有相对于所述第一电极位于沿着所述第一面的第一方向上的第一下游域部，通过对所述内侧电极与所述第一电极之间施加电压能够诱发沿着所述第一面的离子风，并且，所述内侧电极具有相对于所述第二电极位于沿着所述第二面的第二方向上的第二下游域部，通过对所述内侧电极与所述第二电极之间施加电压能够诱发沿着所述第二面的离子风。本发明的一方式所涉及的离子风发生装置包括具有面向彼此不同的方向的第一面及第二面的电介体；配置在所述电介体内的内侧电极；相对于所述内侧电极配置在所述第一面侧的第一电极；相对于所述内侧电极配置在所述第二面侧的第二电极；对所述内侧电极与所述第一电极之间施加电压，并且对所述内侧电极与所述第二电极之间施加电压的电源。所述内侧电极具有相对于所述第一电极位于沿着所述第一面的第一方向上的第一下游域部，通过对所述内侧电极与所述第一电极之间施加电压能够诱发沿着所述第一面的离子风，并且，所述内侧电极具有相对于所述第二电极位于沿着所述第二面的第二方向上的第二下游域部，通过对所述内侧电极与所述第二电极之间施加电压能够诱发沿着所述第二面的离子风。
发明效果根据上述结构，能够适当地发生沿着电介体的表面的离子风。
图1(a)是示意性表示本发明的第一实施方式所涉及的离子风发生装置的立体图，图1(b)是沿图1(a)的Ib-Ib线的剖视图。图2是说明图I的离子风发生体的制造方法的剖视图。图3是示意性表示本发明的第二实施方式所涉及的离子风发生装置的主要部分的剖视图。
图4是说明图3的离子风发生体的制造方法的剖视图。图5是示意性表示本发明的第三实施方式所涉及的离子风发生装置的主要部分的立体图及主视图。图6是示意性表示本发明的第四实施方式所涉及的离子风发生装置的主要部分的剖视图。图7是示意性表示本发明的第五实施方式所涉及的离子风发生装置的主要部分的剖视图。图8是示意性表示图I的离子风发生装置的利用例的主要部分的剖视图。
具体实施例方式以下，参照附图对本发明的多个实施方式所涉及的离子风发生体及离子风发生装置进行说明。需要说明的是，在以下的说明中所采用的附图为示意性表示，附图中的尺寸比例等与现实的情况未必一致。另外，在第二实施方式以后，对与已经说明的实施方式通用或者类似的结构，采用与已经说明的实施方式同样的符号，另外，省略图示或说明。<第一实施方式>图I (a)是示意性表示本发明的第一实施方式所涉及的离子风发生装置I的立体图，图1(b)是沿图1(a)的Ib-Ib线的剖视图。离子风发生装置I作为发生沿着箭头yl及y2(图1(b))所示的方向流动的离子风的装置而构成。需要说明的是，在本实施方式中，将离子风所流动的方向作为X方向，离子风的宽度方向作为y方向，离子风的高度方向作为Z方向进行参考。离子风发生装置I具有使离子风发生的离子风发生体3 ;进行离子风发生体3的驱动及控制的驱动部5 (图I (a))。离子风发生体3具有电介体7 ;设于电介体7的第一电极9A、第二电极9B ;内侧电极11。需要说明的是，以下，将第一电极9A及第二电极9B称为“外侧电极9”，而对二者不加以区分。离子风发生体3通过对被电介体7隔开的外侧电极9与内侧电极11之间施加电压，而产生电介体势垒放电,从而产生离子风。电介体7例如形成为厚度固定的平板状(基板状)，且具有第一主面7a和其背面的第二主面7b。需要说明的是，离子风如箭头yl所示那样在第一主面7a上沿着第一主面7a流动，并且如箭头y2所示那样在第二主面7b上沿着第二主面7b流动。另外，在第一主面7a上流动的离子风和在第二主面7b上流动的离子风彼此向相同方向(X方向)流动。电介体7的俯视形状可以设为适当的形状，但在图I中，例示出设为具有与X方向及y方向平行的边的矩形的情况。电介体7例如由第一绝缘层13A及第二绝缘层13B(以下，简称为“绝缘层13”，而对二者不加以区分。)层叠而构成。需要说明的是，在图I中，为了便于说明，明示出第一绝缘层13A和第二绝缘层13B的边界线，但在实际的产品中，也可以为第一绝缘层13A及第二绝缘层13B被一体化，无法观察到其边界线。需要说明的是，边界线即便无法观察到，但由后述的说明可理解，能够根据内侧电极11的位置来确定其位置。绝缘层13例如形成为厚度固定的平板状。第一绝缘层13A具有第一主面7a及其背面的第三主面13c (图I (b))。第二绝缘层13B具有第二主面7b及其背面的第四主面13d(图1(b))。两个绝缘层13的厚度在本实施方式中彼此相同。另外，两个绝缘层13的俯视形状例如彼此相同。需要说明的是，绝缘层13也可以分别由多个绝缘层来形成。 电介体7(绝缘层13)既可以由无机绝缘物来形成，也可以由有机绝缘物来形成。作为无机绝缘物，例如可举出陶瓷、玻璃。作为陶瓷，例如可举出氧化铝质烧结体(氧化铝陶瓷)、玻璃陶瓷烧结体(玻璃陶瓷)、莫来石质烧结体、氮化铝质烧结体、堇青石烧结体、碳化硅质烧结体。作为有机绝缘物，例如可举出聚酰亚胺、环氧树脂、橡胶。第一电极9A层叠在第一主面7a上，第二电极9B层叠在第二主面7b上，内侧电极11配置在两个绝缘层13之间。换而言之，内侧电极11配置在电介体7内，第一电极9A相对于内侧电极11配置在第一主面7a侧，第二电极9B相对于内侧电极11配置在第二主面7b侧。由此，这些电极通过电介体7而分隔开。两个外侧电极9中，例如除厚度方向(z方向)的位置以外，形状及位置均设定为相同。即，两个外侧电极9彼此形成为相同的形状，且流动方向(X方向)及宽度方向(y方向)的位置彼此相同。这是为了使在第一主面7a侧与第二主面7b侧的风量等相同。内侧电极11包括相对于第一电极9A而位于流动方向的下游侧(X方向的正侧、沿着第一主面7a的第一方向)的第一下游域部(本实施方式中为内侧电极11的整体)。由此，能够实现将第一电极9A侧作为上游侧的离子风的诱发。同样地，内侧电极11包括相对于第二电极9B而位于流动方向的下游侧(X方向的正侧、沿着第二主面7b的第二方向)的第二下游域部(本实施方式中为内侧电极11的整体)。由此，能够实现将第二电极9B侧作为上游侧的离子风的诱发。换而言之，内侧电极11相对于外侧电极9而沿着流动方向(X方向的正侧)偏离位置地配置。由于该偏离，能够实现将外侧电极9侧作为上游侧且将内侧电极11侧作为下游侧的离子风的诱发。在本实施方式中，在俯视观察第一主面7a或者第二主面7b时，在x方向上，内侧电极11与外侧电极9没有间隙地邻接。其中，在俯视观察第一主面7a或者第二主面7b时，内侧电极11在X方向上，既可以使上游侧的一部分与外侧电极9的全部或者下游侧的一部分重复(下游域部可以为内侧电极11的一部分)，也可以与外侧电极9以规定的间隙分离。换而言之，在俯视观察第一主面7a或者第二主面7b时，外侧电极9与内侧电极11在X方向上，既可以以在外侧电极9的一部分上重复内侧电极11的方式偏离，也可以以在外侧电极9的全部上重复内侧电极11的方式偏离。另外，在俯视观察第一主面7a或者第二主面7b时，外侧电极9与内侧电极11在X方向上，既可以以没有间隙地相互邻接的方式偏离，也可以完全地偏离(以规定的间隙分离)。如上所述，两个绝缘层13的厚度彼此相同，因此厚度方向(z方向)上的、第一电极9A与内侧电极11的距离和第二电极9B与内侧电极11的距离相同。另外，两个外侧电极9的流动方向(X方向)上的位置彼此相同，因此流动方向(X方向)上的、第一电极9A与内侧电极11的距离和第二电极9B与内侧电极11的距离相同。另外，由于这些情况，因此Xz平面中的、第一电极9A与内侧电极11 (第一下游域部)的距离和第二电极9B与内侧电极11 (第二下游域部)的距离相同。外侧电极9及内侧电极11例如形成为厚度固定的层状(包括平板状)。这些电极的俯视形状可以设为适当的形状，在图I中，例示出设为具有与X方向及y方向平行的边的矩形的情况。需要说明的是，外侧电极9及内侧电极11的y方向的长度例如彼此设定为相同。 夕卜侧电极9及内侧电极11由金属等的导电性材料来形成。作为金属，可举出钨、钥、锰、铜、银、金、钯、钼、镍、钴或者以这些金属为主要成分的合金。驱动部5(图I (a))具有对外侧电极9与内侧电极11之间施加交流电压的电源装置15 ;控制电源装置15的控制装置19。两个外侧电极9通过设于电介体7的配线或者其他的配线而并联连接。因而，电源装置15对第一电极9A与内侧电极11之间、以及第二电极9B与内侧电极11之间施加电压值、频率及相位彼此相同的电压。由电源装置15施加的交流电压既可以为由正弦波等表示的电位连续变化的电压，也可以为脉冲状的电位的变化不连续的电压。另外，交流电压既可以为在外侧电极9及内侧电极11的双方中相对于基准电位而电位变动的电压，也可以为外侧电极9及内侧电极11的一方与基准电位连接，而仅在另一方中电位相对于基准电位变动的电压。电位的变动既可以为相对于基准电位而向正及负的双方变动，也可以为相对于基准电位而仅向正及负的一方变动。在图I (a)中，例示出对外侧电极9赋予基准电位,而以内侧电极11的电位变动的方式施加交流电压的情况。需要说明的是，在图1(a)所示的例子中，优选的是，基准电位与大地的电位相同(狭义的基准电位)。控制装置19例如按照规定的程序或者用户的操作，来控制基于电源装置15的电压的施加的接通·断开或者所施加的电压的大小等。需要说明的是，电介体7、外侧电极9及内侧电极11的尺寸、以及交流电压的大小及频率可以根据离子风发生装置I所应用的技术、或者所要求的离子风的性质等各种的状况来适当地设定。图2是说明离子风发生体3的制造方法的示意性的剖视图。如图2所不，电介体7通过设有第一电极9A的第一绝缘层13A与设有第二电极9B及内侧电极11的第二绝缘层13B层叠而制造出。具体而言，以电介体7通过陶瓷烧结体构成的情况为例，如下所述。首先，准备作为绝缘层13的陶瓷坯片。陶瓷坯片通过将向原料粉末添加混合适当的有机溶剂及溶媒而制成的浆料借助刮刀法或压辊法等的成形方法而呈片状成形来形成。原料粉末在以氧化铝陶瓷为例时，为氧化铝(Ai2O3)、二氧化硅(SiO2)、氧化钙(CaO)及氧化镁(MgO)等。接着，在作为陶瓷坯片(第一绝缘层13A)的第一主面7a的面上设有作为第一电极9A的导电膏。另外，在作为陶瓷坯片(第二绝缘层13B)的第二主面7b的面上设有作为第二电极9B的导电膏，在作为第四主面13d的面上设有作为内侧电极11的导电膏。导电膏例如通过向钨、钥、铜或者银等的金属粉末中添加混合有机溶剂及有机粘合剂而制成。导电膏根据需要也可以添加分散剂或可塑剂等。混合例如通过球磨机、三辊式研磨机、或者行星式搅拌机等的混炼机构来进行。另外，导电膏例如采用丝网印刷法等的印刷方式而印刷涂敷在陶瓷坯片上。然后，将作为第一绝缘层13A的陶瓷坯片和作为第二绝缘层13B的陶瓷坯片层叠， 并同时烧结导电膏及陶瓷坯片。由此，形成配置有外侧电极9及内侧电极11的电介体7、即离子风发生体3。需要说明的是，在导电膏与陶瓷坯片同时烧成的情况下，为了与陶瓷坯片的烧结动作相匹配或通过残留应力的缓和而提高与烧结后的电介体接合的接合强度，也可以添加玻璃或陶瓷的粉末。接着，对离子风发生装置I的作用进行说明。离子风发生体3放置在大气中，且在离子风发生体3的周围存在空气。需要说明的是，离子风发生体3也可以放置在特定种类的气体气氛下(例如氮气气氛下)来使用。通过电源装置15对外侧电极9与内侧电极11之间施加电压，且当这些电极间的电位差超过一定的阈值时，产生电介体势垒放电。然后，伴随着放电而生成等离子体。等离子体中的电子或者离子通过由外侧电极9及内侧电极11所形成的电场而移动。另外，中性分子也伴随着电子或者离子而移动。如此诱发出离子风。更具体而言，离子风如箭头yl及y2所示那样，通过从外侧电极9侧向内侧电极11侧移动的电子或者离子，以与第一主面7a及第二主面7b上的内侧电极11重叠的区域为中心而诱发，并从外侧电极9侧向内侧电极11侧流动。施加给设于各主面的外侧电极9及内侧电极11的电压越大，另外设于各主面的外侧电极9与内侧电极11的距离越小的话，各主面中的离子风的风速(风量)越大。在本实施方式中，第一电极9A及第二电极9B除了 z方向的位置以外，以彼此相同的条件设置，另外被施加彼此相同的电压，因此，在第一主面7a侧和第二主面7b侧，发生彼此相同的风向、风速及风量的离子风。如上所述，在本实施方式中，离子风发生体3具有具有第一主面7a及其背面的第二主面7b的电介体7 ;配置在电介体7内的内侧电极11 ;相对于内侧电极11而配置在第一主面7a侧的第一电极9A ;相对于内侧电极11而配置在第二主面7b侧的第二电极9B。内侧电极11具有相对于第一电极9A而位于沿着第一主面7a的第一方向(X方向的正侧)上的第一下游域部，并且具有相对于第二电极9B而位于沿着第二主面7b的第二方向(X方向的正侧)上的第二下游域部。因而，通过对内侧电极11与第一电极9A之间施加电压，由此能够发生沿着第一主面7a的离子风，并且，通过对内侧电极11与第二电极9B之间施加电压，由此能够发生沿着第二主面7b的离子风发生。其结果是，例如，通过分别进行内侧电极11与第一电极9A的位置关系的调整和内侧电极11与第二电极9B的位置关系的调整，从而能够在第一主面7a及第二主面7b上分别产生任意的风向及风量的离子风。即，能够在电介体7的两面上适当地发生离子风。并且，内侧电极11在第一主面7a的离子风的发生和第二主面7b的离子风的发生中共用，从而可以实现结构的简单化及小型化。第一电极9A及第二电极9B相对于内侧电极11而向沿着第一主面7a及第二主面7b的相同的方向偏离(上述的第一方向及第二方向为相同方向。)。因而，在第一主面7a中发生的离子风和在第二主面7b中发生的离子风如图I中箭头yl及12所示那样，向相同方向流动。假如与现有技术同样地，仅仅着眼于在第一主面7a中发生箭头yl的离子风，而未设有第二电极9B时，在第二主面7b上，通过施加给第一电极9A与内侧电极11的电压，发生与箭头y2相反方向的离子风。其结果是，箭头yl所示的离子风的风速及风量减少。不过，在本实施方式中，消除了那样的不良状况。 电介体7为由平板状的多个(本实施方式中为两个)绝缘层13层叠构成的基板。第一主面7a及第二主面7b为面向多个绝缘层13的层叠方向的基板的两表面。第一电极9A为层叠在第一主面7a上的层状电极。第二电极9B为层叠在第二主面7b上的层状电极。内侧电极11为配置在多个绝缘层13间的任一者上的层状电极。因而，离子风发生体3为与多层配线基板同样的结构，从而能够利用多层配线基板所涉及的各种技术。其结果是，例如，实现力学强度、热强度及电气特性优越的离子风发生体3容易，并且制造方法的最佳化及成本削减也容易。电介体7由陶瓷构成。因而，能够实现力学强度、热强度及电气特性优越的离子风发生体3。另外，如参照图2说明那样，通过导电膏与陶瓷坯片的同时烧成，能够形成埋设在电介体7中的内侧电极11，离子风发生体3的制造容易。第一电极9A及第二电极9B与内侧电极11的距离彼此相同(第一电极9A与第一下游域部的距离(最短距离)和第二电极9B与第二下游域部的距离(最短距离)彼此相同。)。因而，在第一主面7a和第二主面7b容易发生同等的风速的离子风。其结果是，例如，在第一主面7a中的离子风与第二主面7b中的离子风的合流点，可抑制产生没有意图的离子风的偏向的情况等。在离子风发生装置I中，第一电极9A及第二电极9B向电介体7的外部露出，电源装置15对第一电极9A及第二电极9B赋予基准电位，并且对内侧电极11赋予相对于基准电位变动的电位。因而，在离子风发生体3的露出部分中，电位的变动被抑制，安全性得到提高。换而言之，离子风发生装置I的处理性得到提高。需要说明的是，在以上的第一实施方式中，第一主面7a及第二主面7b为本发明的第一面及第二面的一例，X方向的正侧为第一方向及第二方向的一例，内侧电极11的整体为内侧电极的第一下游域部及第二下游域部的一例，电源装置15为本发明的电源的一例。<第二实施方式>图3是示意性表示本发明的第二实施方式所涉及的离子风发生装置101的主要部分的剖视图。离子风发生装置101中，离子风发生体103中的、电介体107的结构及内侧电极111的结构与第一实施方式的结构不同。具体而言，如下所述。
电介体107由第一绝缘层13A、第二绝缘层13B及介入它们之间的第三绝缘层13C层叠而构成。第一绝缘层13A及第二绝缘层13B与第一实施方式的第一绝缘层13A及第二绝缘层13B为同样的结构即可。第三绝缘层13C也为与第一绝缘层13A及第二绝缘层13B大致同样的结构。其中，第三绝缘层13C的厚度可以适当设定，在图3中，例示出第三绝缘层13C比第一绝缘层13A及第二绝缘层13B形成得薄的情况。内侧电极111具有第三电极IOC ;第四电极IOD ;通孔导体12。第三电极10C、第四电极IOD及通孔导体12彼此连接，通过这些整体作为内侧电极111来发挥功能。第三电极IOC及第四电极IOD分别为与第一实施方式的内侧电极11同样的结构即可。其中，第三电极IOC配置在第一绝缘层13A与第三绝缘层13C之间，第四电极IOD配置在第二绝缘层13B与第三绝缘层13C之间。通孔导体12贯通第三绝缘层13C，而将第三电极IOC与第四电极IOD连接。通孔 导体12的个数、配置位置、俯视形状、剖面形状及尺寸可适当设定。通孔导体12的材料例如与层状电极(9A、9B、10C及10D)的材料同样。图4是说明离子风发生体103的制造方法的示意性剖视图。离子风发生体103与第一实施方式的离子风发生体3同样地，通过配置有各种电极的绝缘层13层叠而制造。作为其具体的方法，与第一实施方式同样，可以适用将涂敷导电膏的陶瓷坯片层叠来进行烧成的方法。其中，作为第三电极IOC的导电膏涂敷在作为第一绝缘层13A的陶瓷坯片的第三主面13c上。即，作为第三电极IOC的导电膏涂敷在作为第一电极9A的涂敷有导电膏的陶瓷坯片上。另外，作为第四电极IOD的导电膏涂敷在作为第二绝缘层13B的陶瓷坯片的第四主面13d上。即，作为第四电极IOD的导电膏涂敷在作为第二电极9B的涂敷导电膏的陶瓷还片上。另外，作为通孔导体12的导电膏填充在形成于作为第三绝缘层13C的陶瓷坯片的通孔13v中。需要说明的是，通孔13v的形成方法及导电膏的填充方法采用的是公知的技术即可。然后，通过将三个陶瓷坯片层叠来烧成，从而形成由第三电极10C、第四电极IOD及通孔导体12构成的内侧电极11。根据以上的第二实施方式，可获得与第一实施方式同样的作用及效果。S卩，通过对内侧电极11与第一电极9A之间施加电压，如图3中箭头yl所示那样，能够发生沿着第一主面7a的离子风，通过对内侧电极11与第二电极9B之间施加电压，如图3中箭头y2所示那样，能够发生沿着第二主面7b的离子风。其结果是，在电介体7的两面中能够适当地发生离子风，且可实现基于内侧电极11的共用的结构的简单化及小型化。另外，电介体107具有构成第一主面7a的第一绝缘层13A ;构成第二主面7b的第二绝缘层13B。第一电极9A设置在第一绝缘层13A上，第二电极9B设置在第二绝缘层13B上。内侧电极11具有设置在第一绝缘层13A的、比第一电极9A靠第二绝缘层13B侧的第三电极IOC ;设置在第二绝缘层13B的、比第二电极9B靠第一绝缘层13A侧的第四电极IOD ;将第三电极IOC与第四电极IOD连接的通孔导体12。从而，第一电极9A与内侧电极11 (第一下游域部)的距离通过第一电极9A与第三电极IOC的距离来限定。同样地，第二电极9B与内侧电极11(第二下游域部)的距离通过第二电极9B与第四电极IOD的距离来限定。换而言之，两个外侧电极9的作为与内侧电极11的距离的基准的内侧电极11的部位不同。其结果是，例如容易在第一主面7a侧和第二主面7b侧分别调整离子风的风速。另外，在第一实施方式的离子风发生体3中，当为了增大离子风的风速而减小各外侧电极9与内侧电极11的距离时，即，当使两个绝缘层13减薄时，作为电介体7整体的厚度也小，离子风发生体3的力学强度降低。但是，在本实施方式的离子风发生体103中，即便减薄第一绝缘层13A及第二绝缘层13B，也能够确保作为电介体107整体的厚度等。另外，在第一实施方式中，如图2所示，存在使第一绝缘层13A与第二绝缘层13B重合时，产生位置偏离，进而，在第一电极9A与内侧电极11之间产生位置误差的可能性。其结果是，例如，有可能在第一电极9A与内侧电极11的距离和第二电极9B与内侧电极11的距离之间产生差。然而，在本实施方式中，将三个绝缘层13重合时的位置偏离对第一电 极9A与内侧电极11的距离及第二电极9B与内侧电极11的距离不产生影响。即，能够抑制层叠工序中的误差对离子风的风速涉及到的影响。电介体107为由平板状的多个(本实施方式中为三个)绝缘层13层叠构成的基板，第一主面7a及第二主面7b为面向多个绝缘层13的层叠方向的基板的两表面。多个绝缘层13具有具有第一主面7a及其背面的第三主面13c的第一绝缘层13A ;具有第二主面7b及其背面的第四主面13d的第二绝缘层13B ;夹在第三主面13c及第四主面13d之间的第三绝缘层13C。第一电极9A为层叠在第一主面7a上的层状电极,第二电极9B为层叠在第二主面7b上的层状电极，第三电极IOC为层叠在第三主面13c上的层状电极，第四电极IOD为层叠在第四主面13d上的层状电极。另外，将第三电极IOC与第四电极IOD连接的通孔导体12为贯通第三绝缘层13C的导体。从而，与第一实施方式同样地，离子风发生体103为与多层配线基板同样的结构，从而能够利用多层配线基板所涉及的各种技术。尤其是，通过电介体7通过陶瓷来构成，从而能够利用陶瓷多层基板的技术来实现力学强度、热强度及电气特性优越的离子风发生体103。第一电极9A及第二电极9B与内侧电极11的距离彼此相同(第一电极9A与第一下游域部的距离和第二电极9B与第二下游域部的距离彼此相同。)。在这种情况下，上述的因层叠时的位置偏离导致的误差进行抑制的效果有效地发生作用。其原因可认为是，在第一主面7a和第二主面7b设为彼此相同的风速时与设为彼此不同的风速时相比较，为了抑制没有意图的流体现象的发生，大多要求比较高的精度。需要说明的是，在以上的第二实施方式中，第一绝缘层13A及第二绝缘层13B为本发明的第一部分电介体及第二部分电介体的一例，通孔导体12为本发明的连接导体的一例。<第三实施方式>图5(a)是示意性表示本发明的第三实施方式所涉及的离子风发生装置201的主要部分的立体图。图5(b)是从X轴方向观察离子风发生装置201的离子风发生体203时的主视图。离子风发生装置201中，离子风发生体203的结构与第一实施方式不同。具体而言，如下所述。电介体207形成为大致圆柱状。另外，内侧电极211形成为沿着电介体207的中心线延伸的轴状。外侧电极209形成为围绕电介体207的外周面的筒状。内侧电极211包括相对于外侧电极209而位于电介体207的轴向的一侧的下游域部(本实施方式中为内侧电极211的整体)。将离子风发生体203沿着Xz平面平行切断的剖视图中，除了电介体207未由两个绝缘层13构成这一方面以外，与图1(b)同样。由此可理解，当对外侧电极209及内侧电极211施加电压时，产生电介体势垒放电，在电介体207的外周面上发生沿着轴向流动的离子风。需要说明的是，如图4(b)所示，电介体207能够捕捉到具有面向彼此不同的方向 的多个曲面207a 207d。即，电介体207具有曲面207a及其背面的曲面207b，并且具有面向这些曲面的侧方的曲面207c及曲面207d。另外，外侧电极209能够捕捉到具有分别设于曲面207a 曲面207d的部分电极209a 209do需要说明的是，电介体207也能够捕捉到面向彼此相反的方向的两个曲面(半圆筒面)。外侧电极209也能够捕捉到具有分别设于该两个曲面的两个部分电极。根据以上的第三实施方式，可获得与第一实施方式同样的作用及效果。S卩，通过对内侧电极211与外侧电极209之间施加电压，如图5(a)中箭头yl及y2所示那样，在面向彼此不同的方向的曲面207a 207d上能够适当地发生离子风，且可实现基于内侧电极11的共用的结构简化及小型化。另外，离子风发生体203具有包括部分电极209a 209d，且以围绕电介体207的外周的方式形成的环状的外侧电极209。因而，离子风发生体203能够在电介体207的规定的绕轴的整个圆周上发生离子风。其结果是，例如，可期待以小型的结构来实现大风量的离子风。需要说明的是，在第三实施方式中，曲面207a 207d中的任两个为本发明的第一面及第二面的一例，部分电极209a 209d中的任两个为本发明的第一电极及第二电极的一例。〈第四实施方式〉图6是示意性表示本发明的第四实施方式所涉及的离子风发生装置301的主要部分的剖视图。在第一实施方式中，以使第一电极9A与内侧电极11的距离和第二电极9B与内侧电极11的距离相等的方式来构成离子风发生体3。与其相对，在第四实施方式中，以使第一电极309A与内侧电极11 (第一下游域部)的距离和第二电极309B与内侧电极11 (第二下游域部)的距离彼此不同的方式来构成离子风发生体303。例如，该距离的差异通过厚度方向(Z)的距离的差异来实现。更具体而言，例如，通过使夹在第一电极309A与内侧电极11之间的绝缘层13的个数和夹在第二电极309B与内侧电极11之间的绝缘层13的个数彼此不同来实现。需要说明的是，多个绝缘层13的厚度例如彼此相同。当然，厚度方向的距离的差异在如第一实施方式那样由两个绝缘层13构成电介体的情况下，也能够通过使绝缘层13的厚度不同来实现。
另外，例如，该距离的差异通过流动方向(X方向)上的距离的差异来实现。更具体而言，例如，通过使两个外侧电极309的位置以规定的距离d彼此不同来实现。需要说明的是，在图6中，两个外侧电极309的在X方向上的大小彼此不同，但该大小也可以彼此相同。这样，通过使第一电极309A与内侧电极11的距离和第二电极309B与内侧电极11的距离彼此不同，从而容易使第一主面7a及第二主面7b上各自产生的离子风不同。例如，即便将两个外侧电极并联连接，也能够将第一主面7a及第二主面7b上各自的风速设为任意的风速。〈第五实施方式〉图7是示意性表示本发明的第五实施方式所涉及的离子风发生装置401的主要部分的剖视图。
在第一实施方式中，第一电极9A及第二电极9B相对于内侧电极11而向沿着第一主面7a及第二主面7b的相同的方向偏离(相对于第一电极9A而内侧电极的第一下游域部所在的方向(第一方向)和相对于第二电极9B而内侧电极的第二下游域部所在的方向(第二方向)为相同方向。)。与其相对，在本实施方式中，第一电极9A及第二电极9B相对于内侧电极11而向沿着第一主面7a及第二主面7b的彼此不同的方向偏离(第一方向与第二方向为彼此不同的方向。)。例如，第一电极9A及第二电极9B相对于内侧电极11而向X方向的彼此相反方向偏离(第一方向与第二方向为相反方向。)。因而，在离子风发生体403中，如箭头yI及y3所示那样，在第一主面7a和第二主面7b上向彼此不同的方向(本实施方式中为相反方向)流动离子风。这样，通过多个外侧电极9的相对于内侧电极11的偏离方向的调整，能够根据离子风发生装置的用途，来适当地设定沿着彼此不同的面的离子风的流动方向。〈利用例〉图8是示意性表示本发明的第一实施方式所涉及的离子风发生装置I的利用例的主要部分的剖视图。在图8中，例示出离子风发生装置I利用于进行废气等的流体的改性的反应装置中的情况。在改性对象的流体的流路内沿着流路的宽度方向以规定的间隔分离排列有多个离子风发生体3。各离子风发生体3以离子风的流动方向沿着流路的方式配置。并且，当对外侧电极9及内侧电极11施加电压时，多个离子风发生体3在第一主面7a及第二主面7b的双方上进行流体的改性，并且发生离子风，从而将改性后的流体送出。本发明不局限于以上的实施方式，可以以各种方式实施。本发明的离子风发生装置及离子风发生体能够利用在各种领域中。例如，本发明既可以利用于叶片中的边界层的剥离抑制，也可以利用于微小空间中的流动的形成(例如小型电子设备的冷却风的形成)。从第三实施方式(图5)可理解，电介体的、面向彼此不同的方向的第一面及第二面并不局限于面向彼此相反的方向的平面。第一面及第二面既可以为面向彼此正交的方向的面，也可以为面向彼此倾斜的方向的面。电介体的形状也不局限于薄型长方体或者圆柱状，可以设为适当的形状。电介体并不局限于通过绝缘层的层叠来形成。例如，电介体也可以在配置有作为电极的金属的模具内填充作为电介体的材料来成形。另外，在电介体通过绝缘层的层叠来形成的情况下，电介体并不局限于将陶瓷坯片层叠来进行烧成。例如，电介体既可以通过陶瓷的喷镀而将绝缘层层叠，也可以将未硬化的热硬化性树脂层叠而进行加热、加压。第一电极及第二电极(外侧电极)以及内侧电极的形状及个数可以适当地设定。例如，在第一实施方式中，外侧电极及内侧电极的一方设为三角形形状或者波状形状，也可以根据离子风的宽度方向的位置而使X方向上的外侧电极与内侧电极的距离发生变化。另夕卜，例如，在第一实施方式中，外侧电极及内侧电极的一方也可以在离子风的宽度方向上被分割为多个，其按照所分割出的电极来控制电压。从第二及第三实施方式(图3及图5)可理解，内侧电极并不局限于层状电极，另夕卜，第一电极及第二电极(外侧电极)也不局限于层状电极。例如，在第一实施方式中，第一电极及第二电极也可以为沿着y方向延伸的轴状电极。第一电极及第二电极(外侧电极)相对于内侧电极而配置在电介体的表面侧即 可，无需在电介体的表面上露出。另外，在外侧电极露出于电介体的表面的情况下，外侧电极并不局限于配置在电介体的表面上。例如，外侧电极可以与在电介体上形成的凹部嵌合，而仅一部分从电介体露出。另外，第一电极及第二电极(外侧电极)也可以固定在与电介体独立的构件上而从电介体分离。第一电极及第二电极的相对于内侧电极的偏离方向(在另一观点中为第一方向及第二方向)并不局限于相同方向及相反方向，也可以为彼此正交的方向或者彼此倾斜的方向。如上所述，第一下游域部或者第二下游域部不局限于内侧电极的整体，也可以是内侧电极的一部分。在这种情况下，第一下游域部及第二下游域部既可以是内侧电极之中彼此不重复的范围，也可以是一部分重复的彼此不同的范围。第一电极及第二电极并不局限于并联连接。例如，第一电极及第二电极也可以串联连接。另外，例如，通过对内侧电极赋予基准电位，并对第一电极及第二电极赋予频率及/或振幅不同的变动电位等，由此第一电极及第二电极也可以独立地被控制电压。如第二实施方式(图3)所例示出的、具有第一及第二部分电介体(实施方式中为13A及13B)的电介体并不局限于由平板状的绝缘层构成。另外，第一部分电介体及第二部分电介体也可以在隔着适当的间隔件而对置的状态下，通过焊锡等适当的固定构件来彼此固定。另外，将设于这些第一及第二部分电介体的第三及第四电极连接的连接导体(实施方式中为通孔导体12)并不局限于通孔导体。例如，在第二实施方式中，也可以在第三绝缘层13C的侧方配置导体来构成连接导体。附图符号说明I…离子风发生装置、3…离子风发生体、7…电介体、7a…第一主面(第一面)、7b…第二主面(第二面)、9A…第一电极、9B···第二电极、11···内侧电极(第一下游域部、第二下游域部)、15…电源装置(电源)。
权利要求
1.一种离子风发生体，其中，包括 具有面向彼此不同的方向的第一面及第二面的电介体； 配置在所述电介体内的内侧电极； 相对于所述内侧电极配置在所述第一面侧的第一电极； 相对于所述内侧电极配置在所述第二面侧的第二电极， 所述内侧电极具有相对于所述第一电极位于沿着所述第一面的第一方向上的第一下游域部，通过对所述内侧电极与所述第一电极之间施加电压能够诱发沿着所述第一面的离子风，并且，所述内侧电极具有相对于所述第二电极位于沿着所述第二面的第二方向上的第二下游域部，通过对所述内侧电极与所述第二电极之间施加电压能够诱发沿着所述第二面的离子风。
2.如权利要求I所述的离子风发生体，其中， 所述第一面及所述第二面面向彼此相反的方向。
3.如权利要求2所述的离子风发生体，其中， 所述第一方向及所述第二方向为相同方向。
4.如权利要求2或3所述的离子风发生体，其中， 所述电介体为由平板状的多个绝缘层层叠而构成的基板， 所述第一面及所述第二面为面向所述多个绝缘层的层叠方向的所述基板的两主面， 所述第一电极为层叠在所述第一面上的层状电极， 所述第二电极为层叠在所述第二面上的层状电极， 所述内侧电极为配置在所述多个绝缘层间的任一者上的层状电极。
5.如权利要求2或3所述的离子风发生体，其中， 所述电介体具有 构成所述第一面的第一部分电介体； 构成所述第二面的第二部分电介体， 所述第一电极设置在所述第一部分电介体上， 所述第二电极设置在所述第二部分电介体上， 所述内侧电极具有 设置在所述第一部分电介体上的、比所述第一电极更靠所述第二部分电介体侧的第三电极； 设置在所述第二部分电介体上的、比所述第二电极更靠所述第一部分电介体侧的第四电极； 连接所述第三电极和所述第四电极的连接导体。
6.如权利要求5所述的离子风发生体，其中， 所述电介体为由平板状的多个绝缘层层叠而构成的基板， 所述第一面及所述第二面为面向所述多个绝缘层的层叠方向的所述基板的两主面， 所述多个绝缘层包括 具有所述第一面及该第一面背面的第三面且作为所述第一部分电介体的第一绝缘层； 具有所述第二面及该第二面背面的第四面且作为所述第二部分电介体的第二绝缘层； 夹在所述第三面及所述第四面之间的第三绝缘层， 所述第一电极为层叠在所述第一面上的层状电极， 所述第二电极为层叠在所述第二面上的层状电极， 所述第三电极为层叠在所述第三面上的层状电极， 所述第四电极为层叠在所述第四面上的层状电极， 所述连接导体为贯通所述第三绝缘层的通孔导体。
7.如权利要求I 3中任一项所述的离子风发生体，其中， 具有环状电极，该环状电极包括所述第一电极及所述第二电极，且以包围所述电介体的外周的方式形成。
8.如权利要求I 7中任一项所述的离子风发生体，其中， 所述电介体由陶瓷构成。
9.如权利要求I 8中任一项所述的离子风发生体，其中， 所述第一电极与所述第一下游域部的距离和所述第二电极与所述第二下游域部的距离彼此相同。
10.如权利要求I 8中任一项所述的离子风发生体，其中， 所述第一电极与所述第一下游域部的距离和所述第二电极与所述第二下游域部的距离彼此不同。
11.一种离子风发生装置，其中，包括 具有面向彼此不同的方向的第一面及第二面的电介体； 配置在所述电介体内的内侧电极； 相对于所述内侧电极配置在所述第一面侧的第一电极； 相对于所述内侧电极配置在所述第二面侧的第二电极； 对所述内侧电极与所述第一电极之间施加电压，并且对所述内侧电极与所述第二电极之间施加电压的电源， 所述内侧电极具有相对于所述第一电极位于沿着所述第一面的第一方向上的第一下游域部，通过对所述内侧电极与所述第一电极之间施加电压能够诱发沿着所述第一面的离子风，并且，所述内侧电极具有相对于所述第二电极位于沿着所述第二面的第二方向上的第二下游域部，通过对所述内侧电极与所述第二电极之间施加电压能够诱发沿着所述第二面的离子风。
12.如权利要求11所述的离子风发生装置，其中， 所述第一电极及所述第二电极向所述电介体的外部露出， 所述电源对所述第一电极及所述第二电极赋予基准电位，并且对所述内侧电极赋予相对于基准电位变动的电位。
全文摘要
本发明提供能够适当地发生沿着电介体的表面的离子风的离子风发生体。离子风发生体(3)具有具有第一主面(7a)和该第一主面(7a)的背面的第二主面(7b)的电介体(7)；配置在电介体(7)内的内侧电极(11)；相对于内侧电极(11)配置在第一主面(7a)侧的第一电极(9A)；相对于内侧电极(11)配置在第二主面(7b)侧的第二电极(9B)。内侧电极(11)具有相对于第一电极(9A)位于沿着第一主面(7a)的第一方向(x方向的正侧)上的第一下游域部，并且具有相对于第二电极(9B)位于沿着第二主面(7b)的第二方向(x方向的正侧)上的第二下游域部。
文档编号H01T23/00GK102959813SQ20118003053
公开日2013年3月6日 申请日期2011年8月18日 优先权日2010年8月18日
发明者东条哲也, 八木隆茂, 牧野浩 申请人:京瓷株式会社